Descripción
También ofrecemos bombas de vacío de paletas rotativas de dos etapas Alcatel 2063CP y 2063CP+ reconstruidas con fluidos inertes de perfluoropoliéster (PFPE) (aceites Krytox® o Fomblin®) para compatibilidad con semiconductores C1 y C2.
Estas bombas de vacío de paletas rotativas Alcatel 2063C de dos etapas se han reconstruido completamente para su uso con fluidos inertes de perfluoropoliéster (PFPE) (aceites Krytox® o Fomblin®) para que sean compatibles con semiconductores C1 y C2. Las bombas de la serie C2 Semiconductor Compatible comparten las características de resistencia química de la serie C1, pero difieren en formas que aumentan su resistencia a los gases que contienen cloro y flúor que se encuentran en el procesamiento de semiconductores. La paleta en la etapa de alta presión está hecha de un material compuesto, que proporciona una alta resistencia química. El hardware de entrada y escape es de acero inoxidable. Nuestras bombas compatibles con semiconductores C2 reconstruidas están preparadas para fluidos PFPE inertes, que deben pedirse por separado. Desplazamiento de velocidad de bombeo a 60 Hz 48 CFM. Presión máxima 1.5X10 -4 Torr.