Agilent Varian TriScroll 300 および 600 真空ポンプ パージ ガス キット。
Agilent 部品番号: PTSPURGEKIT。これらの Agilent Varian OEM Triscroll パージ キットを使用すると、ベアリング パージ ポート、または Triscroll 300 および 600 シリーズ ポンプのガス バラスト ポートを通じて、メイン ベアリングを安全かつ適切にパージできます。このキットには、手動スロットルバルブ付きの流量計、5 psig リリーフバルブ、および必要なチューブと継手が含まれています。以下の用途では、このパージ キットを Triscroll 300 または 600 シリーズ ポンプと併用する必要があります。
- クライオポンプ再生
- ウェットチャンバーのクリーンアップ
- 高サイクルレートのロードロックアプリケーション
- 有機溶剤の圧送
- 微量の臭素または塩素をポンピング
- 残留腐食剤のポンピング