Pompe à vide sèche Edwards iXL600N. Alimentation triphasée 200-460 V 50/60 Hz. 600 m3h-1 Vitesse de pompage maximale. Comprend : raccords d'eau à connexion rapide 3/8".
Référence Edwards : A54134010 L'iXL600N est une combinaison de pompe sèche et de surpresseur. Les systèmes sont destinés à être utilisés sur des applications légères et la variante N est équipée d'un module de gaz qui fournit du gaz de purge d'azote aux zones du mécanisme de la pompe. Le stator, le moteur et les variateurs sont refroidis par eau. Les systèmes de pompage peuvent être contrôlés par le panneau avant, un accessoire PDT ou par l'outil via MicroTIM. Les systèmes de pompe à sec sont destinés à être utilisés sur des applications de verrouillage de charge et de service léger. Les applications courantes incluent le verrouillage de charge, le transfert, la métrologie, la lithographie, le processus PVD et le pré-nettoyage PVD.