MKS 974B QuadMag 冷陰極トランスデューサー KF-25、RS232、絶対プロセス測定。 PN: 974B-21020

MKS 974B QuadMag 冷陰極トランスデューサは、1 ～ 4 個のセンサー (冷陰極、MicroPirani™、および Piezo テクノロジ) を利用するコンパクトで低コストの汎用トランスデューサ ファミリである MKS 970 シリーズに属します。これらのセンシング技術を組み合わせることで、大気から^10-8Torrまでの幅広い測定範囲が可能になります。小型、広範囲、低コストに加えて、970 シリーズはデジタル通信経由で、または自律型アナログ ユニットとして操作できます。

トランスデューサの測定範囲は^10-5 ～ 1,500 Torr です。 Piezo は直接読み取りの絶対圧力センサーであり、ガスに依存しない測定が可能です。このセンサーには独自の温度補償が含まれており、広い測定範囲にわたって高精度が可能です。ピエゾは 10-1 から 1,500 Torr まで測定します。圧力が^10-2 Torr を下回ると、MicroPirani はピエゾに対してオートゼロ機能を実行します。従来のピラニ ゲージとは異なり、MicroPirani™ の素子は 1 ミリメートル四方のシリコン チップで作られているため、非常に小さな体積で測定を行うことができます。従来のピラニセンサーの測定範囲は 10-3 から約 100 Torr で、10 Torr を超えると急速に感度が低下します。 MicroPirani™ の感知部分のサイズは非常に小さいため、範囲は 10-5 Torr までです。対流の影響を最小限に抑えた設計により、精度を損なうことなくどの位置でも操作が可能となり、設置が簡素化されています。トランスデューサには、圧力が 10-5 Torr 未満の場合に使用できる押しボタンゼロ制御が含まれています。

デジタル通信を備えた MKS 974B QuadMag 冷陰極トランスデューサにより、ホスト コンピュータを介してすべての調整とモニタリングをリアルタイムで行うことができます。 MKS 974B トランスデューサは、標準機能として RS485 または RS232 通信をサポートします。この 974B QuadMag 冷陰極トランスデューサは、オスの 15 ピン高密度 D-sub コネクタで 1 ～ 9 ボルトの DC アナログ出力信号を提供します。トランスデューサの出力は 2 つのセンサー間で平滑化され、5 ～ 15 Torr の範囲で両方のセンサーから読み取られます。

プロセス制御用に、974B には 3 つの独立したリレー設定値があります。設定値の機能は、デジタルポートを通じて設定、調整、監視できます。すべての熱伝導率センサーと同様に、MicroPiraniTM はガスの種類に敏感です。ピエゾはガスの種類に関係なく測定します。 974B は、Piezo と MicroPirani™ の間の差動読み取り値を測定するデジタル リーク検出出力を提供します。これにより、真空システムにおける中程度から微細な漏れを特定するための簡単なソリューションになります。電源とディスプレイの両方が必要なお客様は、この Web サイトで販売されている PDR900 シリーズ コントローラーと 974B DualTrans を使用できます。完全な仕様と操作情報については、以下の利用可能なダウンロードを参照してください。