Transductor piezoeléctrico de cátodo frío MKS HPS 974 QuadMag MicroPirani KF40 RS-232, 10-10 a 1000 Torr. PN: 974-91020

El 974 QuadMag ofrece un rango de medición de 1x10 ^-8 a 1500 Torr y combina magnetrón invertido de cátodo frío, MicroPirani™ y tecnologías de sensor piezoeléctrico diferencial. El 974 ha sido diseñado específicamente para la medición de presión dentro de una esclusa de carga de vacío. Tiene la capacidad de reemplazar varios dispositivos de medición de presión en un bloqueo de carga con su medición de presión absoluta desde la atmósfera hasta 10 ^-8 Torr y capacidades de conmutación atmosférica. Posteriormente, los OEM pueden reducir los costos con un diseño de bloqueo de carga simplificado. El 974 se puede usar en esclusas de carga o en cualquier cámara de vacío que requiera tanto medición de presión absoluta como capacidades de conmutación atmosférica. El QuadMag Serie 974 tiene una interfaz de comunicación digital RS232 o RS485 para configurar los parámetros del transductor y proporcionar mediciones de presión en tiempo real.

Los transductores 974 QuadMag también tienen una salida de presión analógica de 0,5 V CC/década que se puede conectar a equipos analógicos externos para lectura o control de presión. Se pueden seleccionar otras salidas y curvas analógicas a través de la interfaz de usuario digital. La Serie 974 QuadMag tiene hasta tres relés mecánicos que se pueden usar para el control de procesos, por ejemplo, bombas o válvulas de enclavamiento. El transductor 974 QuadMag tiene un módulo de ánodo de cátodo frío que el usuario puede cambiar y que ofrece un fácil mantenimiento sin desmontar los componentes electrónicos del transductor. Los clientes que requieran una fuente de alimentación y una pantalla pueden usar el 974 QuadMag con el controlador de la serie PDR900 que se vende en este sitio web. Para ver las especificaciones completas y la información de funcionamiento, consulte las DESCARGAS DISPONIBLES a continuación.