直径 0.094 インチおよび 0.052 インチのワイヤ用電気電源コネクタ、ベリリウム銅 (BeCu) 合金、10 個パック。ベリリウム銅合金コネクタは、真空環境下において異なる径の電線を固定します。片側は六角ネジで0.052インチ径の電線を固定し、もう片側は0.094インチ径のフィードスルー電源端子に差し込むだけで接続できます。これらのコネクタはUHV対応で、空気中で150℃、真空中で200℃までベーキング可能です。
機能には以下が含まれます:共通寸法:
A = 0.690インチ
B = 0.094インチ
C = 0.052インチ
材質：ベリリウム銅合金
付属品：六角レンチ
フィードスルー（または真空フィードスルー）は、電流、信号、流体、ガス、または機械的な動きを真空チャンバーの外側（空気側）から内側（真空側）へ、そしてチャンバー内の機器へ伝送するために、様々な形態で存在します。フィードスルーの入口は、適切な貫通穴を介して真空シールされている必要があります。フィードスルーは溶接可能（溶接オン）な場合もあれば、CF、KF、またはISO規格の真空フランジを介して真空チャンバーに接続する場合もあります。
CFコンフラットフランジは、通常、10-12 Torrまでの超高真空を必要とするプロセスに使用され、銅製ガスケット付きのナットとボルトで真空シールされています。外径は1.33インチ（ミニコンフラット）、2.75インチ、4.5インチ、6インチ、8インチ、10インチ、12インチ、13.25インチ、14インチ、16.5インチからお選びいただけます。
KF（クイックフランジ）は、10-9 Torrまでの高真空圧力に対応し、クランプとエラストマーOリングによって真空シールされています。サイズはKF10、KF16、KF25、KF40、KF50からお選びいただけます。
ISO規格またはラージフランジは、10-6 Torrまでの高真空圧力に対応し、ボルトナット（ボルト穴付きフランジの場合）またはクロークランプ（ボルト穴のない平滑面フランジの場合）で真空シールします。真空シールにはエラストマーOリングを使用しています。サイズは、63mm、80mm、100mm、160mm、200mm、250mm、320mm、400mm、500mm、630mmからお選びいただけます。すべてのフランジは耐腐食性ステンレス鋼製です。
フィードスルーは数千種類もあり、お客様の真空プロセスに最適なものを選ぶのは非常に困難です。ご要望にご不明な点がございましたら、当社のエンジニアまでお気軽にお問い合わせください。お客様の真空プロセスに最適なフィードスルーを見つけるお手伝いをいたします。当社は、特殊なカスタマイズのフィードスルー、真空チャンバー、アクセサリを専門としています。お電話（505-872-0037）にてお問い合わせください。
フィードスルーの種類
力：
電力フィードスルーは、大気（外部）から真空（内部）へ電気を伝送する電気フィードスルーの一種です。電力フィードスルーには、真空装置のチャンバー壁に挿入される1本以上の導体があります。導体は、真空フランジまたはベースプレートを介して溶接または接続された電気絶縁体に密封されています。導体金属は、ワイヤ、ロッド、またはチューブの形で提供されます。導体材料は、電流、耐腐食性、および磁性に基づいて決定されます。選定にあたっては、動作電圧、最大電流、ベース圧力、および動作環境を考慮する必要があります。規定電圧または電流を下回ると、アーク放電、溶融、または絶縁体の破損につながる可能性があるため、絶対に使用しないでください。選定にご不明な点がございましたら、お気軽にお問い合わせください。
熱電対:
熱電対フィードスルーは、幅広い温度測定プロセスで使用される堅牢でコスト効率の高い温度センサーです。異種金属で構成された2本の導線を両端で接合し、片方の端を加熱すると、熱電回路に電流が流れます。この回路が中央で切断された場合、正味の開回路電圧（ゼーベック電圧）は接合部温度と2つの金属の組成の関数となります。つまり、2つの金属の接合部が加熱または冷却されると、温度と相関関係にある電圧が発生します。適切に構成されていれば、熱電対は幅広い温度範囲で測定を行うことができます。
1対以上の電線で構成され、モールドプラグ、プッシュオン、スプリットコネクタを備え、内側（真空）または外側（大気）にラグまたはネジ込みコネクタが付いている場合があります。考慮すべき点は、温度範囲、温度箇所の数、シース材質、電線径、金属の種類、そして同一フィードスルー内の電力導体です。熱電対フィードスルーには様々な種類があり、様々な金属で作られており、温度範囲も異なります。選定に迷われた場合は、お気軽にお問い合わせください。
計装:
マルチピンフィードスルーとも呼ばれる計装用フィードスルーは、真空壁を介して電気信号や低電力アプリケーションを伝送します。電子顕微鏡、表面分析、半導体プロセス制御などの計装アプリケーションで使用されます。真空壁の内側（真空）または外側（大気）の両側に、ピンまたは同軸を備えた電気コネクタを配置できます。選定前に考慮すべき事項として、ケーブルとシールド間の最大電圧、シールドとアース間の最大電圧、信号電圧、アース、インピーダンス、温度範囲、接続数、コネクタの種類などがあります。ご注文の際は、適切なコネクタが付属しているかどうかを確認することが非常に重要です。計装用接続フィードスルーにはさまざまな種類がありますので、ご不明な点がございましたら、お気軽にお問い合わせください。
液体または気体:
液体またはガスフィードスルーは、真空に取り付けられた装置またはチャンバーにガスまたは液体を供給します。このガスまたは液体は、真空チャンバー内で一定の温度を維持します。CFまたはKFフランジ、またはベースプレートポートでご注文いただけます。これらの貫通孔には1本または複数のチューブが溶接されており、チューブはフランジ/ベースポートの両側から伸びています。チューブの直径は様々で、多くの場合、小型フランジまたはガスフィッティングで終端されています。考慮すべき点は、装置の壁面にある未使用のフランジと一致するフランジ、フィードスルーの数、チューブの直径、フィードスルー入口ポートのサイズ、そして両側のコンポーネントと一致する終端です。ご不明な点がございましたら、お気軽にお問い合わせください。
回転運動:
回転モーションフィードスルーは、真空側シャフトを回転させるエア側シャフトです。回転駆動装置には複数の種類があり、アクチュエータ機構、真空シール、対応圧力範囲、用途によって区別されます。エラストマーシール型は、背中合わせのダブルOリングでシールするタイプ、フェロシール型は、高回転数と高トルク容量を実現するフェロ流体Oリング技術を採用しています。フィードスルーは、繰り返し動作や粗い位置決めが可能で、回転動作、直線動作、またはその両方を実現できます。手動回転、空気圧、電動モーターなど、様々な駆動方式をご用意しています。ご不明な点がございましたら、お気軽にお問い合わせください。
アクセサリー:
フィードスルーには、必要な接続を行うために追加のハードウェアが必要になる場合があります。真空チャンバーの内外に使用できるケーブル、電気／同軸コネクタ、ピンをご用意しております。ご購入いただけるアクセサリがご不明な場合は、お気軽にお問い合わせください。
カスタムフィードスルー:
真空プロセスに最適なフィードスルーの選定は非常に難しい作業です。当社は、その選定をお手伝いいたします。また、お客様の真空プロセスに最適なフィードスルーの設計・製造も専門としています。選定のサポートから新規フィードスルーの製造まで、当社の技術者／エンジニアが豊富なノウハウを活かし、お客様の真空プロセス目標達成を迅速にサポートいたします。今すぐ505-872-0037までお電話ください。
