Edwards nEXT1230H ターボ真空ポンプ、Conflat CF 10.0 インチ DN200 CF 入口フランジ付き、ポンピング速度 1350 l/s、水冷。 PN: B8N4A0F00

Con flat CF 10.0 インチ DN200 CF 入口フランジを備えた Edwards nEXT1230H ターボ分子高真空ポンプは、排気速度 1350 リットル/秒 (l/s)、到達圧力 5 x 10 ^-10 mbar (3.7 x 10 ^-10 Torr) を備えています。この nEXT1230H ポンプには、ISO KF-40 排気フォアライン フランジが付いています。オプションの入口スクリーン (粗目または細目) が利用可能です。nEXT1230H シリーズ ターボ ポンプは、最大 800 ワットで 48 VDC の入力電力を必要とします (通常の動作は通常 500 ワット未満です)。永続的に取り付けられた長さ 0.6 メートルの 48 ボルト電源ケーブルと長さ 0.95 メートルの制御ケーブルがポンプに標準装備されています。nEXT1230H ターボ ポンプには、RS232、RS485、および USB インターフェイスを備えたコンパクトなオンボード コントローラ、5 つのステータス LED、および制御機能が備わっています。 1 つのアクセサリ (空冷ファンまたはソレノイド ベント バルブ) が必要です。必要なのは、適切な電源と開始/停止ロジックだけです。研究室での使用には、Edwards EPS 800 電源と、動作用の Edwards TIC または TAG コントローラのいずれかを推奨します。ポンプ。また、TIC および TAG、強制空冷キットおよび水冷キット、ソレノイド駆動ベントバルブなど、さまざまなオプションのアクセサリも提供しています。この nEXT1230H ターボ ポンプは、Edwards 部品番号 B8N4A0F00 です。

Edwards nEXT1230H ターボポンプの仕様:

• 部品番号: B8N4A0F00
• インレットフランジ: DN200 CF、CF 10.0 インチ
• 基本圧力: 5 x 10 ^-10 mbar (3.7 x 10 ^-10 Torr)。
• 動作速度: 42,000 RPM
• 動作位置：水平から垂直（入口が上）
• ポンピング速度: 1350 l/s
• 冷却水
• 排気フランジ：KF-40
• 動作電圧: 48 VDC
• 最大電力: 800 ワット (通常動作 < 500 ワット)
• 電源と通信: DB15 シリアル RS232/RS485 インターフェイス、USB
• アクセサリポート 1 つ
• 推奨荒引きポンプ: nXDS35i または E2M28

nEXT ターボ ポンプは、高レベルの信頼性を維持しながらポンプの性能を最適化するように設計されたローターを備えており、すべてのガス種にわたって優れた排気速度と圧縮を実現します。これらの nEXT1230H ターボ ポンプは、性能の向上に加えて、現場で保守可能なシャフト ベアリングを備えているため、ダウンタイムが大幅に短縮されます。 nEXT ターボ ポンプは、ポンプの動作とスタンバイ速度を制御し、ソレノイド ベント バルブ (TAV5、TAV6) と空冷ユニット (24 VDC アクセサリ ポート経由) を操作するための駆動電子機器を備えたコンパクトなオンボード コントローラの恩恵を受けます。統合コントローラには、RS232 および RS485 シリアル通信用の DB15 インターフェイスが備わっています。 USB ポートを使用すると、Edwards nST2 PC ソフトウェア (以下のリンクから無料ダウンロード) を使用できます。コントローラには、ポンプの一般的なステータス、動作、およびサービス ステータスを知らせる 5 つのインジケータ LED もあります。オプションの TIC ターボ計器コントローラ、または TAG ターボおよびアクティブ ゲージ コントローラでポンプを制御できます。

CF フランジを備えた Edwards nEXT ポンプは、到達圧力が 10 ^-10 Torr の範囲に達する真の超高真空 (UHV) ポンプです (全金属吸気シール ガスケットが使用され、真空チャンバーが完全に洗浄およびベークアウトされている場合)。 ISO フランジを備えたターボ ポンプは、(ゴム/エラストマー O リング シールの浸透とガス放出によって) 到達圧力が 10 ^-8 Torr の範囲に制限されます。 Con flat フランジ付き nEXT1230H ポンプの吸気口は、ターボが水冷される場合、最大 100 °C まで加熱される可能性があります。 Conflat ポンプ用のヒーター バンドは特注品であり、別売りです。

真空システム統合アプリケーションの場合、nEXT1230H ポンプは、ユーザーが供給する適切な 48 VDC 電源によって電力を供給できます。実験室用途の場合は、Edwards EPS 800 電源と、ポンプ制御用の Edwards TIC ターボ機器コントローラまたは TAG ターボ & アクティブ ゲージ コントローラのいずれかを推奨します。 TIC シリーズのコントローラは、ベンチトップまたはラックに取り付け可能なリモート ユーザー インターフェイス/電源であり、RS232/RS485 を介して Edwards nEXT シリーズ ポンプと通信し、ターボ ポンプの完全な監視と制御を提供し、オプションで 1 つ以上の真空計機器の監視と制御を提供します。 。 Edwards リレー ボックスを追加すると、TIC コントローラーと主電源バッキング ポンプ、ターボ ポンプ フランジ ヒーター バンド、およびバッキング ライン分離バルブの間の制御インターフェイスになります。 TAG ターボおよびアクティブ ゲージ コントローラーは、nEXT1230H ターボ ポンプと真空計を操作でき、大型 LED ディスプレイにポンプ速度または真空圧力を表示できます。

ポンプの取扱説明書と Edwards nEXT ポンプの製品パンフレットは、ダウンロード セクションから入手できます。

一般的なターボ ポンプの用途には次のものがあります。

• 一般的なクリーンポンプ用途
• 走査型電子顕微鏡 - SEM
• ビームラインと高エネルギー物理学
• 質量分析法
• 電子顕微鏡法
• サンプルの準備
• 研究開発
• 高エネルギー物理学
• 産業用
• 半導体
• コーティング
• 表面科学機器