新しい Varian Agilent XGS-600 マルチ ゲージ真空コントローラ - 基本コントローラ、1 つのデュアル アナログ入力カードがインストールされており、2 つのアクティブ ゲージ (PN XGS600H0M0C0A1) を制御できます。 4 つのゲージ カードのいずれかを最大 6 枚受け入れます。
- (コントローラーデュアルアナログ入力カード)
- (ConvecTorr 対流ゲージ/熱電対ゲージ カード)
- (ホットフィラメントイオンゲージ(HFIG)カード)
- (反転マグネトロン (IMG) 冷陰極またはペニング ゲージ カード)
XGS-600 真空ゲージ コントローラは、コスト効率の高い標準ハーフラック パッケージで、前例のない容量、パフォーマンス、および柔軟性を提供します。プログラマブル ドットマトリックス LCD は表示の柔軟性を提供し、シンプルな画面構成とナビゲーションによりユニットは非常に使いやすくなります。ドロップダウンゲージを選択すると、放出電流、感度、過圧が自動的に設定されます。画面には最大 8 つのゲージと圧力が同時に表示され、ユーザーは各ゲージにラベルを付けることができます。 8 つのセットポイント、完全にプログラム可能な RS232/RS485 シリアル通信、ユニバーサル電圧互換性がすべてのユニットに標準装備されています。大きなフォント機能により、最大 20 フィートの距離からでも視認性を確保できます。
この Web サイトで入手可能な PCB カードを使用すると、現場での拡張や再構成が簡単に行えます。カードのないコントローラ (最大 4 枚のカードを受け入れることができます) は、コンピュータ インターフェイスを通じてのみ設定点コマンドを発行できます。この XGS-600 は、スロット 1 ~ 4 に最大 5 つの冷陰極 (IMG ゲージ) または 4 つの熱イオン ゲージのみを取り付けることができます。 (制限事項については、「センサー カードの取り付け」を参照してください。) XGS-600 は、MultiGauge および SenTorr ラック マウント コントローラーの両方を置き換えます。 XGS-600 は実質的に下位互換性を持つように設計されていますが、新製品が 100% 下位互換性を持つことを妨げる設計上の特徴がいくつかあります。 (互換性の制限については、XGS-600 取扱説明書の A-9 ページを参照してください。) XGS-600 は、他の競合他社のゲージとも互換性があります (相互参照については、取扱説明書 2-4 ページを参照してください)。
PCB ボード/カードの取り付け:アドオン カードの取り付け手順:
- スロットには、XGS-600 の正面から見て左から右に番号が付けられています。
- オプション スロット 1 ~ 4 は長くて目立つスロットで、あらゆるカード/ボードを収容できます。 HFIG ボードは長いハイプロファイル カードであり、スロット 1 ~ 4 にのみ取り付けることができます。
- オプション スロット 5 ~ 6 は短く薄型のスロットで、以下の制限がある対流または IMG ボードのみを収容できます。スロット 4 に他のボードが取り付けられている場合、IMG ボードはスロット 5 に取り付けられない場合があります。スロット 5 に他のボードが取り付けられている場合、IMG ボードはスロット 6 に取り付けられない場合があります。
アドオン カードの現場での取り付けの完全な説明については、.pdf (交換カードの説明書および真空測定パンフレットの 11 ページ) を参照してください (入手可能なダウンロードまで下にスクロールしてください)
。完全な仕様、ユーザー マニュアル、および交換カードの説明については、.pdf を参照してください。以下(利用可能なダウンロード)の下