Wassergekühlter Abgasabscheider Modell 250 von Edwards. PN: A53114000

Die wassergekühlte Abgasfalle Modell 250 von Edwards kühlt die Abgase der Pumpe und sorgt dafür, dass sich Partikel in der Falle ansammeln. Dies verhindert die Ansammlung von Partikeln im Abgassystem. Die Abgasfalle ist für den Anschluss an eine Pumpe konzipiert, die in einem LPCVD-Nitridprozess unter Verwendung von Dichlorsilan oder Hexachlordisilan und Ammoniak verwendet wird.

Der Abgasabscheider ist nicht für den Anschluss an eine Pumpe geeignet, die in anderen Prozessen eingesetzt wird. Der Edwards-Abscheider Modell 250 ist für die Trockenpumpen CDP und QDP von BOC Edwards und die Trockenpumpensysteme Drystar MKI, MKII und QMKII konzipiert. Das System muss über einen Druckschalter verfügen, der die Pumpe abschaltet, wenn das Abgassystem verstopft ist.

Die Abgasfalle hat einen Hauptaußenkörper, der auf einem Grundrahmen montiert ist. Die Höhe des Fallenkörpers kann im Grundrahmen angepasst werden, um die Falle an verschiedene Pumpen anzupassen. Der Grundrahmen verfügt über Rollen für eine einfache Bewegung und Nivellierfüße, damit er sicher in seiner Betriebsposition positioniert werden kann. Die wassergekühlte Abgasfalle Modell 250 hat die Edwards-Teilenummer A53114000.

Technische Daten der wassergekühlten Abgasfalle Modell 250 von Edwards:

• Passend für Edwards-Trockenpumpen: CDP- und QDP-Trockenpumpen und Drystar MKI-, MKII- und QMKII-Trockenpumpensysteme
• Material: Der Fallenkörper besteht aus Edelstahl AIS 304L und die Wasserkühlschlangen sind aus Kupfer
• Die Ersatzteilnummer des Liners lautet A53115020

Für vollständige Spezifikationen laden Sie bitte die Bedienungsanleitung herunter.