MKS 真空センサー カード容量圧力計およびピエゾ、シリーズ 937B および 946 コントローラー用。
MKS 部品番号: 100015267。 MKS 真空センサー カードは、937B および 946 真空システム コントローラーで静電容量圧力計とピエゾ センサーをサポートします。
これらのカードは、流量トランスデューサを制御および表示するように設計されたコントローラで使用されます。流量設定値は、フロントパネルのコントロールを通じて、またはリアパネルのアナログインターフェイスを通じてリモートで調整できます。 946 および 937B 真空システム コントローラーは、最大 6 つのセンサーとゲージを同時に読み出し、制御します。