L'Ideal Vacuum AnalyzaVAC RGA è uno spettrometro di massa compatto che può aiutare a determinare l'identità e la concentrazione dei gas residui all'interno di una camera a vuoto. Può essere utilizzato per il rilevamento delle perdite, l'analisi del degassamento, il controllo della qualità del gas di alimentazione in applicazioni di rivestimento e incisione, la risoluzione dei problemi di processo e altro ancora.

Collegato direttamente a una camera, l'RGA è progettato per un funzionamento continuo a pressioni totali inferiori a 1×10 ^-6 Torr e, in modo ottimale, intorno a 2×10 ^-7 Torr. Il funzionamento dell'RGA a pressioni più elevate comporta una durata di vita drasticamente ridotta di ionizzatore, filamento e quadrupolo. I manometri integrati dell'AnalyzaVAC sono utilizzati sia internamente che nel software AutoZ ⁺ incluso per prevenire danni fatali all'RGA (nella maggior parte dei casi).

Per misurare i gas in una camera a vuoto medio a pressione atmosferica, l'RGA deve essere posizionato in una piccola camera separata con il suo sistema di pompaggio ad alto vuoto. Il sistema di vuoto dell'RGA è quindi collegato alla camera tramite una valvola di perdita che consente all'RGA di campionare i gas nella camera principale mantenendo comunque un alto vuoto attorno alla delicata sonda quadripolare.

Questo kit contiene tutto il necessario per utilizzare un RGA per misurare gas a pressioni più elevate.

Componenti e caratteristiche:

• Vuoto ideale AnalyzaVAC RGA.
• Intervallo di scansione 1-200 AMU.
• Rilevatore di tazze di Faraday.
• Il manometro Pirani integrato impedisce l'attivazione dell'RGA a pressioni elevate.
• Misuratore di ioni a catodo caldo incorporato per una rapida misurazione della pressione ad alto vuoto.
• Stazione di pompaggio turbomolecolare Pfeiffer HiCube 80 NEO.
• La valvola di perdita variabile manuale Agilent consente il campionamento RGA di camere da 1000 Torr all'alto vuoto.
• Collettore saldato con guarnizioni interamente in metallo per ridurre al minimo la contaminazione delle misurazioni da altre fonti di gas.
• Software Ideal Vacuum AutoZ ⁺ versione base.

La combinazione della stazione di pompaggio Pfeiffer HiCube 80 NEO con la valvola di perdita variabile manuale Agilent consente un campionamento accurato del gas di camere che coprono almeno 9 ordini di grandezza di pressione. Tuttavia, un singolo punto di rottura della valvola di isolamento non è adatto a tutte le pressioni all'interno dell'intervallo. Per ottenere risultati ottimali, la valvola deve essere reimpostata manualmente ogni volta che viene modificata la pressione della camera. Se la pressione della camera aumenta di oltre 1 ordine di grandezza rispetto alla pressione di esercizio corrente (ad esempio, durante uno sfiato della camera), la valvola di perdita deve essere chiusa per prima per evitare danni all'RGA e al sistema di pompaggio. Dopo che la camera raggiunge una pressione stabile, lo ionizzatore RGA deve essere spento e la valvola riaperta fino al raggiungimento della pressione desiderata all'interno del sottosistema RGA. Lo ionizzatore RGA può quindi essere riacceso e la misurazione ripresa.

Per mantenere la valvola di perdita a un determinato punto di rottura durante i cicli di pressione, la RGA può essere isolata dalla camera utilizzando una valvola a soffietto manuale aggiuntiva.

Informazioni su Ideal Vacuum AnalyzaVac RGA:

AnalyzaVAC funziona ionizzando i gas presenti sulla punta della sonda utilizzando elettroni emessi termoionicamente da doppi filamenti di iridio toriato sostituibili tramite campo. I cationi risultanti vengono separati in base al rapporto massa/carica utilizzando una combinazione di radiofrequenze variabili e tensioni CC applicate al filtro quadrupolare. Gli ioni caricati positivamente viaggiano lungo il centro del quadrupolare e vengono amplificati da un moltiplicatore di elettroni o rilevati direttamente dal rilevatore a tazza di Faraday all'estremità della sonda. Ogni gas produce un'impronta spettrale unica che è una combinazione dell'abbondanza isotopica naturale dei suoi elementi e della frammentazione molecolare causata dalla ionizzazione elettronica ad alta energia dell'RGA.

Tutte le sonde AnalyzaVAC sono dotate di un rilevatore a tazza di Faraday che fornisce un rilevamento ripetibile, quantitativo e altamente lineare fino a 1,5×10 ^-12 Torr ^* . Il moltiplicatore di elettroni opzionale aumenta la sensibilità a un sorprendente 6×10 ^-15 Torr ^* per misurazioni qualitative. Sia i rilevatori standard che quelli dotati di moltiplicatore di elettroni hanno una risoluzione di 0,5 AMU al 10% di altezza di picco (o migliore) se correttamente calibrati.

Il software base AutoZ ⁺ di Ideal Vacuum, senza scadenza, è un'applicazione Windows 10, in grado di controllare qualsiasi sistema AnalyzaVAC RGA da un computer desktop o portatile. AutoZ ⁺ offre all'operatore il potere di controllare tutti i parametri di acquisizione. AutoZ ⁺ fornisce streaming di dati in tempo reale e consente agli utenti di visualizzare i dati raccolti come uno spettro analogico, un istogramma di massa e trend nel tempo. Per rimuovere picchi indesiderati e contributi spettrali, un utente può utilizzare spettri raccolti in precedenza per i dati di base.

L'aggiornamento software opzionale AutoZ ⁺ premium di Ideal Vacuum include tutte le funzionalità del software base e aggiunge registrazione dati avanzata, media, adattamento spettrale con accesso alla libreria di sostanze di Ideal Vacuum e la possibilità di aggiungere composti aggiuntivi alla libreria. AutoZ ⁺ premium utilizza un potente algoritmo dei minimi quadrati per calcolare le pressioni parziali dei gas residui comuni, identifica il loro contributo allo spettro attualmente visualizzato e isola i picchi sconosciuti. Il software premium deve essere rinnovato annualmente o torna alla versione base.

Alcune applicazioni RGA:

• Prova di tenuta
• Monitoraggio dei processi
• Monitoraggio del pump-down e del bakeout
• Diagnosi del vuoto
• Controllo della qualità del gas di alimentazione
• Identificazione di gas e contaminanti

* La sonda AnalyzaVAC è uno strumento delicato. Un uso improprio, una manipolazione impropria della sonda o il funzionamento a pressioni elevate per periodi di tempo prolungati possono contaminarla e danneggiarla. Pertanto, la sonda non è coperta da garanzia dopo la rimozione dalla confezione originale.
Il turbo Pfeiffer HiCube 80 NEO è coperto da garanzia completa del produttore. La garanzia di qualsiasi altro componente è contro i difetti del prodotto.

La pressione operativa totale ottimale dell'RGA è 2×10 ^-7 Torr per la maggior parte dei gas. La pressione esterna può essere molto più elevata purché venga ridotta all'interno del sistema RGA utilizzando la valvola di perdita variabile e il sistema turbopompa. Il funzionamento a pressioni di sistema RGA più elevate per periodi di tempo prolungati comporterà un invecchiamento precoce della sonda, perdita di guadagno, deriva spettrale e burnout del fillament e dello ionizzatore. L'RGA può essere utilizzato nelle seguenti regioni di pressione per i corrispondenti periodi di tempo:
10 ^-4 Torr, diverse ore
10 ^-5 Torr, diversi giorni
10 ^-6 Torr, diversi mesi
10 ^-7 Torr, diversi anni
10 ^-8 Torr, a tempo indeterminato
I vapori organici devono essere mantenuti a una pressione 2 volte inferiore rispetto ai gas atmosferici per prevenire la contaminazione da fuliggine del riempitivo e dello ionizzatore. I vapori di silicone devono essere mantenuti a pressioni almeno 10 volte inferiori rispetto ai gas atmosferici per prevenire l'accumulo di vetro sul riempitivo e sullo ionizzatore. I vapori corrosivi sono anche più dannosi per l'RGA rispetto ai gas normali. Gestire correttamente la pressione consente di utilizzare l'RGA per misurare questi gas senza dover sostenere costose riparazioni.

* Misurato con azoto gassoso, tempo di permanenza di 5 secondi, larghezza di picco completa di 1 amu, altezza del 10%, energia elettronica di 70 eV, energia ionica di 6 eV ed emissione elettronica di 2 mA, e calcolando tre deviazioni standard dal rumore di base.