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× 真空ポンプ モジュール式真空チャンバー ステンレス真空チャンバー アルミニウム真空チャンバー ExploraVAC Unlimited Chambers ExploraVAC TVAC テストチャンバー 継手とフランジ フィードスルー 真空バルブ リビルドキット、パーツ、モーター 真空流体、オイル、グリース ターボポンプとコントローラー フィルター、トラップ、サイレンサー 対流式および真空式オーブン リーク検出と RGA 真空圧力測定 循環チラーおよびウォーターバス
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Edwards ドライ真空ポンプ iXL120 E 200-460VAC、3/8 QC 給水継手、流量制御付きバルブ。 PN: A54113011

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  新しい
部品番号:
  P109751
保証:
  完全なメーカー保証

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Edwards ドライ真空ポンプ iXL120 E 200-460VAC、3/8 QC 給水継手、流量制御付きバルブ。 PN: A54113011 2412919.78
通貨: Japanese Yen (JPY)

説明

Edwards ドライ真空ポンプ iXL120 E 200-460VAC 3/8 QC 給水継手、流量制御バルブ付き。エドワーズ部品番号 A54113011。

XL120 は、ウェーハ処理やその他のクリーン用途向けのコンパクト、低エネルギー、110 m3h-1 ドライ ポンプです。非常に低いエネルギー消費でロード ロック チャンバーの高速ポンプダウンを実現します。 iXL120 は、ロード ロックおよびクリーン アプリケーションに使用できるポンプの中で最小かつ最軽量のポンプの 1 つです。振動と騒音レベルが低いため、ツール上または工場のワッフルフロア内に取り付けるのに最適であり、貴重な工場の床スペースの節約に役立ちます。グリーン モードにより、アイドル期間中の光熱費の使用量を削減できるため、光熱費が削減され、環境の保護に役立ちます。

クラスをリードするチャンバーポンプのダウンタイムにより、総平均サイクルタイム (TACT) が短縮されます わずか 0.55kW の消費電力で、お客様の所有コストを最小限に抑えることができます。 グリーン モードにより、アイドル期間中の消費電力を最大 92% 削減できます。 最大 35 ℃の給水により、施設の冷却水の要件が削減されます。非常に小型軽量で、貴重な製造スペースの節約に役立ちます オイル潤滑の高精度ベアリングにより、定期メンテナンスなしでスムーズで低振動の動作が保証されます 独自のデュアル入口配置により、効率的なフォアラインルーティングと位置オプションが可能になります ゼロ窒素パージオプションにより、窒素供給の必要性がなくなり、設置費用が節約されますおよび運営コスト

    Edwards iXL120 の機能と利点:

  • ゼロ窒素パージ オプションにより窒素供給の必要性がなくなり、設置コストと運用コストが節約されます。
  • オイル潤滑の精密ベアリングにより、定期的なメンテナンスを必要とせずにスムーズで低振動の動作が保証されます。
  • 独自のデュアルインレット配置により、効率的なフォアラインルーティングと位置オプションが可能になります。
  • グリーン モードにより、アイドル期間中の消費電力を最大 92% 削減できます。
  • クラス最高のチャンバーポンプダウン時間により、総平均サイクルタイム (TACT) が短縮されます。
  • 最大 35°C の給水により、施設の冷却水の必要量を削減できます
  • わずか 0.55 kW1 の消費電力により、顧客の所有コストを最小限に抑えることができます
  • 単一のバリエーションで供給電圧範囲 200 ~ 460 V、50/60 Hz をカバーします。
  • 非常に小型で軽量なので、貴重な工場スペースの節約に役立ちます

パンフレット


Marca de agua con el logotipo de Ideal Vacuum
お問い合わせ
Ideal Vacuum Products , LLC
5910 Midway Park Blvd NE
Albuquerque, ニューメキシコ州 87109-5805 USA

電話: (505) 872-0037
ファックス: (505) 872-9001
info@idealvac.com



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