MKS 627H 0,02 Torr, beheizt auf 45 °C, absolutes Baratron-Kapazitätsmanometer, Vakuumanschluss VCR 8 weiblich, Genauigkeit 0,25 % des Messwerts, vertikale Kalibrierung, PN: 627HU2TBE1B

Das Baratron®-Kapazitätsmanometer 627H wird auf 45 °C erhitzt, hat eine Genauigkeit von 0,12 % des Messwerts und verfügt über eine aktualisierte Temperaturkontrollelektronik, um eine hervorragende Langzeitstabilität und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Dieses Kapazitätsmanometer ist in Vollbereichsbereichen bis hinunter zu 20 mTorr (0,03 mbar) erhältlich, um den heutigen niedrigeren Prozessdrücken gerecht zu werden. Basierend auf der etablierten Baratron-Kapazitätsmanometer-Technologie bestehen die benetzten Oberflächen des Sensors aus Inconel® für eine hervorragende Beständigkeit gegenüber korrosiven Gasen. Das moderne Edelstahlpaket sorgt für ein reinraumtaugliches Produkt. Das Produkt ist mit früheren Baratron-Kapazitätsmanometern 627A, 627B, 627D und 627F austauschbar und kann mit MKS-Netzteilen, Anzeigeeinheiten und Druckreglern oder anderen kompatiblen Stromversorgungs-/Auslesegeräten verwendet werden.

Diese Auflistung gilt für ein MKS-Kapazitätsmanometer vom Typ 627H, das auf 45 °C erhitzt wird, über einen 15-poligen D-Subminiatur-Signalanschluss mit Gewindesicherung, einen maximalen Vakuumdruckmesswert von 0,02 Torr und einen VCR 8-Vakuumflanschanschluss mit Innengewinde verfügt , eine Genauigkeit von 0,25 % des Messwerts, mit vertikaler Kalibrierung und haben die MKS-Teilenummer 627HU2TBE1B.

Kompatible Controller und Kabel:

• P102063 – Ideales Vakuumkabel für MKS PDR 2000 Netzteil und digitales Anzeigekabel, 15-poliges Y-Kabel, entspricht CB2000S-1-M1
• P102062 – MKS PDR 2000 Digitales Netzteil und Kapazitätsmanometer-Controller mit digitaler Anzeige
• P1010127 – Ideal Vacuum Dual-Kapazitäts-Manometer-Controller (DCM), Netzteil und digitale Druckanzeige

Produktmerkmale:

• Hervorragende Langzeitstabilität
• Prozent der Lesegenauigkeit für ein präziseres Ausgangssignal in niedrigeren Druckbereichen
• Der volle Skalenbereich reicht bis 20 mTorr (0,03 mbar) für die präzise Messung von Niederdruckprozessen
• Korrosionsbeständige, benetzte Oberflächen komplett aus Inconel
• Schnellere Aufwärmzeit
• Visueller und elektrischer Status des Temperatur- und Heizungssteuerkreises
• Kompatibel mit früheren Baratron-Kapazitätsmanometern, MKS-Stromversorgungs-/Auslesemodulen und Druckreglern
• Misst den Gesamtdruck direkt, unabhängig von der Gaszusammensetzung
• Hoher Überdruck für verbesserte Zuverlässigkeit
• Reinraumtaugliches Edelstahlpaket