L'Ideal Vacuum AnalyzaVAC RGA est un spectromètre de masse compact qui peut aider à déterminer l'identité et la concentration des gaz résiduels à l'intérieur d'une chambre à vide. Il peut être utilisé pour la détection des fuites, l'analyse du dégazage, le contrôle de la qualité du gaz d'alimentation dans les applications de revêtement et de gravure, le dépannage des processus, etc.

Connecté directement à une chambre, le RGA est conçu pour un fonctionnement continu à des pressions totales inférieures à 1 × 10 ^-6 Torr et de manière optimale autour de 2 × 10 ^-7 Torr. Le fonctionnement du RGA à des pressions plus élevées entraîne une réduction considérable de la durée de vie de l'ioniseur, du filament et du quadripôle. Les manomètres intégrés de l'AnalyzaVAC sont utilisés à la fois en interne et dans le logiciel AutoZ ⁺ inclus pour éviter des dommages mortels au RGA (dans la plupart des cas).

Pour mesurer les gaz dans une chambre à vide moyen ou à pression atmosphérique, le RGA doit être placé dans une petite chambre séparée dotée de son propre système de pompage à vide poussé. Le système de vide du RGA est ensuite connecté à la chambre via une vanne de fuite qui permet au RGA d'échantillonner les gaz dans la chambre principale tout en maintenant un vide poussé autour de la sonde quadripolaire délicate.

Ce kit contient tout ce dont vous avez besoin pour utiliser un RGA pour mesurer des gaz à des pressions plus élevées.

Composants et caractéristiques :

• Analyse du vide idéalVAC RGA.
• Plage de balayage de 1 à 200 AMU.
• Détecteur de coupe Faraday.
• La jauge Pirani intégrée empêche le RGA de s'allumer à des pressions élevées.
• Jauge d'ions à cathode chaude intégrée pour une mesure rapide de la pression sous vide élevé.
• Station de pompage turbomoléculaire Pfeiffer HiCube 80 NEO.
• La vanne de fuite variable manuelle Agilent permet l'échantillonnage RGA de chambres de 1 000 Torr à un vide élevé.
• Collecteur soudé avec joints entièrement métalliques pour une contamination minimale des mesures provenant d'autres sources de gaz.
• Logiciel Ideal Vacuum AutoZ ⁺ version de base.

La combinaison de la station de pompage Pfeiffer HiCube 80 NEO avec la vanne de fuite variable manuelle Agilent permet un échantillonnage précis des gaz des chambres couvrant au moins 9 ordres de grandeur de pression. Cependant, un seul point de fissure de vanne d'isolement ne convient pas à toutes les pressions dans la plage. Pour de meilleurs résultats, la vanne doit être réinitialisée manuellement chaque fois que la pression de la chambre est modifiée. Si la pression de la chambre doit augmenter de plus d'un ordre de grandeur par rapport à la pression de fonctionnement actuelle (c'est-à-dire pendant une ventilation de la chambre), la vanne de fuite doit d'abord être fermée pour éviter d'endommager le RGA et le système de pompage. Une fois que la chambre a atteint une pression stable, l'ioniseur RGA doit être éteint et la vanne rouverte jusqu'à ce que la pression souhaitée à l'intérieur du sous-système RGA soit atteinte. L'ioniseur RGA peut ensuite être rallumé et la mesure reprise.

Pour maintenir la soupape de fuite à un certain point de fissure pendant les cycles de pression, le RGA peut être isolé de la chambre à l'aide d'une soupape à soufflet manuelle supplémentaire.

À propos de l'Ideal Vacuum AnalyzaVac RGA :

L'AnalyzaVAC fonctionne en ionisant les gaz présents à la pointe de la sonde à l'aide d'électrons émis de manière thermoionique par des filaments d'iridium thorié doubles remplaçables sur le terrain. Les cations résultants sont séparés par rapport masse/charge à l'aide d'une combinaison de fréquences radio et de tensions continues variables appliquées au filtre quadripolaire. Les ions chargés positivement se déplacent vers le centre du quadripolaire et sont soit amplifiés par un multiplicateur d'électrons, soit détectés directement par le détecteur à coupelle Faraday à l'extrémité de la sonde. Chaque gaz produit une empreinte spectrale unique qui est une combinaison de l'abondance isotopique naturelle de ses éléments et de la fragmentation moléculaire provoquée par l'ionisation électronique à haute énergie du RGA.

Toutes les sondes AnalyzaVAC sont équipées d'un détecteur à coupelle Faraday qui fournit une détection quantitative répétable et hautement linéaire jusqu'à 1,5 × 10 ^-12 Torr ^* . Le multiplicateur d'électrons en option augmente la sensibilité jusqu'à 6 × 10 ^-15 Torr ^* pour les mesures qualitatives. Les détecteurs standard et équipés d'un multiplicateur d'électrons ont une résolution de 0,5 AMU à une hauteur de crête de 10 % (ou mieux) lorsqu'ils sont correctement calibrés.

Le logiciel AutoZ ⁺ de base non expirable d'Ideal Vacuum est une application Windows 10, qui peut contrôler n'importe quel système AnalyzaVAC RGA à partir d'un ordinateur de bureau ou portable. AutoZ ⁺ donne à l'opérateur le pouvoir de contrôler tous les paramètres d'acquisition. AutoZ ⁺ fournit un streaming de données en temps réel et permet aux utilisateurs de visualiser les données collectées sous forme de spectre analogique, d'histogramme de masse et de tendances au fil du temps. Pour supprimer les pics et les contributions spectrales indésirables, un utilisateur peut utiliser les spectres précédemment collectés pour établir les données de base.

La mise à niveau logicielle optionnelle AutoZ ⁺ premium d'Ideal Vacuum comprend toutes les fonctionnalités du logiciel de base et ajoute l'enregistrement avancé des données, le calcul de moyennes, l'ajustement spectral avec accès à la bibliothèque de substances d'Ideal Vacuum et la possibilité d'ajouter des composés supplémentaires à la bibliothèque. Premium AutoZ ⁺ utilise un puissant algorithme des moindres carrés pour calculer les pressions partielles des gaz résiduels courants, identifier leur contribution au spectre actuellement affiché et isoler les pics inconnus. Le logiciel Premium doit être renouvelé chaque année, sinon il revient à la version de base.

Quelques applications RGA :

• Test d'étanchéité
• Surveillance des processus
• Surveillance du pompage et de l'étuvage
• Diagnostic du vide
• Contrôle de la qualité du gaz d'alimentation
• Identification des gaz et des contaminants

* La sonde AnalyzaVAC est un instrument délicat. Une utilisation inappropriée, une mauvaise manipulation de la sonde ou un fonctionnement à des pressions élevées pendant des périodes prolongées peuvent la contaminer et l'endommager. Par conséquent, la sonde n'est pas couverte par la garantie une fois retirée de son emballage d'origine.
Le turbo Pfeiffer HiCube 80 NEO bénéficie d'une garantie constructeur complète. La garantie de tout autre composant couvre les défauts du produit.

La pression opérationnelle totale optimale du RGA est de 2× ^10-7 Torr pour la plupart des gaz. La pression externe peut être beaucoup plus élevée à condition qu'elle soit réduite à l'intérieur du système RGA à l'aide de la vanne à fuite variable et du système de pompe turbo. Le fonctionnement à des pressions de système RGA plus élevées pendant des durées prolongées entraînera un vieillissement prématuré de la sonde, une perte de gain, une dérive spectrale et une usure du filament et de l'ioniseur. Le RGA peut être utilisé dans les régions de pression suivantes pendant les durées correspondantes :
10 ^-4 Torr, plusieurs heures
10 ^-5 Torr, plusieurs jours
10 ^-6 Torr, plusieurs mois
10 ^-7 Torr, plusieurs années
10 ^-8 Torr, indéfiniment
Les vapeurs organiques doivent être maintenues à une pression deux fois inférieure à celle des gaz atmosphériques pour éviter la contamination du filament et de l'ioniseur par la suie. Les vapeurs de silicone doivent être maintenues à des pressions au moins 10 fois inférieures à celles des gaz atmosphériques pour éviter l'accumulation de verre sur le filament et l'ioniseur. Les vapeurs corrosives sont également plus dommageables pour le RGA que les gaz normaux. En gérant correctement la pression, le RGA peut être utilisé pour mesurer ces gaz sans entraîner de réparations coûteuses.

* Mesuré avec de l'azote gazeux, un temps de maintien de 5 secondes, une largeur de pic complète de 1 amu, une hauteur de 10 %, une énergie électronique de 70 eV, une énergie ionique de 6 eV et une émission électronique de 2 mA, et en calculant trois écarts types par rapport au bruit de base.