MKS Vakuumsensorkarte, Kapazitätsmanometer und Piezo, für Controller der Serien 937B und 946.
MKS-Teilenummer: 100015267. Die MKS-Vakuumsensorkarte unterstützt Kapazitätsmanometer und Piezosensoren mit den Vakuumsystemcontrollern 937B und 946.
Diese Karten werden auf Controllern verwendet, die für die Steuerung und Anzeige beliebiger Durchflusswandler konzipiert sind. Der Durchflusssollwert kann entweder über die Bedienelemente an der Vorderseite oder aus der Ferne über die analoge Schnittstelle an der Rückseite angepasst werden. Die Vakuumsystemcontroller 946 und 937B dienen zur gleichzeitigen Auslesung und Steuerung von bis zu 6 Sensoren und Messgeräten.