Edwards iXL600N Trockenvakuumpumpe. 200-460 V 50/60 Hz 3-Phasen-Versorgung. 600 m3h-1 Spitzensaugvermögen. Beinhaltet: 3/8" Schnellanschluss-Wasseranschlüsse.
Edwards PN: A54134010 Der iXL600N ist ein kombiniertes Trockenpumpen- und Druckerhöhungssystem. Die Systeme sind für den Einsatz in leichten Anwendungen vorgesehen und die N-Variante ist mit einem Gasmodul ausgestattet, das den Pumpenmechanismusbereichen Stickstoffspülgas zuführt. Der Stator, der Motor und die Wechselrichterantriebe sind wassergekühlt. Die Pumpsysteme können über das Frontpanel, ein PDT-Zubehör oder vom Werkzeug über MicroTIM gesteuert werden. Die Trockenpumpensysteme sind für den Einsatz in Lastschleusen und leichten Anwendungen vorgesehen. Zu den gängigen Anwendungen gehören Ladesperre, Transfer, Messtechnik, Lithographie, PVD-Prozess und PVD-Vorreinigung.