Edwards nEXT85Dターボ真空ポンプ（ISO-K 63インレットフランジ付き）、排気速度84 l/s、空冷または水冷式。PN: B8G210B01

Edwards nEXT85Dターボ分子高真空ポンプは、排気速度84リットル/秒（l/s）、到達圧力8 x 10 ^-8 mbar（6 x 10 ^-8 Torr）です。このnEXT85Dポンプは、ISO-K 63インレットフランジ、インレットスクリーン、およびISO KF-16排気フォアラインフランジを備えています。nEXT85Dシリーズのターボポンプは、最大120ワット（通常動作時では通常80ワット未満）の24～48 VDC入力電力を必要とします。すべてのnEXT85Dターボポンプには、RS232、RS485、USBインターフェースを備えたコンパクトなオンボードコントローラ、5つのステータスLED、そして空冷ファンまたはソレノイドベントバルブ（ファンとバルブの両方を接続するための「Y」コネクタも利用可能）を制御するためのアクセサリポートが搭載されています。必要なのは、適切な電源と起動/停止ロジックだけです。研究室での使用には、小型nEXTポンプの電源とリモートコントローラの両方として機能する、Edwards Turbo Instrument Controller（TIC）またはTurbo Active Gauge（TAG）をお勧めします。TICおよびTAGコントローラ、強制空冷および水冷キット、ソレノイド駆動式ベントバルブなど、様々なオプションアクセサリをご用意しています。このnEXT85DターボポンプのEdwards部品番号はB8G210B01です。

Edwards nEXT85Dターボポンプの仕様：

• 部品番号: B8G210B01
• 入口フランジ：ISO-K 63
• ベース圧力: 8 x 10 ^-8 mbar (6 x 10 ^-8 Torr)
• 動作速度: 90,000 RPM
• 動作位置: 水平から垂直（入口上）
• ポンピング速度: 84 l/s
• 冷却：強制空冷または水冷
• 排気フランジ：KF-16
• 動作電圧: 24～48 VDC
• 最大電力: 120 ワット (通常動作時 < 80 ワット)
• 電源と通信: DB15シリアルRS232/RS485インターフェース、USB
• アクセサリポート1つ
• 推奨粗引きポンプ: nXDS6i

nEXTターボポンプは、高い信頼性を維持しながらポンプ性能を最適化するように設計されたローターを備えています。nEXTターボポンプの「D」タイプは、ターボ分子ステージとドラッグステージの両方を備え、高いバッキングライン圧力への耐性が向上し、あらゆるガス種において優れたポンピング速度と圧縮率を実現します。性能向上に加え、nEXT85Dターボポンプは、現場でメンテナンス可能なオイルカートリッジとシャフトベアリングを備えており、ダウンタイムを大幅に削減します。nEXT Dターボポンプは、ポンプの動作とスタンバイ速度の制御、ソレノイドベントバルブ（TAV5、TAV6）と空冷ユニット（24VDCアクセサリポート経由）の操作を行うための駆動回路を搭載したコンパクトなオンボードコントローラを搭載しています。一体型コントローラは、RS232およびRS485シリアル通信とポンプへの電源供給用のDB15インターフェースを備えています。USBポートを介して、Edwards nST2 PCソフトウェア（下記から無料でダウンロードできます）を使用できます。コントローラには、ポンプの一般的な状態、動作状態、およびサービス状態を示す5つのインジケータLEDも搭載されています。オプションの TIC ターボ計器コントローラ、または TAG ターボおよびアクティブ ゲージ コントローラは、ポンプへの電力供給と制御の両方を行うことができます。

CFフランジを備えたEdwards nEXTポンプは、到達圧力が10 ^-10 Torrの範囲に達する真の超高真空（UHV）ポンプです（全金属製の吸気シールガスケットを使用し、真空チャンバーを完全に洗浄およびベーキングした場合）。ISOフランジを備えたターボポンプは、ゴム/エラストマーOリングシールの透過およびガス放出により、到達圧力が10 ^-8 Torrの範囲に制限されます。Conflatフランジ付きnEXT85Dポンプの吸気は、ターボが水冷されている場合、最大120 °Cまでベーキング可能です。Conflatポンプ用のヒーターバンドは別売りです。

真空システム統合アプリケーションの場合、nEXT85Dポンプは、ユーザーが用意する適切な24～48 VDC電源で駆動できます。研究室アプリケーションには、Edwards TICターボ計器コントローラまたはTAGターボ＆アクティブゲージコントローラをお勧めします。どちらもポンプへの電力供給と制御が可能です。TICシリーズのコントローラは、ベンチトップまたはラックマウント可能なリモートユーザーインターフェイス/電源で、RS232/RS485経由でEdwards nEXTシリーズポンプと通信し、ターボポンプの完全な監視と制御を提供します。オプションで1台以上の真空ゲージ計器も監視および制御できます。Edwardsリレーボックスを追加すると、TICコントローラと主電源バッキングポンプ、ターボポンプフランジヒーターバンド、およびバッキングラインアイソレーションバルブ間の制御インターフェイスになります。TAGターボ＆アクティブゲージコントローラは、nEXT85Dターボポンプと真空ゲージに電力を供給でき、大型LEDディスプレイにポンプ速度や真空圧力を表示できます。

ポンプの取扱説明書と Edwards nEXT ポンプの製品パンフレットは、ダウンロード セクションで入手できます。

一般的なターボポンプの用途は次のとおりです:

• 一般的なクリーンポンプ用途
• 走査型電子顕微鏡（SEM）
• ビームラインと高エネルギー物理学
• 質量分析
• 電子顕微鏡
• サンプル準備
• 研究開発
• 高エネルギー物理学
• 産業
• 半導体
• コーティング
• 表面科学機器