Description
Nous proposons également les pompes à vide à palettes rotatives à deux étages Alcatel 2063CP et 2063CP+ reconstruites avec des fluides inertes en perfluoropolyester (PFPE) (huiles Krytox® ou Fomblin®) pour la compatibilité des semi-conducteurs C1 et C2.
Ces pompes à vide à palettes rotatives à deux étages Alcatel 2063C ont été entièrement reconstruites pour être utilisées avec des fluides inertes en perfluoropolyester (PFPE) (huiles Krytox® ou Fomblin®) pour être compatibles avec les semi-conducteurs C1 et C2. Les pompes de la série C2 Semiconductor Compatible partagent les caractéristiques de résistance chimique de la série C1 mais diffèrent de manière à augmenter leur résistance aux gaz contenant du chlore et du fluor trouvés dans le traitement des semi-conducteurs. L'aube de l'étage haute pression est en matériau composite, qui offre une résistance chimique élevée. La quincaillerie d'admission et d'échappement est en acier inoxydable. Nos pompes compatibles C2 à semi-conducteur reconstruites sont préparées pour les fluides PFPE inertes, qui doivent être commandés séparément. Déplacement de la vitesse de pompage à 60 Hz 48 CFM. Pression limite 1.5X10 -4 Torr.