XGS-600 真空ゲージ コントローラは、コスト効率の高い標準ハーフラック パッケージで、前例のない容量、パフォーマンス、および柔軟性を提供します。プログラマブル ドットマトリックス LCD は表示の柔軟性を提供し、シンプルな画面構成とナビゲーションによりユニットは非常に使いやすくなります。ドロップダウンゲージを選択すると、放出電流、感度、過圧が自動的に設定されます。画面には最大 8 つのゲージと圧力が同時に表示され、ユーザーは各ゲージにラベルを付けることができます。 8 つのセットポイント、完全にプログラム可能な RS232/RS485 シリアル通信、ユニバーサル電圧互換性がすべてのユニットに標準装備されています。大きなフォント機能により、最大 20 フィートの距離からでも視認性を確保できます。
この XGS-600 には、すべての Varian ホット フィラメント ゲージおよびヌード UHV タイプを含む他のほとんどの入手可能な Bayard-Alpert タイプ ホット フィラメント イオン化ゲージを操作するホット フィラメント イオン ゲージ HFIG ボードが装備されています。このボードはすべての Varian ホット フィラメント ゲージ用にセットアップでき、ゲージの放出電流、感度値、ガス補正係数を設定できます。 UHV レンジと E-Beam 脱気装置は標準であり、デュアル フィラメント制御、発光とフィラメント選択のリモート I/O 制御、および 0 ~ 10 V アナログ出力も備えています。このデュアル コンベクション カードと並行して他のカードも使用できます。
HFIG ボードは、10-3 ~ 10-10 Torr の高真空から超高真空の範囲で以下のゲージと互換性があります。- 563 (HV)
- 564 (HV)
- 571 (HV)
- 572 (HV)
- MBA-100、MBA-200(HV)
- UHV-24、UHV-24p (UHV)
- 競合他社のゲージとも互換性があります (相互参照については、XGS-600 取扱説明書/ユーザー マニュアル .pdf ページ 2-4 を参照してください)。
XGS-600 コントローラーは、使用可能な 4 つのゲージ カードのいずれかを、最大 6 枚まで受け入れます。- (コントローラーデュアルアナログ入力カード)
- (ConvecTorr 対流ゲージ/熱電対ゲージ カード)
- (ホットフィラメントイオンゲージ(HFIG)カード)
- (反転マグネトロン (IMG) 冷陰極またはペニング ゲージ カード)
この Web サイトで入手可能な PCB カードを使用すると、現場での拡張や再構成が簡単に行えます。 XGS-600 は、MultiGauge および SenTorr ラック マウント コントローラの両方を置き換えます。 XGS-600 は実質的に下位互換性を持つように設計されていますが、新製品が 100% 下位互換性を持つことを妨げる設計上の特徴がいくつかあります。 (互換性の制限については、XGS-600 取扱説明書の A-9 ページを参照してください。)
仕様、ユーザーマニュアル、交換カードの説明書などの詳細情報については、利用可能な .PDF を参照してください。