适用于高压操作的理想真空 AnalyzaVAC 残余气体分析仪 (RGA) 套件、1-300 AMU、电子倍增器和法拉第杯检测器、手动可变泄漏阀、安捷伦 TPS 迷你涡轮泵站、AutoZ +基本软件。 Ideal Vacuum AnalyzaVAC RGA 是一款紧凑型质谱仪，可帮助确定真空室内残留气体的特性和浓度。它可用于涂层和蚀刻应用中的泄漏检测、除气分析、原料气质量控制、工艺故障排除等。
RGA 直接连接到腔室，设计用于在低于 1×10
-6 Torr 的总压力下连续运行，最佳压力约为 2×10
-7 Torr。 RGA 在较高压力下运行会导致电离器、灯丝和四极杆的使用寿命显着缩短。 AnalyzaVAC 的内置压力表在内部和随附的 AutoZ
+软件中使用，以防止对 RGA 造成致命损坏（在大多数情况下）。
为了在中等真空至大气压的腔室中测量气体，RGA 必须放置在一个单独的小腔室中，并具有自己的高真空抽气系统。然后，RGA 真空系统通过泄漏阀连接到腔室，这使得 RGA 能够对主腔室中的气体进行采样，同时仍保持精密四极探头周围的高真空。
该套件包含使用 RGA 测量高压气体所需的一切。
组件和特点：- 理想的真空 AnalyzaVAC RGA。
- 1-300 AMU 扫描范围。
- 电子倍增器信号放大器。
- 法拉第杯探测器。
- 内置皮拉尼压力计可防止 RGA 在高压下打开。
- 内置热阴极离子计，用于快速高真空压力测量。
- Agilent Varian TPS-Mini TwisTorr 74 FS 涡轮分子泵站，具有一键高真空操作功能。
- 手动安捷伦可变泄漏阀可实现从 1000 Torr 到高真空的 RGA 室采样。
- 带有全金属密封件的焊接歧管，可最大限度地减少其他气源的测量污染。
- 理想真空AutoZ +基础版软件。
安捷伦瓦里安 TPS-mini 泵站与手动安捷伦可变泄漏阀相结合，可以在至少 9 个数量级的压力范围内对腔室进行准确的气体采样。然而，单个隔离阀的裂纹点并不适合该范围内的所有压力。为了获得最佳效果，每当腔室压力发生变化时，都应手动重置阀门。如果与当前工作压力相比，腔室压力将上升超过 1 个数量级（即腔室排气期间），则应首先关闭泄漏阀，以防止损坏 RGA 和泵送系统。腔室达到稳定压力后，应关闭 RGA 电离器，并重新打开阀门，直到 RGA 子系统内达到所需压力。然后可以重新打开 RGA 离子发生器并恢复测量。
为了在压力循环过程中将泄漏阀保持在某个破裂点，可以使用额外的
手动波纹管阀将 RGA 与腔室隔离。关于理想真空 AnalyzaVac RGA： AnalyzaVAC 的工作原理是使用双现场可更换钍铱丝以热电子方式发射的电子，电离探针尖端处的气体。使用变化的射频和施加到四极过滤器的直流电压的组合，根据质荷比分离产生的阳离子。带正电的离子沿着四极杆的中心传播，并由电子倍增器放大或由探针末端的法拉第杯检测器直接检测到。每种气体都会产生独特的光谱指纹，该指纹是其元素的天然同位素丰度和 RGA 高能电子电离引起的分子碎片的组合。
所有 AnalyzaVAC 探头均配有法拉第杯检测器，可提供低至 1.5×10
-12 Torr
*的可重复、定量、高度线性检测。可选的电子倍增器将定性测量的灵敏度提高到惊人的 6×10
-15 Torr
* 。正确校准后，标准检测器和配备电子倍增器的检测器在 10% 峰高（或更好）时都具有 0.5 AMU 分辨率。
Ideal Vacuum 的永不过期的基本 AutoZ
+软件是 Windows 10 应用程序，可以从台式机或笔记本电脑控制任何 AnalyzaVAC RGA 系统。 AutoZ
+使操作员能够控制所有采集参数。 AutoZ
+提供实时数据流，并允许用户以模拟频谱、质量直方图和随时间变化的趋势的形式查看收集的数据。为了消除不需要的峰值和光谱贡献，用户可以使用之前收集的光谱作为基线数据。
Ideal Vacuum 的可选高级 AutoZ
+软件升级包括基本软件的所有功能，并添加了高级数据记录、平均、光谱拟合，可访问 Ideal Vacuum 的物质库，以及向库添加其他化合物的能力。 Premium AutoZ
+使用强大的最小二乘算法来计算常见残留气体的分压，识别它们对当前显示光谱的贡献，并隔离未知峰值。高级软件必须每年更新，否则将恢复为基本版本。
一些 RGA 应用：- 泄漏测试
- 过程监控
- 抽气和烘烤监控
- 真空诊断
- 原料气质量控制
- 气体和污染物识别
下单前请仔细阅读：
*
AnalyzaVAC 探头是一种精密仪器。探头使用不当、处理不当或长时间在高压下操作可能会污染和损坏探头。因此，进行探查。从原包装中取出后不提供保修。
Agilent TPS Mini Turbo 享有完整的制造商保修。任何其他组件的保修均针对产品缺陷。对于大多数气体，RGA 的最佳总工作压力为 2×10 -7 Torr。只要使用可变泄漏阀和涡轮泵系统降低 RGA 系统内部的外部压力，外部压力可能会高得多。在较高的 RGA 系统压力下长时间运行将导致探头过早老化、增益损失、光谱漂移以及填充物和电离器烧坏。 RGA 可在以下压力区域使用相应的时间长度：
10 -4托，几个小时
10 -5托，几天
10 -6托，几个月
10 -7托，数年
10 -8托，无限期
有机蒸气的压力应比大气气体低 2 倍，以防止填充物和电离器受到烟灰污染。有机硅蒸气的压力应保持在比大气低至少 10 倍的压力下，以防止玻璃在填充物和电离器上堆积。腐蚀性蒸气对 RGA 的损害也比普通气体更大。通过正确管理压力，RGA 可用于测量这些气体，而无需进行昂贵的维修。 *
使用氮气、5 秒停留时间、1 amu 全峰宽度、10% 高度、70 eV 电子能量、6 eV 离子能量和 2 mA 电子发射进行测量，并计算与基线噪声的三个标准偏差。
