MKS T2BA Butterfly-Auslassdrosselventil, KF40, „F-Seal“ (Viton-O-Ring auf der Klappe), RS232, Sensorstromversorgung (für Baratron). PN: T2BA01K320003V210025

Das Abgasdrosselventil MKS T2BA wurde speziell für Anwendungen entwickelt, bei denen ein einfaches, aber fortschrittliches Druckregelsystem gewünscht ist. Der T2BA integriert alle Steuer-, Kommunikations- und Treiberschaltkreise in einer Drosselklappenbaugruppe, wodurch die Montage eines separaten Drucksteuerungselektronikmoduls überflüssig wird. Der einzigartige modellbasierte Steueralgorithmus und der Hochgeschwindigkeitsbetrieb sorgen dafür, dass das System mit minimalem Überschwingen schnell den Sollpunkt erreicht und wiederholbare Prozessrezepte ohne Eingreifen des Bedieners gewährleistet.

Produktmerkmale:

• Kompaktes Druckregelsystem – Ventil mit integrierter Bordsteuerelektronik
  - Einfache Integration, keine zusätzlichen Kabel oder Rack-Platz erforderlich
• Hochgeschwindigkeitskonfigurationen verfügbar (<250 ms. Öffnen bis Schließen)
  - Schnellerer Sollwert und schnellere Erholung von Durchfluss- und Druckstörungen
  - Ermöglicht einen hohen Werkzeugdurchsatz
• Wählbare Antriebe mit hohem Drehmoment
- Verlängert die Betriebszeit unter rauen Prozessbedingungen
• Zweikanaliger Baratron®-Sensoreingang mit automatischer Bereichsumschaltung
- Unterstützt einen breiten dynamischen Druckregelbereich
- Ermöglicht eine hohe Druckregelgenauigkeit
• Fortschrittlicher modellbasierter Druckregelalgorithmus
- Minimiert die Zeit bis zum Erreichen des Sollwerts
- Gewährleistet wiederholbare Prozessrezepte ohne Eingreifen des Bedieners
• Erhältlich in weichdichtenden Versionen mit niedrigem Leitwert
- Unterstützt Hochdruckprozesse auch bei geringen Durchflussraten (Epi, RTP, SACVD und mehr)
- Geeignet für „Hausabgas“ oder atmosphärische Anwendungen
• Versorgt angeschlossene Baratron-Kapazitätsmanometer mit Strom (optional, einige Modelle)

Das T2BA-Auslassdrosselventil kann in zwei Hauptmodi betrieben werden: Klappenpositionierung oder Drucksteuerung, die beide über die E/A-Schnittstelle vom Benutzer aktiviert werden können. Alle einstellbaren Setup-Parameter, Laufzeitbetrieb und Diagnoseinformationen sind über die Kommunikationsschnittstelle verfügbar. EtherCAT T2BA ist vollständig kompatibel mit EtherCAT-Manometern. Analoge Manometer benötigen ein Gateway.

Die nachgeschaltete Druckregelungstechnik bietet einen großen Dynamikbereich, funktioniert mit allen Pumpentypen, sorgt für eine schnelle Reaktion und ist tolerant gegenüber den meisten Abgasen. Das Konzept des „intelligenten Instruments“ führt zu wertvollen Platzeinsparungen im System, einer verbesserten Störfestigkeit und einem einfachen Zugriff auf zeitkritische Prozess- und Kalibrierungsinformationen sowie integrierte Diagnosefunktionen.

Der T2BA nutzt einen direkt angetriebenen Hochgeschwindigkeits-Schrittmotor. Der Ventiltreiber ermöglicht eine hochauflösende Druckregelung. Der optionale Direktantriebsmotor mit hohem Drehmoment sorgt für eine längere Betriebszeit und verlängert die vorbeugenden Wartungszyklen – ein großer Vorteil bei anspruchsvollen Prozessen, bei denen nur eine Stunde Ausfallzeit Tausende von Dollar kosten kann. Das T2BA ist auch in Getriebeversionen erhältlich, die ein maximales Drehmoment bieten und einen Langzeitbetrieb in rauen Umgebungen ermöglichen. Die T2BA-Ventile sind optional mit verfügbaren MKS-Außenheizungen auf bis zu 200 °C beheizbar (die richtige Auswahl der Dichtungsmaterialien ist erforderlich).

Der T2BA ist in den einzigartigen MKS-Versionen mit niedrigem Leitwert erhältlich und ermöglicht eine Hochgeschwindigkeits-Druckregelung in atmosphärischen Anwendungen, einschließlich Abgasdruckregelung, CVD und RTP, ohne dass zur Minimierung des Ventilleitwerts auf O-Ring-basierte Konstruktionen zurückgegriffen werden muss. Zu Diagnosezwecken steht ein geberbasiertes Positionsrückmeldesystem zur Verfügung. Das Ventil besteht aus korrosionsbeständigem Edelstahl 316, der mit den meisten Prozessgasen kompatibel ist, und ist in standardmäßigen ISO-Flanschausführungen mit Bohrungsgrößen von 1 Zoll bis 4 Zoll erhältlich (alternative Größen sind auf kundenspezifischer Basis erhältlich). Die angebotenen Standarddichtungen bestehen aus Viton®, alternative Materialien können für die Kompatibilität mit verschiedenen Prozesschemikalien und/oder beheizten Anwendungen spezifiziert werden.