Pfeiffer HiPace 80 ターボ ポンプ、TC 110 ドライブ ユニット Conflat CF 4.5 インチ付き入口フランジ 67 l/s 排気速度 空冷または水冷、PN: PM P03 941 A

Con flat CF 4.5 インチ入口フランジを備えた Pfeiffer HiPace 80 ターボ分子高真空ポンプは、67 リットル/秒 (l/s) の排気速度と 3.5 x 10 ^-10 Torr の到達圧力を備えています。この Pfeiffer HiPace 80 ポンプには、ポンプの側面に統合された TC 110 ドライブ ユニットが付属しており、ISO KF-16 排気フォアライン フランジが付いています。ポンプは任意の方向に取り付けることができます。最大 110 ワットの 24 VDC 入力電力が必要です。 CF 4.5 インチ入口と TC 110 ドライブ ユニットを備えたこの HiPace 80 ターボ ポンプには、Pfeiffer 部品番号: PM P03 941 A が付いています。

付属の TC 110 ドライブ ユニットは、ポンプ電源、RS485 通信、およびアクセサリ ポート (空冷ファンまたはソレノイド ベント バルブのいずれかを制御するため) を供給するための単一の X3 (15 ピン D-Sub) コネクタを備えたコンパクトなオンボード コントローラです。 OEM およびシステム統合アプリケーションの場合、ポンプの起動に必要なのは、開始/停止ロジックを備えた適切な 24 VDC 電源だけです。実験室用途には、電力供給とポンプ制御の両方が可能な 200 ワットの Pfeiffer OmniControl 200 コントローラーをお勧めします。 OmniControl 200 は、ベンチトップまたはラックマウント可能なリモート ユーザー インターフェイス/電源であり、RS485 を介して Pfeiffer HiPace シリーズ ターボ ポンプと通信し、完全な監視と制御を提供します。あるいは、ファイファー DCU 110 コントローラーを使用して電力を供給し、ポンプを制御することもできます。ポンプとコントローラを相互接続し、RS485 コネクタとアクセサリ ポートをブレークアウトするには、Pfeiffer ケーブル部品番号 P103335 または P1011168 を使用します。

当社は、OmniControl 200 および DCU 110 ポンプ コントローラー、入口スクリーン、強制空冷および水冷キット、ソレノイド作動ベント バルブ、ヒーター バンド (Conflat CF フランジ ポンプのみ) など、さまざまなオプションのアクセサリを提供しています。

Pfeiffer HiPace 80 ターボ ポンプ (Conflat CF 4.5 インチ インレットおよび TC 110 ドライブ ユニット付き) 仕様:

• 部品番号: PM P03 941 A
• インレットフランジ：コンフラットCF 4.5インチ
• 基本圧力: 3.5 x 10 ^-10 Torr
• 高真空フランジでの最大ベークアウト温度: 120 °C
• 動作速度: 90,000 RPM
• 取付方向：任意
• ポンピング速度: 67 l/s
• 冷却方式標準：対流
• 冷却方法 オプション: 強制空気または水 (75 l/h、15 ～ 25 °C)
• 排気フランジ: KF-16、G 1/4” (BSPP)
• 通気接続: G 1/8 インチ (BSPP)
• 統合コントローラー: TC 110 ドライブユニット
• 動作電圧：DC24V
• 最大電力: 110 ワット
• 準備時間: 1.7 分
• インターフェイス: RS485、リモート、15 ピン D-Sub X3 コネクタ経由
• アクセサリ ポート: 15 ピン D-Sub X3 コネクタを介して 2 つ
• 入力電源: 15 ピン D-Sub X3 コネクタ経由
• 推奨荒引きポンプ: HiScroll 6 ドライスクロールポンプ

Pfeiffer Vacuum HiPace シリーズのターボポンプは、実証済みのハイブリッド ベアリングを備えた独自のローター設計を特徴としています。 HiPace ポンプは、軽ガスの高圧縮に加えて、高い排気速度と高いガス スループットを実現します。 HiPace ポンプにはターボ分子ステージとドラッグ ステージの両方があり、より高いバッキング ライン圧力に対する耐性が向上し、すべてのガス種でポンピング速度が向上します。 HiPace ハイブリッドベアリングは、前真空側のセラミックボールベアリングと高真空側の永久磁石ラジアルベアリングの組み合わせです。このベアリング技術は電磁石を必要とせず、耐用年数が長く、通常のメンテナンス間隔は約 4 年です。パフォーマンスの向上に加え、すべての HiPace ターボ ポンプには現場で保守可能なオイル カートリッジとシャフト ベアリングが装備されており、ダウンタイムが大幅に短縮されます。

Con flat CF フランジを備えた Pfeiffer HiPace ポンプは、到達圧力が 10 ^-10 Torr の範囲に達する真の超高真空 (UHV) ポンプです (全金属製吸気シール ガスケットが使用され、真空チャンバーが完全に洗浄およびベークアウトされている場合) 。 ISO フランジを備えたターボ ポンプは、(ゴム/エラストマー O リング シールの浸透とガス放出によって) 到達圧力が 10 ^-8 Torr の範囲に制限されます。コンフラット フランジ付き HiPace ポンプの吸気口は、ターボが水冷されている場合、最大 120 °C まで加熱される可能性があります。

一般的なターボ ポンプの用途には次のものがあります。

• 一般的なクリーンポンプ用途
• 走査型電子顕微鏡 - SEM
• ビームラインと高エネルギー物理学
• 質量分析法
• 電子顕微鏡法
• サンプルの準備
• 研究開発
• 高エネルギー物理学
• 産業用
• 半導体
• コーティング
• 表面科学機器

ポンプの取扱説明書と Pfeiffer HiPace ポンプの製品パンフレットは、ダウンロードで入手できます。