MKS-Steuerkarten-Massendurchflussregler der Serie 946 und Dual-Massendurchflussregler.
MKS-Teilenummer: 20000712. Der MKS-Steuerkarten-Massendurchflussregler ist mit dem 946 und den Dual-Massendurchflussreglern kompatibel.
Diese Karten werden auf Controllern verwendet, die für die Steuerung und Anzeige beliebiger Durchflusswandler konzipiert sind. Der Durchflusssollwert kann entweder über die Bedienelemente an der Vorderseite oder aus der Ferne über die analoge Schnittstelle an der Rückseite angepasst werden. Die 946 Vakuumsystem-Controller können gleichzeitig bis zu 6 Sensoren und Messgeräte auslesen und steuern.