MKS HPS 317 Konvektionsverstärkter Pirani-Vakuumsensor Conflat CF 1,33 Zoll. PN: 103170013SH

Der konvektionsverstärkte Pirani-Sensor MKS HPS® 317 bietet eine zuverlässige und stabile Druckmessung zu sehr geringen Kosten und ist mit dem konvektionsverstärkten Pirani-Messgerät-Controller MKS 947 kompatibel. Da die einzigen dem Vakuum ausgesetzten Materialien Edelstahl, Nickel, Glas und Platin sind, ist der Sensor mit einer Vielzahl von Prozessgasen kompatibel und besonders für UHV-Anwendungen geeignet. Der Platinfaden eliminiert effektiv jegliche Messwertabweichung im gesamten höheren Messbereich eines Konvektionssensors. Der 317-Sensor ist genauer als ein Thermoelementsensor, misst über einen größeren Druckbereich und reagiert schneller auf Prozessdruckänderungen. Die obere Messgrenze eines konvektionsverstärkten Pirani-Sensors ist gegenüber einem herkömmlichen Pirani-Sensor von 0,001 auf 1.000 Torr erhöht. Dieser höhere Grenzwert ist nützlich, wenn das Abpumpen eines Vakuumsystems von der Atmosphäre auf einen Basisdruck überwacht wird. Der Sensor gleicht Schwankungen der Raumtemperatur im Bereich von 10° bis 50°C aus.

Wie alle Wärmeleitfähigkeitssensoren ist der 317-Sensor von Natur aus gasempfindlich. Diese Funktion macht es zu einer einfachen Lösung zum Auffinden mittlerer bis feiner Lecks in Vakuumsystemen. Es ergänzt einen Massenspektrometer-Lecksucher, der bei der Suche nach kleineren Lecks effizienter ist. Der gegen HF-Rauschen abgeschirmte Sensor erfüllt die CE-Kennzeichnungsanforderungen und kann auf 100 °C erhitzt werden. Dieser 317-Sensor umfasst Standard-Vakuumanschlüsse wie diesen CF 1,33-Zoll-Mini-CF-Flanschanschluss. Das Kabel für diesen Sensor ist nicht im Lieferumfang enthalten, aber in Standardlängen von 10 Fuß erhältlich. Der Sensor 317 kann mit dem Konvektions-Pirani-Vakuummeter-Controller der Serie 947 verwendet werden, der ebenfalls auf dieser Website erhältlich ist. Eine vollständige Spezifikationsbroschüre und ein Betriebshandbuch stehen unten im PDF-Format zum Download bereit.