Contrôleur de débit massique (MFC) MKS GM50A à commande analogique, plage de 1 à 50 sccm, connecteur 15 broches, 4 VCR mâles. Réf. : GM50A013501RMM020.
Numéro de pièce MKS : GM50A013501RMM020. Le contrôleur de débit massique MKS GM50A peut être configuré pour contrôler une large gamme de gaz sources de distribution sécurisée (SDS). Les raccords d'entrée et de sortie sont des raccords mâles Swagelok® 4 VCR®. Il dispose d'une plage de débit à pleine échelle de 50 sccm et d'une plage de contrôle de 1 à 50 sccm, d'un connecteur D-subminiature à 15 broches avec mise à la terre et d'un signal d'entrée/sortie de débit de 0 à 5 VCC. Les temps de réponse typiques sont de l'ordre de 500 millisecondes.
Swagelok, VCR-TM Société Swagelok