Ebara EBT70 セラミックベアリング ターボ分子真空ポンプ、ISO-K 63 入口フランジ、オンボード コントローラー付き、排気速度 75 l/s N2、強制ファン空冷。荏原部品番号: EBT70FRAB-20。 ISO-K 63 を備えた Ebara EBT70 機械式セラミック ベアリング複合ターボ分子ポンプは、高真空アプリケーション向けにクリーンで信頼性の高い真空生成を提供する、高効率でコスト効率の高いソリューションです。EBT70 ターボポンプは優れた価値を提供し、長年にわたりトラブルのない動作 (交換前 30,000 時間以上) を実現する精密セラミック ベアリングを備えています。新しい複合設計のローターは、高流量またはベント状態でのまれな衝撃処理に耐えることができます。効率が向上したため、ポンピング速度とガス圧縮が向上しました。これにより、より高いフォアライン圧力に対応し、UHV、モバイル真空カート、分析システムなど、さまざまなアプリケーションに最適です。
荏原EBTモデルの特長と利点:- モバイルアプリケーションに最適な頑丈なベアリング設計
- 高いポンピング速度
- 軽質ガスの高圧縮比
- 素早い発進と停止
- クイックベント(ベント脈動なし)
- ファンまたは水冷(付属していません)
- ISO または Conflat (CF) フランジ
- 統合コントローラ(一部のモデル)
一般的なターボポンプの用途は次のとおりです。- 半導体
- 薄膜
- 太陽光発電
- 質量分析
- 分析機器ランプ
- 表面処理
- 電子/X線管
- イオン / EB 源
- ウェーハボンディング
- 燻る
- ガラス/フィルムコーティング
- 排気カート
ポンプの取扱説明書と荏原 EBT ターボポンプの製品パンフレットはダウンロードで入手できます。