Valvola a farfalla di scarico a farfalla MKS T2BA, KF40, "F-Seal" (O-ring in Viton sulla valvola), RS232, alimentazione sensore (per Baratron). Codice: T2BA01K320003V210025

La valvola a farfalla di scarico MKS T2BA è progettata specificamente per le applicazioni in cui è richiesto un sistema di controllo della pressione semplice ma avanzato. Il T2BA integra tutti i circuiti di controllo, comunicazione e driver all'interno di un gruppo valvola a farfalla, eliminando così la necessità di montare un modulo elettronico di controllo della pressione separato. L'esclusivo algoritmo di controllo basato su modello e il funzionamento ad alta velocità guidano il sistema al punto impostato rapidamente con un superamento minimo e garantiscono ricette di processo ripetibili senza il coinvolgimento dell'operatore.

Caratteristiche del prodotto:

• Sistema compatto di controllo della pressione - valvola con elettronica di controllo integrata integrata
  - Facile integrazione, senza necessità di cavi aggiuntivi o spazio su rack
• Disponibili configurazioni ad alta velocità (<250 msec. da apertura a chiusura)
  - Set point e recupero più rapidi dalle perturbazioni di flusso e pressione
  - Consente un'elevata produttività degli utensili
• Azionamenti a coppia elevata selezionabili
- Prolunga i tempi di attività in condizioni di processo difficili
• Ingresso sensore Baratron® a doppio canale con commutazione automatica della portata
- Supporta un'ampia gamma di controllo della pressione dinamica
- Consente un'elevata precisione di controllo della pressione
• Algoritmo avanzato di controllo della pressione basato su modello
- Riduce al minimo il tempo necessario per impostare il punto
- Garantisce ricette di processo ripetibili senza il coinvolgimento dell'operatore
• Disponibili nelle versioni a tenuta morbida a bassa conduttanza
- Supporta processi ad alta pressione anche a bassi flussi (Epi, RTP, SACVD e altro)
- Adatto per "scarico domestico" o applicazioni atmosferiche
• Fornisce alimentazione ai manometri capacitivi Baratron collegati (opzionale, alcuni modelli)

La valvola a farfalla di scarico T2BA può funzionare in due modalità principali: posizionamento della valvola a farfalla o controllo della pressione, entrambe attivabili dall'utente tramite l'interfaccia I/O. Tutti i parametri di configurazione regolabili, il funzionamento in fase di esecuzione e le informazioni diagnostiche sono disponibili tramite l'interfaccia di comunicazione. EtherCAT T2BA è completamente compatibile con i manometri EtherCAT. I manometri analogici richiedono un gateway.

La tecnica di controllo della pressione a valle fornisce un'ampia gamma dinamica, funziona con tutti i tipi di pompe, fornisce una risposta rapida ed è tollerante alla maggior parte dei gas effluenti. Il concetto di "strumento intelligente" si traduce in un prezioso risparmio di spazio nel sistema, una migliore immunità al rumore e un facile accesso alle informazioni di processo e calibrazione critiche in termini di tempo, nonché alle funzioni diagnostiche di bordo.

Il T2BA utilizza un motore passo-passo ad alta velocità con azionamento diretto. Il driver della valvola fornisce un controllo della pressione ad alta risoluzione. Il motore ad azionamento diretto opzionale a coppia elevata garantisce tempi di attività prolungati ed estende i cicli di manutenzione preventiva: un grande vantaggio nei processi impegnativi in cui anche solo un'ora di fermo macchina può costare migliaia di dollari. La T2BA è disponibile anche nelle versioni con ingranaggio, che forniscono la coppia massima e consentono il funzionamento a lungo termine in ambienti difficili. Le valvole T2BA sono facoltativamente riscaldabili fino a 200°C con i riscaldatori esterni MKS disponibili (è necessaria la corretta selezione dei materiali di tenuta).

Il T2BA è disponibile nelle esclusive versioni MKS a bassa conduttanza, che consentono il controllo della pressione ad alta velocità in applicazioni atmosferiche, incluso il controllo della pressione di scarico, CVD e RTP senza la necessità di fare affidamento su progetti basati su O-Ring per ridurre al minimo la conduttanza della valvola. A scopo diagnostico viene fornito un sistema di feedback della posizione basato su encoder. La valvola è realizzata in acciaio inossidabile 316 resistente alla corrosione compatibile con la maggior parte dei gas di processo ed è disponibile in stili di flangia ISO standard con dimensioni del foro da 1" a 4" (dimensioni alternative disponibili su base personalizzata). Le guarnizioni standard offerte sono Viton®, è possibile specificare materiali alternativi per compatibilità con vari prodotti chimici di processo e/o applicazioni riscaldate.