HALO View 交換/アップグレードウィンドウ（非照明ビューポート用）、ISO-200、LF200、3/8インチ フューズドクォーツ

この石英ガラス製ウィンドウは、Ideal Vacuum ISO-200 HALO 非照明ビューポートウィンドウアセンブリの交換品またはアップグレード品です。非照明HALOビューポートウィンドウは現場での修理が可能です。ウィンドウメディアの交換手順については、ダウンロード可能なHALOビューポートウィンドウマニュアルをご覧ください。

当社の溶融石英ウィンドウは最高品質の天然石英を使用して製造されており、最高レベルの純度と最低レベルの介在物および気泡レベルを実現しています。これらのウィンドウは Heraeus TSC-3 に匹敵し、透過率が向上し、標準ガラスよりも広い波長範囲で使用できます。特性として、屈折率の変化が少なく、熱膨張係数が低いことが挙げられます。溶融石英は、プラズマ エッチングや堆積システムなどの半導体用途に使用され、低アルカリおよび低アルミニウム含有量が求められる場合に推奨されます。高いレーザー損傷閾値が求められる可視光線および近赤外から中赤外波長の透過型光学系によく使用されます。溶融石英は 2600 ～ 2900 nm の領域に吸収帯があり、溶融シリカに似ていますが、それほど強くはありません。270 nm 領域で吸収があるため、UV 作業には適していません。

HALOビューウィンドウアセンブリおよび交換用ガラスは、標準の低鉄強化ガラスまたは溶融シリカガラスを使用しています。強化ガラスは、粗加工や高真空チャンバープロセスの一般的な直接観察に広く使用され、チャンバーコンポーネントの光学的な位置合わせを容易にしたり、流体の脱ガスを観察したり、直接観察による真空内プロセスの教育にも使用できます。ガラス素材は標準の低鉄フロートガラスです。表面品質と平坦度は、ASTM 1036-06および1048-04に準拠したQ4です。鉄含有量が低いため、わずかに青みがかった色合いになっています。この経済的なガラスは、可視光線以下または近赤外線（NIR）波長を超えるレーザー実験には適していません。

当社の高純度フューズドシリカウィンドウは、両面とも光学グレードに研磨・研磨されており、総厚変動（TTV）は10µm未満、表面仕上げはS/D 40/20、表面粗さはRa 1nm未満（コーニングHPFS 7980に相当）です。これらのウィンドウは、標準ガラスに比べて透過率が大幅に向上し、使用可能な波長範囲が広くなっています。その特徴として、極めて低い屈折率変動、低い複屈折値、そして極めて低い熱膨張係数が挙げられます。フューズドシリカは、高いレーザー損傷閾値が求められる透過型光学系に使用されます。また、深紫外線、可視光線、近赤外線の波長域で動作する光学系にも使用されます。

Ideal Vacuum はプレミアム窓製品としてフューズドシリカへの移行を進めているため、フューズドクォーツの在庫は限られています。また、フューズドクォーツ窓に誤ってフューズドシリカの品番が記載されている場合がありますのでご注意ください。窓の材質は、販売請求書でご確認いただけます。

非照明HALOビューポートは現場でのメンテナンスが可能です。実験要件の変更に応じて、窓ガラスを交換したり、別の素材に変更したりすることができます。強化ガラス、溶融石英、溶融シリカの透過率曲線については、以下のグラフをご覧ください。

非照明HALOビューイングウィンドウは、ISO 63、80、100、160、200、250サイズで提供されており、ブランクISOフランジの代わりに使用できます。他のISO継手と同様に、これらのISOフランジウィンドウは、シングルまたはダブルのクロークランプと、Oリング付きのセンタリングリングを使用します。ISO-KとISO-Kの接続にはダブルクロークランプを使用してください。ISO-KとISO-F（ボルト締め）の接続にはシングルクロークランプを使用してください。推奨されるクロークランプの数とタイプ、および必要なセンタリングリングは、以下の表に示されています。

当社のISOビューイングウィンドウは、革新的な金属とガラスの接触を一切排除した設計を採用し、3/8インチ厚の窓ガラスをステンレス鋼製の取り付けフランジに固定します。このクッション性のある窓取り付けシステムは、作業者の安全性を確保し、高真空下でも他のビューポートウィンドウ構成よりも漏れにくい設計となっています。Ideal Vacuum ISO HALOビューイングウィンドウは、完全に組み立てられた状態で納品され、Viton Oリングとテフロンスペーサーを使用しています。ベークアウト温度は150℃まで許容されます。

注意：すべてのビューイングウィンドウまたはビューポートは本質的に壊れやすいため、慎重に取り扱い、使用前に必ず点検してください。Ideal Vacuum Viewing Windows は真空専用に設計および定格されており、急激な温度変化（10°C /分以上）にさらされると熱衝撃の影響を受けやすくなります。レーザー光線をウィンドウに照射する場合は、レーザーの波長がウィンドウの材質を透過することを確認してください。HALO View Window ユーザーマニュアルに記載されているすべての安全に関する警告をダウンロードしてお読みください。