Pompa per vuoto turbomolecolare con cuscinetti in ceramica Ebara EBT70, flangia di ingresso CF da 4,50 pollici, velocità di pompaggio N2 di 75 l/s, ventola forzata raffreddata ad aria. Numero parte Ebara: EBT70FCAB-20. La pompa turbomolecolare composta da cuscinetti meccanici in ceramica Ebara EBT70 con CF-4,50 pollici è una soluzione altamente efficiente ed economica che fornisce una generazione di vuoto pulita e affidabile per le vostre applicazioni ad alto vuoto. La turbopompa EBT70 offre un valore eccezionale ed è dotata di cuscinetti ceramici di precisione per anni di funzionamento senza problemi (>30.000 ore prima della sostituzione). I nuovi rotori dal design composto possono resistere a trattamenti d'urto poco frequenti in condizioni di flusso elevato o di sfiato. Una migliore efficienza si traduce in velocità di pompaggio e compressione del gas più elevate. Ciò consente pressioni della linea principale più elevate rendendoli ideali per molteplici applicazioni tra cui UHV, carrelli mobili a vuoto e sistemi analitici.
Caratteristiche e vantaggi dei modelli Ebara EBT:- Design robusto del cuscinetto ideale per applicazioni mobili
- Elevate velocità di pompaggio
- Rapporti di compressione elevati per gas leggeri
- Avviamenti e arresti rapidi
- Sfiato rapido (nessuna pulsazione dello sfiato)
- Ventola o raffreddamento ad acqua (non incluso)
- Flange ISO o Conflat (CF).
- Controller integrato (modelli selezionati)
Le applicazioni tipiche delle pompe turbo includono:- Semiconduttore
- Pellicola sottile
- Fotovoltaico
- Spettrometria di massa
- Lampade per strumenti analitici
- Trattamento della superficie
- Tubi elettronici/raggi X
- Sorgente ionica/EB
- Incollaggio dei wafer
- Sputare
- Rivestimento in vetro/pellicola
- Carrelli di scarico
Il manuale di istruzioni della pompa e le brochure del prodotto turbopompa Ebara EBT sono disponibili nei download.