Pfeiffer HiPace 1200 ターボポンプ（TC 1200 ドライブユニット付き）、Conflat CF 10.0インチ入口フランジ、1300 l/s ポンピング速度、水冷式、PN: PM P06 002

Pfeiffer HiPace 1200ターボ分子高真空ポンプは、DN200 Conflat CF 10.0インチ入口フランジを備え、排気速度は1300リットル/秒（l/s）、到達圧力は3.5 x 10 ^-10 Torrです。このPfeiffer HiPace 1200ポンプには、ポンプ下部にTC 1200駆動ユニットが一体化されており、ISO KF-40排気フォアラインフランジを備えています。ポンプは垂直（高真空フランジが上）から90°（水平）まで設置可能です。最大1300ワットの100～120/200～240 VAC 50/60Hzの入力電力が、ポンプに電力を供給するTC1200駆動ユニットに直接供給されます。必要なAC電源ケーブル（付属していません）の部品番号はP1012627です。この HiPace 1200 ターボ ポンプは、CF 10.0 インチ入口と TC 1200 ドライブ ユニットを備え、水冷キットが標準装備されており、Pfeiffer 部品番号は PM P06 002 です。

付属の TC 1200 ドライブ ユニットは、ポンプの下に搭載されたオンボード コントローラと電源で、RS485 通信インターフェイス、リモート操作用の D-sub コネクタ、および 2 つのアクセサリ ポート (ソレノイド ベント バルブまたはその他の機器を制御するため) が含まれています。OEM (相手先ブランド供給) アプリケーションおよびシステム統合の場合、ポンプを起動するために必要なのは、AC 入力電源ケーブルと開始/停止ロジックだけです。研究室での使用には、リモート ユーザー インターフェイスとして機能する Pfeiffer OmniControl 001 ターボ ポンプ コントローラをお勧めします。OmniControl 001 は、ベンチトップまたはラック マウントできます。TC1200 ドライブ ユニットから、専用の RS485 ケーブル (部品番号 P1012287、別売) を介して電源が供給されます。OmniControl 001 は、HiPace 1200 ターボ ポンプと通信し、完全な監視と制御を提供します。

当社では、OmniControl 001 ポンプ コントローラー、入口スクリーン、電源および通信ケーブル、ソレノイド作動式ベント バルブ、ヒーター バンド (Conflat CF フランジ ポンプのみ) など、さまざまなオプション アクセサリを提供しています。

Pfeiffer HiPace 1200 ターボポンプ（Conflat CF 10.0インチインレットおよびTC 1200ドライブユニット搭載）仕様：

• 部品番号: PM P06 002
• インレットフランジ：コンフラットCF 10.0インチ
• ベース圧力: 3.5 x 10 ^-10 Torr
• 高真空フランジでの最大ベークアウト温度：120℃
• 動作速度: 37,800 RPM
• 取り付け方向: 0° (HV フランジが上) ～ 90° (水平)
• 排気速度: 1300 l/s
• 冷却方法 標準：水（100 l/h、15～35 °C）
• 給水接続：G 1/4”（BSPP）
• 排気フランジ：KF-40
• 排気接続：G 1/8”（BSPP）
• 一体型コントローラ：TC 1200 ドライブユニット
• 動作電圧: 100 - 120/200 - 240 VAC、50/60 Hz
• 最大電力: 1350ワット
• 準備時間: 2.5 分。
• インターフェース: M12コネクタ経由のRS485
• リモート: 高密度 26 ピン D-Sub コネクタ
• アクセサリポート: 2つのM12ソケット、ラベルAとB
• 推奨粗引きポンプ：HiScroll 18ドライスクロールポンプ

Pfeiffer Vacuum HiPaceシリーズのターボポンプは、実績のあるハイブリッドベアリングを採用した独自のローター設計を特徴としています。HiPaceポンプは、高い排気速度と高いガス処理量に加え、軽質ガスの高圧縮を実現します。HiPaceポンプは、ターボ分子ステージとドラッグステージの両方を備え、高いバッキングライン圧力への耐性が向上し、あらゆるガス種において優れた排気速度を実現します。HiPaceハイブリッドベアリングは、前真空側にセラミックボールベアリング、高真空側に永久磁石ラジアルベアリングを組み合わせたものです。このベアリング技術は電磁石を必要とせず、標準メンテナンス間隔が約4年と長寿命です。性能向上に加え、すべてのHiPaceターボポンプには現場でメンテナンス可能なオイルカートリッジとシャフトベアリングが装備されており、ダウンタイムを大幅に削減します。

Conflat CFフランジを採用したPfeiffer HiPaceポンプは、真の超高真空（UHV）ポンプであり、到達圧力は10 ^-10 Torr（全金属製の吸気シールガスケットを使用し、真空チャンバーを完全に洗浄・ベーキングした場合）の範囲に達します。ISOフランジを採用したターボポンプは、ゴム/エラストマー製Oリングシールの透過およびガス放出により、到達圧力が10 ^-8 Torrに制限されます。Conflatフランジ採用のHiPaceポンプの吸気部は、ターボが水冷式の場合、最大120 °Cまでベーキング可能です。

一般的なターボポンプの用途は次のとおりです:

• 一般的なクリーンポンプ用途
• 走査型電子顕微鏡（SEM）
• ビームラインと高エネルギー物理学
• 質量分析
• 電子顕微鏡
• サンプル準備
• 研究開発
• 高エネルギー物理学
• 産業
• 半導体
• コーティング
• 表面科学機器

ポンプの取扱説明書と Pfeiffer HiPace ポンプの製品パンフレットはダウンロードで入手できます。