MKS 946 半机架真空计控制器电源和读数、NO 卡、RS232 和 RS485、6 通道。 MKS 零件号：946-US-NANANA-NA。 MKS 946 是一款多功能半机架真空计测量和控制系统，它为多达六个不同的真空计和/或质量流量控制器提供电源和同步读数，并提供压力控制选项。这是一个没有卡的原始单位。电源/读数器设计用于控制和显示任何流量传感器。流量设定点可以通过前面板控制装置或通过后面板模拟接口远程调节。 946 真空系统控制器是一个六通道/顺序可选的单读数器。与质量流量控制器和质量流量读数器兼容。本网站提供 MKS 946 的信号电缆和可选卡。

MKS 控制卡质量流量控制器 946 系列和双质量流量控制器。 MKS 零件号：20000712。MKS 控制卡质量流量控制器与 946 和双质量流量控制器兼容。这些卡用于设计用于控制和显示任何流量传感器的控制器。流量设定点可以通过前面板控制装置或通过后面板模拟接口远程调节。 946 真空系统控制器可同时读取和控制多达 6 个传感器和仪表。

MKS GM50A 质量流量控制器 (MFC) 数字控制，范围 0.4 至 20 sccm，15 针 D 型超小型，4 VCR 公头。 MKS 零件号：GM50A013201RMM020。 MKS GM50A 质量流量控制器能够配置为控制 N2 或同等气体，满量程流量范围为 20 sccm，控制范围为 0.4 至 20 sccm。它具有一个带接地的 15 针 D 型超小型模拟连接器、一个 0-5 VDC 流量输入/输出信号以及一个 Swagelok® 4 VCR® 公输入和输出接头。典型的响应时间约为 500 毫秒。数字校准可提供 1% 的校准气体设定点精度。多范围功能可以通过基于网络浏览器的应用程序进行配置，通过以太网电缆将 MFC 插入路由器或计算机即可访问该应用程序。电子诊断应用程序允许用户实时监控 MFC 的性能以及绘制数据和选择变量。世伟洛克，VCR-TM 世伟洛克公司

MKS GM50A 质量流量控制器 (MFC) 数字控制，范围为 1 至 50 sccm，15 针连接器，4 个 VCR 公头。部件编号：GM50A013501RMM020。 MKS 零件号：GM50A013501RMM020。 MKS GM50A 质量流量控制器能够配置为控制各种安全输送源气体 (SDS)。输入和输出接头为 Swagelok® 4 VCR® 外螺纹。它具有 50 sccm 的满量程流量范围和 1 至 50 sccm 的控制范围、带接地的 15 针 D 型超小型连接器以及 0-5 VDC 流量输入/输出信号。典型的响应时间约为 500 毫秒。数字校准可提供 1% 的校准气体设定点精度。多范围功能可以通过基于网络浏览器的应用程序进行配置，通过以太网电缆将 MFC 插入路由器或计算机即可访问该应用程序。电子诊断应用程序允许用户实时监控 MFC 的性能以及绘制数据和选择变量。世伟洛克，VCR-TM 世伟洛克公司

MKS GM50A 质量流量控制器 (MFC) 数字控制，范围 2 至 100 sccm，15 针 D 型超小型，4 VCR 公头。部件编号：GM50A013102RMM020。 MKS 零件号：GM50A013102RMM020。 MKS GM50A 质量流量控制器能够配置为控制各种安全输送源气体 (SDS)。输入和输出接头为 Swagelok® 4 VCR® 外螺纹。它具有 100 sccm 的满量程流量范围和 2 至 100 sccm 的控制范围、带接地的 15 针 D 型超小型连接器以及 0-5 VDC 流量输入/输出信号。典型的响应时间约为 500 毫秒。数字校准可提供 1% 的校准气体设定点精度。多范围功能可以通过基于网络浏览器的应用程序进行配置，通过以太网电缆将 MFC 插入路由器或计算机即可访问该应用程序。电子诊断应用程序允许用户实时监控 MFC 的性能以及绘制数据和选择变量。世伟洛克，VCR-TM 世伟洛克公司

MKS GM50A 质量流量控制器 (MFC) 数字控制，范围为 4 至 200 sccm，15 针 D 型超小型。 MKS 零件号：GM50A013202RMM020。 MKS GM50A 质量流量控制器能够配置为控制各种安全输送源气体 (SDS)。输入和输出接头为 Swagelok® 4 VCR® 外螺纹。它具有 200 sccm 的满量程流量范围和 4 至 200 sccm 的控制范围、带接地的 15 针 D 型超小型连接器以及 0-5 VDC 流量输入/输出信号。典型的响应时间约为 500 毫秒。数字校准可提供 1% 的校准气体设定点精度。多范围功能可以通过基于网络浏览器的应用程序进行配置，通过以太网电缆将 MFC 插入路由器或计算机即可访问该应用程序。电子诊断应用程序允许用户实时监控 MFC 的性能以及绘制数据和选择变量。世伟洛克，VCR-TM 世伟洛克公司

MKS GM50A 质量流量控制器 (MFC) 数字控制，范围 10 至 500 sccm，15 针 D 型超小型，4 VCR 公头。 MKS 零件号：GM50A013502RMM020。 MKS GM50A 质量流量控制器能够配置为控制各种安全输送源气体 (SDS)。输入和输出接头为 Swagelok® 4 VCR®。它具有 500 sccm 的满量程流量范围和 10 至 500 sccm 的控制范围、带接地的 15 针 D 型超小型连接器以及 0-5 VDC 流量输入/输出信号。数字校准可提供 1% 的校准气体设定点精度。典型的响应时间约为 500 毫秒。多范围功能可以通过基于网络浏览器的应用程序进行配置，通过以太网电缆将 MFC 插入路由器或计算机即可访问该应用程序。电子诊断应用程序允许用户实时监控 MFC 的性能以及绘制数据和选择变量。世伟洛克，VCR-TM 世伟洛克公司

MKS GM50A 质量流量控制器 (MFC) 数字控制，范围 20 至 1000 sccm，15 针 D 型超小型连接器，4 个 VCR 公头。 MKS 零件号：GM50A013103RMM020。 MKS GM50A 质量流量控制器能够配置为控制各种安全输送源气体 (SDS)。输入和输出接头为 Swagelok® 4 VCR® 外螺纹。它具有 1000 sccm 的满量程流量范围和 20 至 1000 sccm 的控制范围、带接地的 15 针 D 型超小型连接器以及 0-5 VDC 流量输入/输出信号。典型的响应时间约为 500 毫秒。数字校准可提供 1% 的校准气体设定点精度。多范围功能可以通过基于网络浏览器的应用程序进行配置，通过以太网电缆将 MFC 插入路由器或计算机即可访问该应用程序。电子诊断应用程序允许用户实时监控 MFC 的性能以及绘制数据和选择变量。世伟洛克，VCR-TM 世伟洛克公司

MKS 真空计电缆将 946 控制器连接到 179、1179、1462、1479、1559、2179、GE50A、GM50A、IE50A、IM50A、IM250A、P250A，长 10 英尺 (3m)。 MKS 零件号：100016744。MKS 质量流量控制器电缆可将 179、1179、1462、1479、1559、2179、GE50A、GM50A、IE50A、IM50A、IM250A、P250A 质量流量控制器连接到 946 个具有 15 针 D 型高连接器的控制器。密度超小型至 15 针标准超小型连接器。这仅是电缆。 MKS 946 是一款多功能半机架真空计测量和控制系统，它为多达六个不同的真空计和/或质量流量控制器提供电源和同步读数，并提供压力控制选项。电源/读数器设计用于控制和显示任何流量传感器。流量设定点可以通过前面板控制装置或通过后面板模拟接口远程调节。 946 真空系统控制器是一个六通道/顺序可选的单读数器。与质量流量控制器和质量流量读数器兼容。本网站提供 MKS 946 的信号电缆。

MKS 真空计电缆将 946 控制器连接到 179、1179、1462、1479、1559、2179、GE50A、GM50A、IE50A、IM50A、IM250A、P250A，长 25 英尺 (7.5m)。 MKS 零件号：100016745。MKS 质量流量控制器电缆将 179、1179、1462、1479、1559、2179、GE50A、GM50A、IE50A、IM50A、IM250A、P250A 质量流量控制器连接到 946 个具有 15 针 D 型高位的控制器。高密度超小型至 15 针标准超小型连接器。这仅是电缆。 MKS 946 是一款多功能半机架真空计测量和控制系统，它为多达六个不同的真空计和/或质量流量控制器提供电源和同步读数，并提供压力控制选项。电源/读数器设计用于控制和显示任何流量传感器。流量设定点可以通过前面板控制装置或通过后面板模拟接口远程调节。 946 真空系统控制器是一个六通道/顺序可选的单读数器。与质量流量控制器和质量流量读数器兼容。本网站提供 MKS 946 的信号电缆。

MKS 真空传感器卡电容压力计和压电陶瓷，适用于 937B 和 946 系列控制器。 MKS 零件号：100015267。MKS 真空传感器卡支持电容压力计和压电传感器以及 937B 和 946 真空系统控制器。这些卡用于设计用于控制和显示任何流量传感器的控制器。流量设定点可以通过前面板控制装置或通过后面板模拟接口远程调节。 946 和 937B 真空系统控制器可同时读取和控制多达 6 个传感器和仪表。

MKS 626D 0.1 Torr Baratron 绝对电容压力计、真空压力计传感器、真空接头 KF-16、PN 626D.1TDE MKS 626D 未加热绝对 Baratron® 电容压力计是最新的模拟、基于电容的高性能真空和压力传感器。它们需要 ±15 VDC 输入电压，并提供与压力呈线性关系的高电平 0-10 VDC 模拟输出信号。该模拟输出可与 MKS PDR2000 压力控制器、MKS 电源/显示仪表或任何满足这些要求的仪表连接。通过测量传感器隔膜和相邻电极盘之间的电容变化来确定压力/真空的变化。这种电容变化通过获得专利的信号调节电子电路转换为可用的输出。传感器中的径向张紧 Inconel® 隔膜提供非常快的响应（许多情况下 <20 毫秒）、低滞后、出色的重复性、非常高分辨率（达到满量程的 0.001%）、极高的耐腐蚀性和双壁焊接结构，确保操作员安全。传感器本身可以承受反复暴露于 45 psia (3.1 bar) 的压力，而不会永久退化或移位，从而使其几乎可以在任何过程系统中运行。 MKS 626D Baratron 电容压力计在环境条件下运行。它们的全量程压力/真空范围为 0.1 至 1000 Torr，适用于许多工业、电子和研究应用。这些清单适用于 MKS 626D 型电容压力计，该压力计具有 15 针 D 型超小型信号连接器、0.1 Torr 满量程最大真空压力读数值、KF-16 真空法兰连接，并且 MKS 零件号为 626D.1TDE。兼容的控制器和电缆： P102063 - 适用于 MKS PDR 2000 电源和数字读数电缆的理想真空电缆 15 针 Y 型电缆，相当于 CB2000S-1-M1 P102062 - MKS PDR 2000 数字电源和数字读数电容压力计控制器 P1010127 - 理想真空双电容压力计控制器 (DCM)、电源和数字压力读数 产品特性： 0 至 10 VDC 比例模拟输出，带 15 针 D-sub 连接器 直接测量腔室总压力，与气体类型或成分无关 长期输出稳定性实现最先进的工艺可重复性 Inconel® 和 Incoloy® 镍合金结构的基本传感器在几乎任何化学环境中都不会损坏 高超压限制可确保系统事故期间的可靠性 以读数百分比指定，以获得最佳精度并提高工艺产量

MKS 626D 0.1 Torr Baratron 绝对电容压力计，真空压力计传感器，UHV 真空接头 Conflat CF 1.33 英寸法兰，626D.1TCEMKS 626D 未加热绝对 Baratron® 电容压力计是最新的模拟、基于电容的高性能真空和压力传感器。它们需要 ±15 VDC 输入电压，并提供与压力呈线性关系的高电平 0-10 VDC 模拟输出信号。该模拟输出可与 MKS PDR2000 压力控制器、MKS 电源/显示仪表或任何满足这些要求的仪表连接。通过测量传感器隔膜和相邻电极盘之间的电容变化来确定压力/真空的变化。这种电容变化通过获得专利的信号调节电子电路转换为可用的输出。传感器中的径向张紧 Inconel® 隔膜提供非常快的响应（许多情况下 <20 毫秒）、低滞后、出色的重复性、非常高分辨率（达到满量程的 0.001%）、极高的耐腐蚀性和双壁焊接结构，确保操作员安全。传感器本身可以承受反复暴露于 45 psia (3.1 bar) 的压力，而不会永久退化或移位，从而使其几乎可以在任何过程系统中运行。 MKS 626D Baratron 电容压力计在环境条件下运行。它们的全量程压力/真空范围为 0.1 至 1000 Torr，适用于许多工业、电子和研究应用。这些列表适用于 MKS 626D 型电容压力计，该压力计具有 15 针 D 型超小型信号连接器、0.1 Torr 满量程最大真空压力读数值、Conflat CF 1.33 英寸超高真空 UHV 法兰连接，并具有 MKS 零件号626D.1TCE。兼容的控制器和电缆： P102063 - 适用于 MKS PDR 2000 电源和数字读数电缆的理想真空电缆 15 针 Y 型电缆，相当于 CB2000S-1-M1 P102062 - MKS PDR 2000 数字电源和数字读数电容压力计控制器 P1010127 - 理想真空双电容压力计控制器 (DCM)、电源和数字压力读数 产品特性： 0 至 10 VDC 比例模拟输出，带 15 针 D-sub 连接器 直接测量腔室总压力，与气体类型或成分无关 长期输出稳定性实现最先进的工艺可重复性 Inconel® 和 Incoloy® 镍合金结构的基本传感器在几乎任何化学环境中都不会损坏 高超压限制可确保系统事故期间的可靠性 以读数百分比指定，以获得最佳精度并提高工艺产量

MKS 626D 1 Torr Baratron 绝对电容压力计、真空压力计传感器、真空接头 KF-16、PN 626D01TDE MKS 626D 未加热绝对 Baratron® 电容压力计是最新的模拟、基于电容的高性能真空和压力传感器。它们需要 ±15 VDC 输入电压，并提供与压力呈线性关系的高电平 0-10 VDC 模拟输出信号。该模拟输出可与 MKS PDR2000 压力控制器、MKS 电源/显示仪表或任何满足这些要求的仪表连接。通过测量传感器隔膜和相邻电极盘之间的电容变化来确定压力/真空的变化。这种电容变化通过获得专利的信号调节电子电路转换为可用的输出。传感器中的径向张紧 Inconel® 隔膜提供非常快的响应（许多情况下 <20 毫秒）、低滞后、出色的重复性、非常高分辨率（达到满量程的 0.001%）、极高的耐腐蚀性和双壁焊接结构，确保操作员安全。传感器本身可以承受反复暴露于 45 psia (3.1 bar) 的压力，而不会永久退化或移位，从而使其几乎可以在任何过程系统中运行。 MKS 626D Baratron 电容压力计在环境条件下运行。它们的全量程压力/真空范围为 0.1 至 1000 Torr，适用于许多工业、电子和研究应用。这些列表适用于 MKS 626D 型电容压力计，该压力计具有 15 针 D 型超小型信号连接器、1 Torr 满量程最大真空压力读数值、KF-16 真空法兰连接，并且 MKS 零件号为 626D01TDE。兼容的控制器和电缆： P102063 - 适用于 MKS PDR 2000 电源和数字读数电缆的理想真空电缆 15 针 Y 型电缆，相当于 CB2000S-1-M1 P102062 - MKS PDR 2000 数字电源和数字读数电容压力计控制器 P1010127 - 理想真空双电容压力计控制器 (DCM)、电源和数字压力读数 产品特性： 0 至 10 VDC 比例模拟输出，带 15 针 D-sub 连接器 直接测量腔室总压力，与气体类型或成分无关 长期输出稳定性实现最先进的工艺可重复性 Inconel® 和 Incoloy® 镍合金结构的基本传感器在几乎任何化学环境中都不会损坏 高超压限制可确保系统事故期间的可靠性 以读数百分比指定，以获得最佳精度并提高工艺产量

MKS 626D 10 Torr Baratron 绝对电容压力计、真空压力表传感器、真空接头 KF-16、PN 626D11TDE MKS 626D 未加热绝对 Baratron® 电容压力计是最新的模拟、基于电容的高性能真空和压力传感器。它们需要 ±15 VDC 输入电压，并提供与压力呈线性关系的高电平 0-10 VDC 模拟输出信号。该模拟输出可与 MKS PDR2000 压力控制器、MKS 电源/显示仪表或任何满足这些要求的仪表连接。通过测量传感器隔膜和相邻电极盘之间的电容变化来确定压力/真空的变化。这种电容变化通过获得专利的信号调节电子电路转换为可用的输出。传焊接结构，确保操作员安全。传感器本身可以承受反复暴露于 45 psia (3.1 bar) 的压力，而不会永久退化或移位，从而使其几乎可以在任何过程系统中运行。 MKS 626D Baratron 电容压力计在环境条件下运行。它们的全量程压力/真空范围为 0.1 至 1000 Torr，适用于许多工业、电子和研究应用。这些清单适用于 MKS 626D 型电容压力计，该压力计具有 15 针 D 型超小型信号连接器、10 Torr 满量程最大真空压力读数值、KF-16 真空法兰连接，并且 MKS 零件号为 626D11TDE。兼容的控制器和电缆： P102063 - 适用于 MKS PDR 2000 电源和数字读数电缆的理想真空电缆 15 针 Y 型电缆，相当于 CB2000S-1-M1 P102062 - MKS PDR 2000 数字电源和数字读数电容压力计控制器 P1010127 - 理想真空双电容压力计控制器 (DCM)、电源和数字压力读数 产品特性： 0 至 10 VDC 比例模拟输出，带 15 针 D-sub 连接器 直接测量腔室总压力，与气体类型或成分无关 长期输出稳定性实现最先进的工艺可重复性 Inconel® 和 Incoloy® 镍合金结构的基本传感器在几乎任何化学环境中都不会损坏 高超压限制确保系统事故期间的可靠性 以读数百分比指定，以获得最佳精度并提高工艺产量

MKS 626D 10 Torr Baratron 绝对电容压力计，真空压力计传感器，真空接头 VCR 8 母头，PN 626D11TBE MKS 626D 未加热绝对 Baratron® 电容压力计是最新的模拟、基于电容的高性能真空和压力传感器。它们需要 ±15 VDC 输入电压，并提供与压力呈线性关系的高电平 0-10 VDC 模拟输出信号。该模拟输出可与 MKS PDR2000 压力控制器、MKS 电源/显示仪表或任何满足这些要求的仪表连接。通过测量传感器隔膜和相邻电极盘之间的电容变化来确定压力/真空的变化。这种电容变化通过获得专利的信号调节电子电路转换为可用的输出。传感器中的径向张紧 Inconel® 隔膜提供非常快的响应（许多情况下 <20 毫秒）、低滞后、出色的重复性、非常高分辨率（达到满量程的 0.001%）、极高的耐腐蚀性和双壁焊接结构，确保操作员安全。传感器本身可以承受反复暴露于 45 psia (3.1 bar) 的压力，而不会永久退化或移位，从而使其几乎可以在任何过程系统中运行。 MKS 626D Baratron 电容压力计在环境条件下运行。它们的全量程压力/真空范围为 0.1 至 1000 Torr，适用于许多工业、电子和研究应用。这些清单适用于 MKS 626D 型电容压力计，该压力计具有 15 针 D 型超小型信号连接器、10 Torr 满量程最大真空压力读数值、VCR 8 内螺纹真空法兰连接，并且 MKS 零件号为 626D11TBE。兼容的控制器和电缆： P102063 - 适用于 MKS PDR 2000 电源和数字读数电缆的理想真空电缆 15 针 Y 型电缆，相当于 CB2000S-1-M1 P102062 - MKS PDR 2000 数字电源和数字读数电容压力计控制器 P1010127 - 理想真空双电容压力计控制器 (DCM)、电源和数字压力读数 产品特性： 0 至 10 VDC 比例模拟输出，带 15 针 D-sub 连接器 直接测量腔室总压力，与气体类型或成分无关 长期输出稳定性实现最先进的工艺可重复性 Inconel® 和 Incoloy® 镍合金结构的基本传感器在几乎任何化学环境中都不会损坏 高超压限制可确保系统事故期间的可靠性 以读数百分比指定，以获得最佳精度并提高工艺产量

MKS 626D 20 Torr Baratron 绝对电容压力计，真空压力表传感器，真空接头 VCR 8 母头，PN：626D21TBE MKS 626D 未加热绝对 Baratron® 电容压力计是最新的模拟、基于电容的高性能真空和压力传感器。它们需要 ±15 VDC 输入电压，并提供与压力呈线性关系的高电平 0-10 VDC 模拟输出信号。该模拟输出可与 MKS PDR2000 压力控制器、MKS 电源/显示仪表或任何满足这些要求的仪表连接。通过测量传感器隔膜和相邻电极盘之间的电容变化来确定压力/真空的变化。这种电容变化通过获得专利的信号调节电子电路转换为可用的输出。传焊接结构，确保操作员安全。传感器本身可以承受反复暴露于 45 psia (3.1 bar) 的压力，而不会永久退化或移位，从而使其几乎可以在任何过程系统中运行。 MKS 626D Baratron 电容压力计在环境条件下运行。它们的全量程压力/真空范围为 0.1 至 1000 Torr，适用于许多工业、电子和研究应用。这些列表适用于 MKS 626D 型电容压力计，该压力计具有 15 针 D 型超小型信号连接器、20 Torr 满量程最大真空压力读数值、VCR 8 内螺纹真空法兰连接，并且 MKS 零件号为 626D21TBE。兼容的控制器和电缆： P102063 - 适用于 MKS PDR 2000 电源和数字读数电缆的理想真空电缆 15 针 Y 型电缆，相当于 CB2000S-1-M1 P102062 - MKS PDR 2000 数字电源和数字读数电容压力计控制器 P1010127 - 理想真空双电容压力计控制器 (DCM)、电源和数字压力读数 产品特性： 0 至 10 VDC 比例模拟输出，带 15 针 D-sub 连接器 直接测量腔室总压力，与气体类型或成分无关 长期输出稳定性实现最先进的工艺可重复性 Inconel® 和 Incoloy® 镍合金结构的基本传感器在几乎任何化学环境中都不会损坏 高超压限制确保系统事故期间的可靠性 以读数百分比指定，以获得最佳精度并提高工艺产量

MKS 626D 100 Torr Baratron 绝对电容压力计、真空压力表传感器、真空接头 KF-16。 MKS 零件号：626D12TDE。 MKS 626D 不加热绝对 Baratron® 电容压力计是最新的基于电容的模拟高性能真空和压力传感器。它们需要 ±15 VDC 输入电压，并提供与压力呈线性关系的高电平 0-10 VDC 模拟输出信号。该模拟输出可与 MKS PDR2000 压力控制器、MKS 电源/显示仪表或任何满足这些要求的仪表连接。通过测量传感器隔膜和相邻电极盘之间的电容变化来确定压力/真空的变化。这种电容变化通过获得专利的信号调节电子电路转换为可用的输出。传感器中的径向张紧 Inconel® 隔膜提供非常快的响应（许多情况下 <20 毫秒）、低滞后、出色的重复性、非常高分辨率（达到满量程的 0.001%）、极高的耐腐蚀性和双壁焊接结构，确保操作员安全。传感器本身可以承受反复暴露于 45 psia (3.1 bar) 的压力，而不会永久退化或移位，从而使其几乎可以在任何过程系统中运行。 MKS 626D Baratron 电容压力计在环境条件下运行。它们的全量程压力/真空范围为 0.1 至 1000 Torr，适用于许多工业、电子和研究应用。这些清单适用于 MKS 626D 型电容压力计，该压力计具有 15 针 D 型超小型信号连接器、100 Torr 满量程最大真空压力读数值、KF-16 真空法兰连接，并且 MKS 零件号为 626D12TDE。兼容的控制器和电缆： P102063 - 适用于 MKS PDR 2000 电源和数字读数电缆的理想真空电缆 15 针 Y 型电缆，相当于 CB2000S-1-M1 P102062 - MKS PDR 2000 数字电源和数字读数电容压力计控制器 P1010127 - 理想真空双电容压力计控制器 (DCM)、电源和数字压力读数 产品特性： 0 至 10 VDC 比例模拟输出，带 15 针 D-sub 连接器 直接测量腔室总压力，与气体类型或成分无关 长期输出稳定性实现最先进的工艺可重复性 Inconel® 和 Incoloy® 镍合金结构的基本传感器在几乎任何化学环境中都不会损坏 高超压限制可确保系统事故期间的可靠性 以读数百分比指定，以获得最佳精度并提高工艺产量

MKS 626D 100 Torr Baratron 绝对电容压力计，真空压力表传感器，真空接头 VCR 8 母头，PN 626D12TBE MKS 626D 未加热绝对 Baratron® 电容压力计是最新的模拟、基于电容的高性能真空和压力传感器。它们需要 ±15 VDC 输入电压，并提供与压力呈线性关系的高电平 0-10 VDC 模拟输出信号。该模拟输出可与 MKS PDR2000 压力控制器、MKS 电源/显示仪表或任何满足这些要求的仪表连接。通过测量传感器隔膜和相邻电极盘之间的电容变化来确定压力/真空的变化。这种电容变化通过获得专利的信号调节电子电路转换为可用的输出。传感器中的径向张紧 Inconel® 隔膜提供非常快的响应（许多情况下 <20 毫秒）、低滞后、出色的重复性、非常高分辨率（达到满量程的 0.001%）、极高的耐腐蚀性和双壁焊接结构，确保操作员安全。传感器本身可以承受反复暴露于 45 psia (3.1 bar) 的压力，而不会永久退化或移位，从而使其几乎可以在任何过程系统中运行。 MKS 626D Baratron 电容压力计在环境条件下运行。它们的全量程压力/真空范围为 0.1 至 1000 Torr，适用于许多工业、电子和研究应用。这些清单适用于 MKS 626D 型电容压力计，该压力计具有 15 针 D 型超小型信号连接器、100 Torr 满量程最大真空压力读数值、VCR 8 母真空法兰连接，并且 MKS 零件号为 626D12TBE。兼容的控制器和电缆： P102063 - 适用于 MKS PDR 2000 电源和数字读数电缆的理想真空电缆 15 针 Y 型电缆，相当于 CB2000S-1-M1 P102062 - MKS PDR 2000 数字电源和数字读数电容压力计控制器 P1010127 - 理想真空双电容压力计控制器 (DCM)、电源和数字压力读数 产品特性： 0 至 10 VDC 比例模拟输出，带 15 针 D-sub 连接器 直接测量腔室总压力，与气体类型或成分无关 长期输出稳定性实现最先进的工艺可重复性 Inconel® 和 Incoloy® 镍合金结构的基本传感器在几乎任何化学环境中都不会损坏 高超压限制可确保系统事故期间的可靠性 以读数百分比指定，以获得最佳精度并提高工艺产量

MKS 626D 1000 Torr Baratron 绝对电容压力计、真空压力表传感器、真空接头 KF-16，PN 626D13TDE。 MKS 626D 不加热绝对 Baratron® 电容压力计是最新的基于电容的模拟高性能真空和压力传感器。它们需要 ±15 VDC 输入电压，并提供与压力呈线性关系的高电平 0-10 VDC 模拟输出信号。该模拟输出可与 MKS PDR2000 压力控制器、MKS 电源/显示仪表或任何满足这些要求的仪表连接。通过测量传感器隔膜和相邻电极盘之间的电容变化来确定压力/真空的变化。这种电容变化通过获得专利的信号调节电子电路转换为可用的输出。传感器中的径向张紧 Inconel® 隔膜提供非常快的响应（许多情况下 <20 毫秒）、低滞后、出色的重复性、非常高分辨率（达到满量程的 0.001%）、极高的耐腐蚀性和双壁焊接结构，确保操作员安全。传感器本身可以承受反复暴露于 45 psia (3.1 bar) 的压力，而不会永久退化或移位，从而使其几乎可以在任何过程系统中运行。 MKS 626D Baratron 电容压力计在环境条件下运行。它们的全量程压力/真空范围为 0.1 至 1000 Torr，适用于许多工业、电子和研究应用。这些清单适用于 MKS 626D 型电容压力计，该压力计具有 15 针 D 型超小型信号连接器、1000 Torr 满量程最大真空压力读数值、KF-16 真空法兰连接，并且 MKS 零件号为 626D13TDE。兼容的控制器和电缆： P102063 - 适用于 MKS PDR 2000 电源和数字读数电缆的理想真空电缆 15 针 Y 型电缆，相当于 CB2000S-1-M1 P102062 - MKS PDR 2000 数字电源和数字读数电容压力计控制器 P1010127 - 理想真空双电容压力计控制器 (DCM)、电源和数字压力读数 产品特性： 0 至 10 VDC 比例模拟输出，带 15 针 D-sub 连接器 直接测量腔室总压力，与气体类型或成分无关 长期输出稳定性实现最先进的工艺可重复性 Inconel® 和 Incoloy® 镍合金结构的基本传感器在几乎任何化学环境中都不会损坏 高超压限制确保系统事故期间的可靠性 以读数百分比指定，以获得最佳精度并提高工艺产量

MKS 626D 1000 Torr Baratron 绝对电容压力计，真空压力表传感器，真空接头 VCR 8 母头，PN 626D13TBE MKS 626D 未加热绝对 Baratron® 电容压力计是最新的模拟、基于电容的高性能真空和压力传感器。它们需要 ±15 VDC 输入电压，并提供与压力呈线性关系的高电平 0-10 VDC 模拟输出信号。该模拟输出可与 MKS PDR2000 压力控制器、MKS 电源/显示仪表或任何满足这些要求的仪表连接。通过测量传感器隔膜和相邻电极盘之间的电容变化来确定压力/真空的变化。这种电容变化通过获得专利的信号调节电子电路转换为可用的输出。传感器中的径向张紧 Inconel® 隔膜提供非常快的响应（许多情况下 <20 毫秒）、低滞后、出色的重复性、非常高分辨率（达到满量程的 0.001%）、极高的耐腐蚀性和双壁焊接结构，确保操作员安全。传感器本身可以承受反复暴露于 45 psia (3.1 bar) 的压力，而不会永久退化或移位，从而使其几乎可以在任何过程系统中运行。 MKS 626D Baratron 电容压力计在环境条件下运行。它们的全量程压力/真空范围为 0.1 至 1000 Torr，适用于许多工业、电子和研究应用。这些清单适用于 MKS 626D 型电容压力计，该压力计具有 15 针 D 型超小型信号连接器、1000 Torr 满量程最大真空压力读数值、VCR 8 母真空法兰连接，并且 MKS 零件号为 626D13TBE。兼容的控制器和电缆： P102063 - 适用于 MKS PDR 2000 电源和数字读数电缆的理想真空电缆 15 针 Y 型电缆，相当于 CB2000S-1-M1 P102062 - MKS PDR 2000 数字电源和数字读数电容压力计控制器 P1010127 - 理想真空双电容压力计控制器 (DCM)、电源和数字压力读数 产品特性： 0 至 10 VDC 比例模拟输出，带 15 针 D-sub 连接器 直接测量腔室总压力，与气体类型或成分无关 长期输出稳定性实现最先进的工艺可重复性 Inconel® 和 Incoloy® 镍合金结构的基本传感器在几乎任何化学环境中都不会损坏 高超压限制可确保系统事故期间的可靠性 以读数百分比指定，以获得最佳精度并提高工艺产量

MKS 626D 1000 Torr Baratron 绝对电容压力计、真空压力表传感器、UHV 真空接头 Conflat CF 1.33 英寸法兰、PN 626D13TCE MKS 626D 未加热绝对 Baratron® 电容压力计是最新的模拟、基于电容的高性能真空和压力传感器。它们需要 ±15 VDC 输入电压，并提供与压力呈线性关系的高电平 0-10 VDC 模拟输出信号。该模拟输出可与 MKS PDR2000 压力控制器、MKS 电源/显示仪表或任何满足这些要求的仪表连接。通过测量传感器隔膜和相邻电极盘之间的电容变化来确定压力/真空的变化。这种电容变化通过获得专利的信号调节电子电路转换为可用的输出。传感器中的径向张紧 Inconel® 隔膜提供非常快的响应（许多情况下 <20 毫秒）、低滞后、出色的重复性、非常高分辨率（达到满量程的 0.001%）、极高的耐腐蚀性和双壁焊接结构，确保操作员安全。传感器本身可以承受反复暴露于 45 psia (3.1 bar) 的压力，而不会永久退化或移位，从而使其几乎可以在任何过程系统中运行。 MKS 626D Baratron 电容压力计在环境条件下运行。它们的全量程压力/真空范围为 0.1 至 1000 Torr，适用于许多工业、电子和研究应用。这些清单适用于 MKS 626D 型电容压力计，该压力计具有 15 针 D-subminiature 信号连接器、1000 Torr 满量程最大真空压力读数值、Conflat CF 1.33 英寸超高真空 UHV 法兰连接，并具有 MKS 零件号626D13TCE。兼容的控制器和电缆： P102063 - 适用于 MKS PDR 2000 电源和数字读数电缆的理想真空电缆 15 针 Y 型电缆，相当于 CB2000S-1-M1 P102062 - MKS PDR 2000 数字电源和数字读数电容压力计控制器 P1010127 - 理想真空双电容压力计控制器 (DCM)、电源和数字压力读数 产品特性： 0 至 10 VDC 比例模拟输出，带 15 针 D-sub 连接器 直接测量腔室总压力，与气体类型或成分无关 长期输出稳定性实现最先进的工艺可重复性 Inconel® 和 Incoloy® 镍合金结构的基本传感器在几乎任何化学环境中都不会损坏 高超压限制可确保系统事故期间的可靠性 以读数百分比指定，以获得最佳精度并提高工艺产量

MKS 627H 0.02 Torr 加热 45 °C，绝对巴拉管电容压力计，真空接头 VCR 8 母头，读数精度 0.25%，垂直校准。 MKS 零件号 PN：627HU2TBE1B。 627H Baratron® 电容压力计可加热至 45°C，精确度为读数的 0.12%，并包含更新的温度控制电子器件，可提供卓越的长期稳定性和可重复性。该电容压力计的满量程范围低至 20 mTorr (0.03 mbar)，以适应当今较低的过程压力。该传感器基于成熟的 Baratron 电容压力计技术，其润湿表面采用 Inconel® 材料，具有出色的耐腐蚀性气体性能。现代不锈钢包装提供了洁净室兼容的产品。该产品可与早期的 627A、627B、627D 和 627F Baratron 电容压力计互换，并可与 MKS 电源、显示单元和压力控制器或其他兼容的电源/读出设备一起使用。这些清单适用于加热至 45 °C 的 MKS 627H 型电容压力计，具有带螺纹锁的 15 针 D 型超小型信号连接器、0.02 Torr 满量程最大真空压力读数值、VCR 8 母真空法兰连接，读数精度为 0.25%，具有垂直校准，MKS 部件号为 627HU2TBE1B。兼容的控制器和电缆： P102063 - 适用于 MKS PDR 2000 电源和数字读数电缆的理想真空电缆 15 针 Y 型电缆，相当于 CB2000S-1-M1 P102062 - MKS PDR 2000 数字电源和数字读数电容压力计控制器 P1010127 - 理想真空双电容压力计控制器 (DCM)、电源和数字压力读数产品特性： 卓越的长期稳定性 读数精度百分比，可在较低压力范围内提供更精确的输出信号 满量程范围低至 20 mTorr (0.03 mbar)，可实现精确测量低压过程全 Inconel 耐腐蚀润湿表面 更快的预热时间 温度和加热器控制电路的视觉和电气状态 与早期的 Baratron 电容压力计、MKS 电源/读出模块和压力控制器兼容 直接、独立测量总压力气体成分高超压等级，提高可靠性洁净室兼容的不锈钢封装

MKS 627H 0.05 Torr 加热 45 °C，绝对巴拉管电容压力计，真空接头 VCR 8 母头，读数精度 0.15%，垂直校准。 MKS 零件号 PN：627HU5TBD1B。 627H Baratron® 电容压力计可加热至 45°C，精确度为读数的 0.12%，并包含更新的温度控制电子器件，可提供卓越的长期稳定性和可重复性。该电容压力计的满量程范围低至 20 mTorr (0.03 mbar)，以适应当今较低的过程压力。该传感器基于成熟的 Baratron 电容压力计技术，其润湿表面采用 Inconel® 材料，具有出色的耐腐蚀性气体性能。现代不锈钢包装提供了洁净室兼容的产品。该产品可与早期的 627A、627B、627D 和 627F Baratron 电容压力计互换，并可与 MKS 电源、显示单元和压力控制器或其他兼容的电源/读出设备一起使用。这些列表适用于加热至 45 °C 的 MKS 627H 型电容压力计，具有带螺纹锁的 15 针 D 型超小型信号连接器、0.05 Torr 满量程最大真空压力读数值、VCR 8 母真空法兰连接，读数精度为 0.15%，具有垂直校准，MKS 部件号为 627HU5TBD1B。兼容的控制器和电缆： P102063 - 适用于 MKS PDR 2000 电源和数字读数电缆的理想真空电缆 15 针 Y 型电缆，相当于 CB2000S-1-M1 P102062 - MKS PDR 2000 数字电源和数字读数电容压力计控制器 P1010127 - 理想真空双电容压力计控制器 (DCM)、电源和数字压力读数产品特性： 卓越的长期稳定性 读数精度百分比，可在较低压力范围内提供更精确的输出信号 满量程范围低至 20 mTorr (0.03 mbar)，可实现精确测量低压过程全 Inconel 耐腐蚀润湿表面 更快的预热时间 温度和加热器控制电路的视觉和电气状态 与早期的 Baratron 电容压力计、MKS 电源/读出模块和压力控制器兼容 直接、独立测量总压力气体成分高超压等级，提高可靠性洁净室兼容的不锈钢封装

MKS 627H 0.1 Torr 加热 45 °C，绝对巴拉管电容压力计，真空接头 VCR 8 母头，读数精度 0.15%，垂直校准。 MKS 零件号 PN：：627H.1TBD1B。 627H Baratron® 电容压力计可加热至 45°C，精确度为读数的 0.12%，并包含更新的温度控制电子器件，可提供卓越的长期稳定性和可重复性。该电容压力计的满量程范围低至 20 mTorr (0.03 mbar)，以适应当今较低的过程压力。该传感器基于成熟的 Baratron 电容压力计技术，其润湿表面采用 Inconel® 材料，具有出色的耐腐蚀性气体性能。现代不锈钢包装提供了洁净室兼容的产品。该产品可与早期的 627A、627B、627D 和 627F Baratron 电容压力计互换，并可与 MKS 电源、显示单元和压力控制器或其他兼容的电源/读出设备一起使用。这些列表适用于加热至 45 °C 的 MKS 627H 型电容压力计，具有带螺纹锁的 15 针 D 型超小型信号连接器、0.1 Torr 满量程最大真空压力读数值、VCR 8 母真空法兰连接，读数精度为 0.15%，具有垂直校准，MKS 部件号：627H.1TBD1B。兼容的控制器和电缆： P102063 - 适用于 MKS PDR 2000 电源和数字读数电缆的理想真空电缆 15 针 Y 型电缆，相当于 CB2000S-1-M1 P102062 - MKS PDR 2000 数字电源和数字读数电容压力计控制器 P1010127 - 理想真空双电容压力计控制器 (DCM)、电源和数字压力读数产品特性： 卓越的长期稳定性 读数精度百分比，可在较低压力范围内提供更精确的输出信号 满量程范围低至 20 mTorr (0.03 mbar)，可实现精确测量低压过程全 Inconel 耐腐蚀润湿表面 更快的预热时间 温度和加热器控制电路的视觉和电气状态 与早期的 Baratron 电容压力计、MKS 电源/读出模块和压力控制器兼容 直接、独立测量总压力气体成分高超压等级，提高可靠性洁净室兼容的不锈钢封装

MKS 627H 1 Torr 加热 45 °C，绝对 Baratron 电容压力计，真空接头 VCR 8 母头，读数精度 0.12%，垂直校准。 MKS 零件号 PN：627H01TBC1B。 627H Baratron® 电容压力计可加热至 45°C，精确度为读数的 0.12%，并包含更新的温度控制电子器件，可提供卓越的长期稳定性和可重复性。该电容压力计的满量程范围低至 20 mTorr (0.03 mbar)，以适应当今较低的过程压力。该传感器基于成熟的 Baratron 电容压力计技术，其润湿表面采用 Inconel® 材料，具有出色的耐腐蚀性气体性能。现代不锈钢包装提供了洁净室兼容的产品。该产品可与早期的 627A、627B、627D 和 627F Baratron 电容压力计互换，并可与 MKS 电源、显示单元和压力控制器或其他兼容的电源/读出设备一起使用。这些清单适用于加热至 45 °C 的 MKS 627H 型电容压力计，具有带螺纹锁的 15 针 D 型超小型信号连接器、1 托满量程最大真空压力读数值、VCR 8 母真空法兰连接，读数精度为 0.12%，具有垂直校准，MKS 部件号为 627H01TBC1B。兼容的控制器和电缆： P102063 - 适用于 MKS PDR 2000 电源和数字读数电缆的理想真空电缆 15 针 Y 型电缆，相当于 CB2000S-1-M1 P102062 - MKS PDR 2000 数字电源和数字读数电容压力计控制器 P1010127 - 理想真空双电容压力计控制器 (DCM)、电源和数字压力读数产品特性： 卓越的长期稳定性 读数精度百分比，可在较低压力范围内提供更精确的输出信号 满量程范围低至 20 mTorr (0.03 mbar)，可实现精确测量低压过程全 Inconel 耐腐蚀润湿表面 更快的预热时间 温度和加热器控制电路的视觉和电气状态 与早期的 Baratron 电容压力计、MKS 电源/读出模块和压力控制器兼容 直接、独立测量总压力气体成分高超压等级，提高可靠性洁净室兼容的不锈钢封装

MKS 627H 10 Torr 加热 45 °C，绝对 Baratron 电容压力计，真空接头 VCR 8 母头，读数精度 0.12%，垂直校准。 MKS 零件号 PN：627H11TBC1B。 627H Baratron® 电容压力计可加热至 45°C，精确度为读数的 0.12%，并包含更新的温度控制电子器件，可提供卓越的长期稳定性和可重复性。该电容压力计的满量程范围低至 20 mTorr (0.03 mbar)，以适应当今较低的过程压力。该传感器基于成熟的 Baratron 电容压力计技术，其润湿表面采用 Inconel® 材料，具有出色的耐腐蚀性气体性能。现代不锈钢包装提供了洁净室兼容的产品。该产品可与早期的 627A、627B、627D 和 627F Baratron 电容压力计互换，并可与 MKS 电源、显示单元和压力控制器或其他兼容的电源/读出设备一起使用。这些列表适用于加热至 45 °C 的 MKS 627H 型电容压力计，具有带螺纹锁的 15 针 D 型超小型信号连接器、10 Torr 满量程最大真空压力读数值、VCR 8 母真空法兰连接，读数精度为 0.12%，具有垂直校准，MKS 部件号为 627H11TBC1B。兼容的控制器和电缆： P102063 - 适用于 MKS PDR 2000 电源和数字读数电缆的理想真空电缆 15 针 Y 型电缆，相当于 CB2000S-1-M1 P102062 - MKS PDR 2000 数字电源和数字读数电容压力计控制器 P1010127 - 理想真空双电容压力计控制器 (DCM)、电源和数字压力读数产品特性： 卓越的长期稳定性 读数精度百分比，可在较低压力范围内提供更精确的输出信号 满量程范围低至 20 mTorr (0.03 mbar)，可实现精确测量低压过程全 Inconel 耐腐蚀润湿表面 更快的预热时间 温度和加热器控制电路的视觉和电气状态 与早期的 Baratron 电容压力计、MKS 电源/读出模块和压力控制器兼容 直接、独立测量总压力气体成分高超压等级，提高可靠性洁净室兼容的不锈钢封装

MKS 627H 100 Torr 加热 45 °C，绝对巴拉管电容压力计，真空接头 VCR 8 母头，读数精度 0.12%，垂直校准。 MKS 零件号 PN：627H12TBC1B。 627H Baratron® 电容压力计可加热至 45°C，精确度为读数的 0.12%，并包含更新的温度控制电子器件，可提供卓越的长期稳定性和可重复性。该电容压力计的满量程范围低至 20 mTorr (0.03 mbar)，以适应当今较低的过程压力。该传感器基于成熟的 Baratron 电容压力计技术，其润湿表面采用 Inconel® 材料，具有出色的耐腐蚀性气体性能。现代不锈钢包装提供了洁净室兼容的产品。该产品可与早期的 627A、627B、627D 和 627F Baratron 电容压力计互换，并可与 MKS 电源、显示单元和压力控制器或其他兼容的电源/读出设备一起使用。这些列表适用于可加热至 45 °C 的 MKS 627H 型电容压力计，具有带螺纹锁的 15 针 D 型超小型信号连接器、100 Torr 满量程最大真空压力读数值、VCR 8 母真空法兰连接，读数精度为 0.12%，具有垂直校准，MKS 部件号为 627H12TBC1B。兼容的控制器和电缆： P102063 - 适用于 MKS PDR 2000 电源和数字读数电缆的理想真空电缆 15 针 Y 型电缆，相当于 CB2000S-1-M1 P102062 - MKS PDR 2000 数字电源和数字读数电容压力计控制器 P1010127 - 理想真空双电容压力计控制器 (DCM)、电源和数字压力读数产品特性： 卓越的长期稳定性 读数精度百分比，可在较低压力范围内提供更精确的输出信号 满量程范围低至 20 mTorr (0.03 mbar)，可实现精确测量低压过程全 Inconel 耐腐蚀润湿表面 更快的预热时间 温度和加热器控制电路的视觉和电气状态 与早期的 Baratron 电容压力计、MKS 电源/读出模块和压力控制器兼容 直接、独立测量总压力气体成分高超压等级，提高可靠性洁净室兼容的不锈钢封装

MKS 627H 1,000 Torr 加热 45 °C，绝对巴拉管电容压力计，真空接头 VCR 8 母头，读数精度 0.12%，垂直校准。 MKS 零件号 PN：627H13TBC1B。 627H Baratron® 电容压力计可加热至 45°C，精确度为读数的 0.12%，并包含更新的温度控制电子器件，可提供卓越的长期稳定性和可重复性。该电容压力计的满量程范围低至 20 mTorr (0.03 mbar)，以适应当今较低的过程压力。该传感器基于成熟的 Baratron 电容压力计技术，其润湿表面采用 Inconel® 材料，具有出色的耐腐蚀性气体性能。现代不锈钢包装提供了洁净室兼容的产品。该产品可与早期的 627A、627B、627D 和 627F Baratron 电容压力计互换，并可与 MKS 电源、显示单元和压力控制器或其他兼容的电源/读出设备一起使用。这些清单适用于加热至 45 °C 的 MKS 627H 型电容压力计，具有带螺纹锁的 15 针 D 型超小型信号连接器、1,000 Torr 满量程最大真空压力读数值、VCR 8 母真空法兰连接，读数精度为 0.12%，具有垂直校准，MKS 部件号为 627H13TBC1B。兼容的控制器和电缆： P102063 - 适用于 MKS PDR 2000 电源和数字读数电缆的理想真空电缆 15 针 Y 型电缆，相当于 CB2000S-1-M1 P102062 - MKS PDR 2000 数字电源和数字读数电容压力计控制器 P1010127 - 理想真空双电容压力计控制器 (DCM)、电源和数字压力读数产品特性： 卓越的长期稳定性 读数精度百分比，可在较低压力范围内提供更精确的输出信号 满量程范围低至 20 mTorr (0.03 mbar)，可实现精确测量低压过程全 Inconel 耐腐蚀润湿表面 更快的预热时间 温度和加热器控制电路的视觉和电气状态 与早期的 Baratron 电容压力计、MKS 电源/读出模块和压力控制器兼容 直接、独立测量总压力气体成分高超压等级，提高可靠性洁净室兼容的不锈钢封装

MKS 压力计电缆将 937B 或 946 控制器连接到 626 或 627 压力计，长 10 英尺 (3m)。 MKS 零件号：100007555。MKS 真空计信号电缆将 937B 或 946 控制器连接到 626 或 627 压力计。它具有 9 针 D 型超小型和 15 针 D 型超小型连接器。这仅是电缆。 937B 系列数字组合真空计控制器可同时操作多达六个真空压力传感器。这种高度灵活的真空计控制器支持多种传感器技术，包括冷阴极、热阴极、标准皮拉尼、对流皮拉尼、Baratron® 电容压力计和绝对压电传感器，测量范围从超高真空到高于大气压。背光 LCD 显示屏、直观的菜单和简单的按钮前面板使 937B 的设置变得更加容易。 937B 允许在每个传感器卡插槽中使用任何传感器卡。 937B 最多可配置三个热阴极或冷阴极型仪表，或三个双传感器卡，最多可连接六个仪表。

MKS 压力计电缆将 937B 或 946 控制器连接到 626 或 627 压力计，25 英尺 (7.5m)。长的。 MKS 零件号：100007556。MKS 真空计信号电缆将 937B 或 946 控制器连接到 626 或 627 压力计。它具有 9 针 D 型超小型和 15 针 D 型超小型连接器。这仅是电缆。 937B 系列数字组合真空计控制器可同时操作多达六个真空压力传感器。这种高度灵活的真空计控制器支持多种传感器技术，包括冷阴极、热阴极、标准皮拉尼、对流皮拉尼、Baratron® 电容压力计和绝对压电传感器，测量范围从超高真空到高于大气压。背光 LCD 显示屏、直观的菜单和简单的按钮前面板使 937B 的设置变得更加容易。 937B 允许在每个传感器卡插槽中使用任何传感器卡。 937B 最多可配置三个热阴极或冷阴极型仪表，或三个双传感器卡，最多可连接六个仪表。

MKS 722C 通用 Baratron 绝对电容压力计，压力范围 1 Torr，VCR 4 真空接头，9 针 D 型连接器，PN 722C01TCD2FA。当今的过程环境需要小型压力测量仪器，以较低的成本提供准确、可重复且可靠的测量。 MKS 将其在电容压力计设计和制造技术方面的专业知识应用于开发紧凑型 722C 通用绝对 Baratron® 电容压力计。 722C 的灵活设计使其成为改造应用和新设备设计的理想解决方案。坚固的传感器结构提供高超压容差，减少因偶尔的管线压力峰值引起的误差。所有传感器接液表面均由 Inconel® 制成，以确保与多种工艺气体的最大兼容性1。先进的技术和严格的过程控制确保所有润湿表面清洁、光滑的表面处理 (=10 Ra)。信号调节电路采用表面贴装技术的最新技术组装。所有传感器均享有完整的两年保修。这些清单适用于 MKS 722C 型通用电容压力计，该压力计具有 9 针 D 型超小型信号连接器、1 Torr 满量程最大真空压力读数值、VCR 4 母真空法兰连接，并且 MKS 部件号为 722C01TCD2FA。兼容的控制器和电缆： P102061 - MKS PDR 2000 电源和数字读数电缆 9 针电缆 CB2000S-2-M1 P102062 - MKS PDR 2000 数字电源和数字读数电容压力计控制器 P1010127 - 理想真空双电容压力计控制器 (DCM) 、电源和数字压力读数产品特性： 0 至 10 VDC 比例模拟输出，带 9 针 D-sub 连接器 直接测量腔室总压力，与气体类型或成分无关 在宽工作温度范围内保持高精度 超压限制为 45 psia或 2 倍满量程（以较大者为准）确保零重复性或性能不会下降 所有润湿传感器表面均经过微精加工至 =10 Ra，消除了腐蚀生长的夹杂位点 较小的压力计尺寸有助于减小整体系统尺寸 耐腐蚀 - 全-金属、全焊接结构仅将铬镍铁合金和不锈钢暴露于介质中 直接替换，与早期 722 Baratron 电容压力计兼容

MKS 722C 通用 Baratron 绝对电容压力计，压力范围 10 Torr，VCR 4 真空接头，9 针 D 型连接器，PN 722C11TCD2FA。当今的过程环境需要小型压力测量仪器，以较低的成本提供准确、可重复且可靠的测量。 MKS 将其在电容压力计设计和制造技术方面的专业知识应用于开发紧凑型 722C 通用绝对 Baratron® 电容压力计。 722C 的灵活设计使其成为改造应用和新设备设计的理想解决方案。坚固的传感器结构提供高超压容差，减少因偶尔的管线压力峰值引起的误差。所有传感器接液表面均由 Inconel® 制成，以确保与多种工艺气体的最大兼容性1。先进的技术和严格的过程控制确保所有润湿表面清洁、光滑的表面处理 (=10 Ra)。信号调节电路采用表面贴装技术的最新技术组装。所有传感器均享有完整的两年保修。这些列表适用于 MKS 722C 型通用电容压力计，该压力计具有 9 针 D 型超小型信号连接器、10 Torr 满量程最大真空压力读数值、VCR 4 母真空法兰连接，并且 MKS 零件号为 722C11TCD2FA。兼容的控制器和电缆： P102061 - MKS PDR 2000 电源和数字读数电缆 9 针电缆 CB2000S-2-M1 P102062 - MKS PDR 2000 数字电源和数字读数电容压力计控制器 P1010127 - 理想真空双电容压力计控制器 (DCM) 、电源和数字压力读数 产品特性： 0 至 10 VDC 比例模拟输出，带 9 针 D-sub 连接器 直接测量腔室总压力，与气体类型或成分无关 宽工作温度范围内的高精度 超压限制为 45 psia或 2 倍满量程（以较大者为准）确保零重复性或性能不会下降 所有润湿传感器表面均经过微精加工至 =10 Ra，消除了腐蚀生长的夹杂位点 较小的压力计尺寸有助于减小整体系统尺寸 耐腐蚀 - 全-金属、全焊接结构仅将铬镍铁合金和不锈钢暴露于介质中 直接更换与早期 722 Baratron 电容压力计兼容

MKS 722C 通用 Baratron 绝对电容压力计，压力范围 100 Torr，VCR 4 真空接头，9 针 D 型连接器，PN 722C12TCD2FA。当今的过程环境需要小型压力测量仪器，以较低的成本提供准确、可重复且可靠的测量。 MKS 将其在电容压力计设计和制造技术方面的专业知识应用于开发紧凑型 722C 通用绝对 Baratron® 电容压力计。 722C 的灵活设计使其成为改造应用和新设备设计的理想解决方案。坚固的传感器结构提供高过压容差，减少因偶尔的管线压力峰值引起的误差。所有传感器接液表面均由 Inconel® 制成，以确保与多种工艺气体的最大兼容性1。先进的技术和严格的过程控制确保所有润湿表面清洁、光滑的表面处理 (=10 Ra)。信号调节电路采用表面贴装技术的最新技术组装。所有传感器均享有完整的两年保修。这些列表适用于 MKS 722C 型通用电容压力计，该压力计具有 9 针 D 型超小型信号连接器、100 Torr 满量程最大真空压力读数值、VCR 4 母真空法兰连接，并且 MKS 部件号为 722C12TCD2FA。兼容的控制器和电缆： P102061 - MKS PDR 2000 电源和数字读数电缆 9 针电缆 CB2000S-2-M1 P102062 - MKS PDR 2000 数字电源和数字读数电容压力计控制器 P1010127 - 理想真空双电容压力计控制器 (DCM) 、电源和数字压力读数产品特性： 0 至 10 VDC 比例模拟输出，带 9 针 D-sub 连接器 直接测量腔室总压力，与气体类型或成分无关 在宽工作温度范围内保持高精度 超压限制为 45 psia或 2 倍满量程（以较大者为准）确保零重复性或性能不会下降 所有润湿传感器表面均经过微精加工至 =10 Ra，消除了腐蚀生长的夹杂位点 较小的压力计尺寸有助于减小整体系统尺寸 耐腐蚀 - 全-金属、全焊接结构仅将铬镍铁合金和不锈钢暴露于介质中 直接替换，与早期 722 Baratron 电容压力计兼容

MKS 722C 通用 Baratron 绝对电容压力计，压力范围 1,000 Torr，VCR 4 真空接头，9 针 D 型连接器，PN 722C13TCD2FA。当今的过程环境需要小型压力测量仪器，以较低的成本提供准确、可重复且可靠的测量。 MKS 将其在电容压力计设计和制造技术方面的专业知识应用于开发紧凑型 722C 通用绝对 Baratron® 电容压力计。 722C 的灵活设计使其成为改造应用和新设备设计的理想解决方案。坚固的传感器结构提供高过压容差，减少因偶尔的管线压力峰值引起的误差。所有传感器接液表面均由 Inconel® 制成，以确保与多种工艺气体的最大兼容性1。先进的技术和严格的过程控制确保所有润湿表面清洁、光滑的表面处理 (=10 Ra)。信号调节电路采用表面贴装技术的最新技术组装。所有传感器均享有完整的两年保修。这些清单适用于 MKS 722C 型通用电容压力计，该压力计具有 9 针 D 型超小型信号连接器、1,000 Torr 满量程最大真空压力读数值、VCR 4 母真空法兰连接，并且 MKS 零件号为 722C13TCD2FA。兼容的控制器和电缆： P102061 - MKS PDR 2000 电源和数字读数电缆 9 针电缆 CB2000S-2-M1 P102062 - MKS PDR 2000 数字电源和数字读数电容压力计控制器 P1010127 - 理想真空双电容压力计控制器 (DCM) 、电源和数字压力读数 产品特性： 0 至 10 VDC 比例模拟输出，带 9 针 D-sub 连接器 直接测量腔室总压力，与气体类型或成分无关 宽工作温度范围内的高精度 超压限制为 45 psia或 2 倍满量程（以较大者为准）确保零重复性或性能不会下降 所有润湿传感器表面均经过微精加工至 =10 Ra，消除了腐蚀生长的夹杂位点 较小的压力计尺寸有助于减小整体系统尺寸 耐腐蚀 - 全-金属、全焊接结构仅将铬镍铁合金和不锈钢暴露于介质中 直接更换与早期 722 Baratron 电容压力计兼容

MKS 722C 通用 Baratron 绝对电容压力计，压力范围 5,000 Torr，VCR 4 真空接头，9 针 D 型连接器，PN 722C53TCD2FA。当今的过程环境需要小型压力测量仪器，以较低的成本提供准确、可重复且可靠的测量。 MKS 将其在电容压力计设计和制造技术方面的专业知识应用于开发紧凑型 722C 通用绝对 Baratron® 电容压力计。 722C 的灵活设计使其成为改造应用和新设备设计的理想解决方案。坚固的传感器结构提供高超压容差，减少因偶尔的管线压力峰值引起的误差。所有传感器接液表面均由 Inconel® 制成，以确保与多种工艺气体的最大兼容性1。先进的技术和严格的过程控制确保所有润湿表面清洁、光滑的表面处理 (=10 Ra)。信号调节电路采用表面贴装技术的最新技术组装。所有传感器均享有完整的两年保修。这些清单适用于 MKS 722C 型通用电容压力计，该压力计具有 9 针 D 型超小型信号连接器、5,000 Torr 满量程最大真空压力读数值、VCR 4 母真空法兰连接，并且 MKS 零件号为 722C53TCD2FA。兼容的控制器和电缆： P102061 - MKS PDR 2000 电源和数字读数电缆 9 针电缆 CB2000S-2-M1 P102062 - MKS PDR 2000 数字电源和数字读数电容压力计控制器 P1010127 - 理想真空双电容压力计控制器 (DCM) 、电源和数字压力读数 产品特性： 0 至 10 VDC 比例模拟输出，带 9 针 D-sub 连接器 直接测量腔室总压力，与气体类型或成分无关 宽工作温度范围内的高精度 超压限制为 45 psia或 2 倍满量程（以较大者为准）确保零重复性或性能不会下降 所有润湿传感器表面均经过微精加工至 =10 Ra，消除了腐蚀生长的夹杂位点 较小的压力计尺寸有助于减小整体系统尺寸 耐腐蚀 - 全-金属、全焊接结构仅将铬镍铁合金和不锈钢暴露于介质中 直接更换与早期 722 Baratron 电容压力计兼容

MKS 722C 通用 Baratron 绝对电容压力计，压力范围 10,000 Torr，VCR 4 真空接头，9 针 D 型连接器，PN 722C14TCD2FA。当今的过程环境需要小型压力测量仪器，以较低的成本提供准确、可重复且可靠的测量。 MKS 将其在电容压力计设计和制造技术方面的专业知识应用于开发紧凑型 722C 通用绝对 Baratron® 电容压力计。 722C 的灵活设计使其成为改造应用和新设备设计的理想解决方案。坚固的传感器结构提供高过压容差，减少因偶尔的管线压力峰值引起的误差。所有传感器接液表面均由 Inconel® 制成，以确保与多种工艺气体的最大兼容性1。先进的技术和严格的过程控制确保所有润湿表面清洁、光滑的表面处理 (=10 Ra)。信号调节电路采用表面贴装技术的最新技术组装。所有传感器均享有完整的两年保修。这些列表适用于 MKS 722C 型通用电容压力计，具有 9 针 D 型超小型信号连接器、10,000 Torr 满量程最大真空压力读数值、VCR 4 母真空法兰连接，并且 MKS 零件号为 722C14TCD2FA。兼容的控制器和电缆： P102061 - MKS PDR 2000 电源和数字读数电缆 9 针电缆 CB2000S-2-M1 P102062 - MKS PDR 2000 数字电源和数字读数电容压力计控制器 P1010127 - 理想真空双电容压力计控制器 (DCM) 、电源和数字压力读数 产品特性： 0 至 10 VDC 比例模拟输出，带 9 针 D-sub 连接器 直接测量腔室总压力，与气体类型或成分无关 宽工作温度范围内的高精度 超压限制为 45 psia或 2 倍满量程（以较大者为准）确保零重复性或性能不会下降 所有润湿传感器表面均经过微精加工至 =10 Ra，消除了腐蚀生长的夹杂位点 较小的压力计尺寸有助于减小整体系统尺寸 耐腐蚀 - 全-金属、全焊接结构仅将铬镍铁合金和不锈钢暴露于介质中 直接更换与早期 722 Baratron 电容压力计兼容

MKS 722C 通用 Baratron 绝对电容压力计，压力范围 20,000 Torr，VCR 4 真空接头，9 针 D 型连接器，PN 722C24TCD2FA。当今的过程环境需要小型压力测量仪器，以较低的成本提供准确、可重复且可靠的测量。 MKS 将其在电容压力计设计和制造技术方面的专业知识应用于开发紧凑型 722C 通用绝对 Baratron® 电容压力计。 722C 的灵活设计使其成为改造应用和新设备设计的理想解决方案。坚固的传感器结构提供高超压容差，减少因偶尔的管线压力峰值引起的误差。所有传感器接液表面均由 Inconel® 制成，以确保与多种工艺气体的最大兼容性1。先进的技术和严格的过程控制确保所有润湿表面清洁、光滑的表面处理 (=10 Ra)。信号调节电路采用表面贴装技术的最新技术组装。所有传感器均享有完整的两年保修。这些列表适用于 MKS 722C 型通用电容压力计，该压力计具有 9 针 D 型超小型信号连接器、20,000 Torr 满量程最大真空压力读数值、VCR 4 母真空法兰连接，并且 MKS 零件号为 722C24TCD2FA。兼容的控制器和电缆： P102061 - MKS PDR 2000 电源和数字读数电缆 9 针电缆 CB2000S-2-M1 P102062 - MKS PDR 2000 数字电源和数字读数电容压力计控制器 P1010127 - 理想真空双电容压力计控制器 (DCM) 、电源和数字压力读数 产品特性： 0 至 10 VDC 比例模拟输出，带 9 针 D-sub 连接器 直接测量腔室总压力，与气体类型或成分无关 宽工作温度范围内的高精度 超压限制为 45 psia或 2 倍满量程（以较大者为准）确保零重复性或性能不会下降 所有润湿传感器表面均经过微精加工至 =10 Ra，消除了腐蚀生长的夹杂位点 较小的压力计尺寸有助于减小整体系统尺寸 耐腐蚀 - 全-金属、全焊接结构仅将铬镍铁合金和不锈钢暴露于介质中 直接更换与早期 722 Baratron 电容压力计兼容

MKS 压力计电缆将 937B 或 946 控制器连接到 722 压力计，DB9 公头到 DB9 母头，长 10 英尺 (3m)。 MKS 零件号：100016951。MKS 压力计电缆将 937B 或 946 控制器连接到 722 系列电容压力计。它具有 9 针 D 型超小型连接器。这仅是电缆。 937B 系列数字组合真空计控制器可同时操作多达六个真空压力传感器。这种高度灵活的真空计控制器支持多种传感器技术，包括冷阴极、热阴极、标准皮拉尼、对流皮拉尼、Baratron® 电容压力计和绝对压电传感器，测量范围从超高真空到高于大气压。背光 LCD 显示屏、直观的菜单和简单的按钮前面板使 937B 的设置变得更加容易。 937B 允许在每个传感器卡插槽中使用任何传感器卡。 937B 最多可配置三个热阴极或冷阴极型仪表，或三个双传感器卡，最多可连接六个仪表。

MKS 压力计电缆将 937B 或 946 控制器连接到 722 压力计，DB9 公头到 DB9 母头，25 英尺 (7.5m)。长的。 MKS 零件号：100016952。MKS 压力计电缆将 937B 或 946 控制器连接到 722 系列压力计，DB9 公头连接到 DB9 母头。它具有 9 针 D 型超小型连接器。这仅是电缆。 937B 系列数字组合真空计控制器可同时操作多达六个真空压力传感器。这种高度灵活的真空计控制器支持多种传感器技术，包括冷阴极、热阴极、标准皮拉尼、对流皮拉尼、Baratron® 电容压力计和绝对压电传感器，测量范围从超高真空到高于大气压。背光 LCD 显示屏、直观的菜单和简单的按钮前面板使 937B 的设置变得更加容易。 937B 允许在每个传感器卡插槽中使用任何传感器卡。 937B 最多可配置三个热阴极或冷阴极型仪表，或三个双传感器卡，最多可连接六个仪表。

MKS 真空传感器卡双对流皮拉尼，适用于 937B 和 946 系列控制器。 MKS 零件号：100015132。MKS 真空传感器卡支持双皮拉尼对流传感器，并与 937B 和 946 真空系统控制器配合使用。这些卡用于设计用于控制和显示任何流量传感器的控制器。流量设定点可以通过前面板控制装置或通过后面板模拟接口远程调节。 946 和 937B 真空系统控制器可同时读取和控制多达 6 个传感器和仪表。

MKS HPS® 系列 317 对流增强型皮拉尼传感器 KF16 NW16 (PN 103170010SH)（与 MKS 947 对流增强型皮拉尼压力表控制器兼容） MKS HPS® 317 对流增强型皮拉尼传感器以极低的成本提供可靠、稳定的压力测量。由于暴露于真空的唯一材料是不锈钢、镍、玻璃和铂，因此该传感器与多种工艺气体兼容，特别适合 UHV 应用。铂丝有效地消除了对流传感器较高测量范围内的任何读数差异。 317 传感器比热电偶传感器更准确，可在更宽的压力范围内进行测量，并对过程压力变化做出更快的响应。对流增强型皮拉尼传感器的测量上限比传统皮拉尼传感器的测量上限从 100 Torr 提高到 1,000 Torr。当监测真空系统从大气压到基础压力的抽气时，这个较高的限制非常有用。该传感器可补偿 10° 至 50°C 范围内的室温变化。与所有热导率传感器一样，317 传感器天生对气体类型敏感。此功能使其成为定位真空系统中的中度到细微泄漏的简单解决方案。它是质谱仪检漏仪的补充，可以更有效地发现较小的泄漏。该传感器具有屏蔽射频噪声功能，符合 CE 标志要求，并且可烘烤至 100°C。该 317 传感器包括标准真空连接件，例如 KF16 NW16 法兰。该传感器的电缆不包括在内，但提供标准 10 英尺长度。 317 传感器可与该网站上出售的 947 系列对流皮拉尼真空计控制器一起使用。完整的规格手册和操作手册可在下面以 PDF 格式下载。

MKS HPS® 系列 317 对流增强型皮拉尼传感器 KF25 NW25 (PN 103170027SH)（与 MKS 947 对流增强型皮拉尼压力表控制器兼容） MKS HPS® 317 对流增强型皮拉尼传感器以极低的成本提供可靠且稳定的压力测量。由于暴露于真空的唯一材料是不锈钢、镍、玻璃和铂，因此该传感器与多种工艺气体兼容，特别适合 UHV 应用。铂丝有效地消除了对流传感器较高测量范围内的任何读数差异。 317 传感器比热电偶传感器更准确，可在更宽的压力范围内进行测量，并对过程压力变化做出更快的响应。对流增强型皮拉尼传感器的测量上限比传统皮拉尼传感器的测量上限从 100 Torr 提高到 1,000 Torr。当监测真空系统从大气压到基础压力的抽气时，这个较高的限制非常有用。该传感器可补偿 10° 至 50°C 范围内的室温变化。与所有热导率传感器一样，317 传感器天生对气体类型敏感。此功能使其成为定位真空系统中的中度到细微泄漏的简单解决方案。它是质谱仪检漏仪的补充，可以更有效地发现较小的泄漏。该传感器具有屏蔽射频噪声功能，符合 CE 标志要求，并且可烘烤至 100°C。该 317 传感器包括标准真空连接件，例如 KF25 NW25 法兰。该传感器的电缆不包括在内，但提供标准 10 英尺长度。 317 传感器可与该网站上出售的 947 系列对流皮拉尼真空计控制器一起使用。完整的规格手册和操作手册可在下面以 PDF 格式下载。

MKS HPS® 系列 317 对流增强型皮拉尼真空传感器具有 0.001 至 1000 Torr、Conflat CF 1.33 英寸 MKS 零件号：103170013SH。 MKS HPS® 317 对流增强型皮拉尼传感器以极低的成本提供可靠且稳定的压力测量，与 MKS 947 对流增强型皮拉尼压力表控制器兼容。由于暴露于真空的唯一材料是不锈钢、镍、玻璃和铂，因此该传感器与多种工艺气体兼容，特别适合 UHV 应用。铂丝有效地消除了对流传感器较高测量范围内的任何读数差异。 317 传感器比热电偶传感器更准确，可在更宽的压力范围内进行测量，并对过程压力变化做出更快的响应。对流增强型皮拉尼传感器的测量上限比传统皮拉尼传感器的测量上限从 0.001 增加到 1,000 Torr。当监测真空系统从大气压到基础压力的抽气时，这个较高的限制非常有用。该传感器可补偿 10° 至 50°C 范围内的室温变化。与所有热导率传感器一样，317 传感器天生对气体类型敏感。此功能使其成为定位真空系统中的中度到细微泄漏的简单解决方案。它是质谱仪检漏仪的补充，可以更有效地发现较小的泄漏。该传感器具有屏蔽射频噪声功能，符合 CE 标志要求，并且可烘烤至 100°C。该 317 传感器包括标准真空连接件，例如 CF 1.33 英寸 Mini-CF 法兰接头。该传感器的电缆不包括在内，但提供标准 10 英尺长度。 317 传感器可与该网站上出售的 947 系列对流皮拉尼真空计控制器一起使用。完整的规格手册和操作手册可在下面以 PDF 格式下载。

MKS HPS® 系列 317 对流增强型皮拉尼真空传感器具有 0.001 至 1000 Torr、Conflat CF 1.33 英寸 MKS 零件号：103170013SH。 MKS HPS® 317 对流增强型皮拉尼传感器以极低的成本提供可靠且稳定的压力测量，与 MKS 947 对流增强型皮拉尼压力表控制器兼容。由于暴露于真空的唯一材料是不锈钢、镍、玻璃和铂，因此该传感器与多种工艺气体兼容，特别适合 UHV 应用。铂丝有效地消除了对流传感器较高测量范围内的任何读数差异。 317 传感器比热电偶传感器更准确，可在更宽的压力范围内进行测量，并对过程压力变化做出更快的响应。对流增强型皮拉尼传感器的测量上限比传统皮拉尼传感器的测量上限从 0.001 增加到 1,000 Torr。当监测真空系统从大气压到基础压力的抽气时，这个较高的限制非常有用。该传感器可补偿 10° 至 50°C 范围内的室温变化。与所有热导率传感器一样，317 传感器天生对气体类型敏感。此功能使其成为定位真空系统中的中度到细微泄漏的简单解决方案。它是质谱仪检漏仪的补充，可以更有效地发现较小的泄漏。该传感器具有屏蔽射频噪声功能，符合 CE 标志要求，并且可烘烤至 100°C。该 317 传感器包括标准真空连接件，例如 CF 1.33 英寸 Mini-CF 法兰接头。该传感器的电缆不包括在内，但提供标准 10 英尺长度。 317 传感器可与该网站上出售的 947 系列对流皮拉尼真空计控制器一起使用。完整的规格手册和操作手册可在下面以 PDF 格式下载。

MKS 真空计电缆，用于 345 或 317 连接至 945、947、937B 或 946 控制器，长 25 英尺 (7.5m)。 MKS 零件号：103170007SH。 MKS 真空计信号电缆将 345 或 317 真空计传感器连接到 945、947、937B 或 946 控制器。它连接到 MKS 控制器的背面以及 MKS 345 或 317 Pirani 传感器的侧面。这仅是电缆。 947 系列对流增强型皮拉尼控制器提供许多标准功能且易于使用。与压力成比例的模拟输出信号是标准的，并且可以从控制器的后部访问，那里是连接该电缆的地方。过程由两个独立的继电器设定点控制，这是该单通道控制器的标准配置。继电器可设置为在控制器设定点范围内的任何位置跳闸。所有操作控件都可以从控制器的前面板方便地访问，包括电源开关。从前面板调整设定点，同时查看易于读取的大显示屏。设定点激活通过红色 LED 指示灯显示。可以随时检查设定点，而不会中断过程控制。

MKS 真空计电缆，用于 345 或 317 连接至 937B 和 946 控制器，10 英尺。 (3m) 长。 MKS 零件号：103170006SH。 MKS 真空计信号电缆将 345 或 317 真空计传感器连接到 945、947、937B 和 946 控制器。它连接到 MKS 控制器的背面以及 MKS 345 或 317 Pirani 传感器的侧面。这仅是电缆。 947 系列对流增强型皮拉尼控制器提供许多标准功能且易于使用。与压力成比例的模拟输出信号是标准的，并且可以从控制器的后部访问，那里是连接该电缆的地方。过程由两个独立的继电器设定点控制，这是该单通道控制器的标准配置。继电器可设置为在控制器设定点范围内的任何位置跳闸。所有操作控件都可以从控制器的前面板方便地访问，包括电源开关。从前面板调整设定点，同时查看易于读取的大显示屏。设定点激活通过红色 LED 指示灯显示。可以随时检查设定点，而不会中断过程控制。

MKS Granville Phillips 275 Convectron 表真空压力测量传感器，1/8 外螺纹 NPT MKS Granville Phillips 零件号 275071 275 MKS Granville Phillips 对流压力测量表管传感器是行业标准的对流增强型皮拉尼压力表。 MKS Granville Phillips 275 可测量从大气压到 1x10-4 Torr 的真空压力，是粗加工和前级压力测量的理想选择。它提供可靠的快速响应测量，测量时间为毫秒，而不是热电偶型仪表的秒级。 MKS Granville Phillips 275 Convectron 真空计传感器的高精度和可重复性有助于确保过程一次又一次地在所需的压力下启动。然而，它们对被测气体的化学成分敏感，被称为相对压力测量方法，即它们根据气体介质的导热性能间接确定压力。 （照片中显示的 MKS Granville Phillips 375 Convectron 控制器可供使用，但不包含在标价中）。

MKS Granville Phillips 275 Convectron 表真空压力测量传感器，1/4 英寸内螺纹 4 VCR 接头 MKS Granville Phillips 零件号：275185 275 MKS Granville Phillips 对流压力测量表管传感器是行业标准对流增强型皮拉尼压力表。 MKS Granville Phillips 275 可测量从大气压到 1x10-4 Torr 的真空压力，是粗加工和前级压力测量的理想选择。它提供可靠的快速响应测量，测量时间为毫秒，而不是热电偶型仪表的秒数。 MKS Granville Phillips 275 Convectron 真空计传感器的高精度和可重复性有助于确保过程一次又一次地在所需的压力下启动。然而，它们对被测气体的化学成分敏感，被称为相对压力测量方法，即它们根据气体介质的导热性能间接确定压力。 （照片中显示的 MKS Granville Phillips 375 Convectron 控制器不可用，已替换为 MKS Granville Phillips 475）。

MKS Granville Phillips 275 Convectron 表真空压力测量传感器，扁平 2.75 英寸 MKS Granville Phillips 零件号：275238 275 MKS Granville Phillips 对流压力测量表管传感器是行业标准的对流增强型皮拉尼压力表。 MKS Granville Phillips 275 可测量从大气压到 1x10-4 Torr 的真空压力，是粗加工和前级压力测量的理想选择。它提供可靠的快速响应测量，测量时间为毫秒，而不是热电偶型仪表的秒数。 MKS Granville Phillips 275 Convectron 真空计传感器的高精度和可重复性有助于确保过程一次又一次地在所需的压力下启动。然而，它们对被测气体的化学成分敏感，被称为相对压力测量方法，即它们根据气体介质的导热性能间接确定压力。 （照片中显示的 MKS Granville Phillips 375 Convectron 控制器可供使用，但不包含在标价中）。

MKS Granville Phillips 275 Convectron 表真空压力测量传感器，Conflat 8 VCR 1/2 英寸法兰 MKS Granville Phillips 零件号：275282 275 MKS Granville Phillips 对流压力测量表管传感器是行业标准对流增强型皮拉尼压力表。 MKS Granville Phillips 275 可测量从大气压到 1x10-4 Torr 的真空压力，是粗加工和前级压力测量的理想选择。它提供可靠的快速响应测量，测量时间为毫秒，而不是热电偶型仪表的秒级。 MKS Granville Phillips 275 Convectron 真空计传感器的高精度和可重复性有助于确保过程一次又一次地在所需的压力下启动。然而，它们对被测气体的化学成分敏感，被称为相对压力测量方法，即它们根据气体介质的导热性能间接确定压力。 （MKS Granville Phillips 375 Convectron 控制器被 MKS Granville Phillips 475 取代，不包括在内）。

MKS Granville Phillips 275 Convectron 表真空压力测量传感器，Conflat 1.33 法兰 MKS Granville Phillips 零件号：275256 275 MKS Granville Phillips 对流压力测量表管传感器是行业标准的对流增强型皮拉尼压力表。 MKS Granville Phillips 275 可测量从大气压到 1x10-4 Torr 的真空压力，是粗加工和前级压力测量的理想选择。它提供可靠的快速响应测量，测量时间为毫秒，而不是热电偶型仪表的秒数。 MKS Granville Phillips 275 Convectron 真空计传感器的高精度和可重复性有助于确保过程一次又一次地在所需的压力下启动。然而，它们对被测气体的化学成分敏感，被称为相对压力测量方法，即它们根据气体介质的导热性能间接确定压力。 （照片中显示的 MKS Granville Phillips 375 Convectron 控制器可供使用，但不包含在标价中）。

MKS Granville Phillips 275 Convectron 表真空压力测量传感器，NW KF 16 法兰 MKS Granville Phillips 零件号：275203 275 MKS Granville Phillips 对流压力测量表管传感器是行业标准的对流增强型皮拉尼压力表。 MKS Granville Phillips 275 可测量从大气压到 1x10-4 Torr 的真空压力，是粗加工和前级压力测量的理想选择。它提供可靠的快速响应测量，测量时间为毫秒，而不是热电偶型仪表的秒级。 MKS Granville Phillips 275 Convectron 真空计传感器的高精度和可重复性有助于确保过程一次又一次地在所需的压力下启动。然而，它们对被测气体的化学成分敏感，被称为相对压力测量方法，即它们根据气体介质的导热性能间接确定压力。 （照片中显示的 MKS Granville Phillips 375 Convectron 控制器可供使用，但不包含在标价中）。

MKS Granville Phillips 275 Convectron 表真空压力测量传感器，NW KF 25 法兰 MKS Granville Phillips 零件号：275196 275 MKS Granville Phillips 对流压力测量表管传感器是行业标准的对流增强型皮拉尼压力表。 MKS Granville Phillips 275 可测量从大气压到 1x10-4 Torr 的真空压力，是粗加工和前级压力测量的理想选择。它提供可靠的快速响应测量，测量时间为毫秒，而不是热电偶型仪表的秒数。 MKS Granville Phillips 275 Convectron 真空计传感器的高精度和可重复性有助于确保过程一次又一次地在所需的压力下启动。然而，它们对被测气体的化学成分敏感，被称为相对压力测量方法，即它们根据气体介质的导热性能间接确定压力。 （照片中显示的 MKS Granville Phillips 375 Convectron 控制器可供使用，但不包含在标价中）。

MKS Granville Phillips 275 Convectron 表真空压力测量传感器，NW KF 40 法兰 MKS Granville Phillips 零件号：275316 275 MKS Granville Phillips 对流压力测量表管传感器是行业标准的对流增强型皮拉尼压力表。 MKS Granville Phillips 275 可测量从大气压到 1x10-4 Torr 的真空压力，是粗加工和前级压力测量的理想选择。它提供可靠的快速响应测量，测量时间为毫秒，而不是热电偶型仪表的秒数。 MKS Granville Phillips 275 Convectron 真空计传感器的高精度和可重复性有助于确保过程一次又一次地在所需的压力下启动。然而，它们对被测气体的化学成分敏感，被称为相对压力测量方法，即它们根据气体介质的导热性能间接确定压力。 （照片中显示的 MKS Granville Phillips 375 Convectron 控制器可供使用，但不包含在标价中）。

MKS 真空计电缆将 937B 控制器连接到 GP275 真空计，长 10 英尺 (3m)。 MKS 零件号：100016980。MKS 真空计信号电缆将 937B 控制器连接到 GP275 真空计。它连接到 MKS 控制器的背面和 GP275 真空计的侧面。这仅是电缆。 937B 系列数字组合真空计控制器可同时操作多达六个真空压力传感器。这种高度灵活的真空计控制器支持多种传感器技术，包括冷阴极、热阴极、标准皮拉尼、对流皮拉尼、Baratron® 电容压力计和绝对压电传感器，测量范围从超高真空到高于大气压。背光 LCD 显示屏、直观的菜单和简单的按钮前面板使 937B 的设置变得更加容易。 937B 允许在每个传感器卡插槽中使用任何传感器卡。 937B 最多可配置三个热阴极或冷阴极型仪表，或三个双传感器卡，最多可连接六个仪表。

MKS 真空计电缆将 937B 控制器连接到 GP275 真空计，长 25 英尺 (7.5m)。 MKS 零件号：100016981。MKS 真空计信号电缆将 937B 控制器连接到 GP275 真空计。它连接到 MKS 控制器的背面和 GP275 真空计的侧面。这仅是电缆。 937B 系列数字组合真空计控制器可同时操作多达六个真空压力传感器。这种高度灵活的真空计控制器支持多种传感器技术，包括冷阴极、热阴极、标准皮拉尼、对流皮拉尼、Baratron® 电容压力计和绝对压电传感器，测量范围从超高真空到高于大气压。背光 LCD 显示屏、直观的菜单和简单的按钮前面板使 937B 的设置变得更加容易。 937B 允许在每个传感器卡插槽中使用任何传感器卡。 937B 最多可配置三个热阴极或冷阴极型仪表，或三个双传感器卡，最多可连接六个仪表。

MKS 真空传感器卡冷阴极，适用于 937B 和 946 系列控制器。 MKS 零件号：100018446。MKS 真空传感器卡冷阴极与 937B 和 946 真空系统控制器配合使用。这些卡用于设计用于控制和显示任何流量传感器的控制器。流量设定点可以通过前面板控制装置或通过后面板模拟接口远程调节。 946 和 937B 真空系统控制器可同时读取和控制多达 6 个传感器和仪表。

MKS HPS® 423 I-Mag® 传感器冷阴极真空计 KF25、NW25，与 MKS 943 冷阴极真空控制器兼容。 MKS 零件号：104230004 423 I-Mag® 传感器采用倒置磁控管设计，可在比传统潘宁冷阴极传感器低得多的压力下工作，使用适当的控制器可低至 10-11 Torr。这种增加的压力范围使 HPS® 冷阴极传感器非常适合 UHV 使用。 HPS® 冷阴极传感器的一个独特设计特点是用于离子收集的第二个馈通。在普通的单馈通设计中，阳极和接地之间的任何电流泄漏都会导致压力测量误差。在双馈通设计中，只有来自阴极的离子电流才有助于测量读数，使其成为过程监控的理想选择。 423 I-Mag® 传感器不会烧坏灯丝，因此不会被突然涌入的空气损坏，并且能够抵抗振动损坏。此外，无需调整发射电流或对仪表进行脱气，从而缩短了对压力变化的响应时间。如果需要烘烤，可以拆下磁铁和传感器连接器，并将传感器烘烤至 400°C。这只是一个冷阴极传感器，该装置的 MKS 信号电缆和 MKS 943 控制器在本网站上单独出售。完整的规格手册和操作手册可在下面以 PDF 格式下载。

MKS HPS 423 I-Mag 传感器冷阴极真空计 Conflat 2.75 入口。 MKS 零件号：104230002。（与 MKS 943 冷阴极真空控制器兼容）423 I-Mag 传感器采用倒置磁控管设计，可在比传统 Penning 冷阴极传感器低得多的压力下工作，低至 10-11 Torr正确的控制器。这种增加的压力范围使得 HPS 冷阴极传感器非常适合 UHV 使用。 HPS 冷阴极传感器的一个独特设计特点是用于离子收集的第二个馈通。在普通的单馈通设计中，阳极和接地之间的任何电流泄漏都会导致压力测量误差。在双馈通设计中，只有来自阴极的离子电流才有助于测量读数，使其成为过程监控的理想选择。 423 I-Mag 传感器不会烧坏灯丝，因此不会因突然涌入的空气而损坏，并且能够抵抗振动损坏。此外，无需调整发射电流或对仪表进行脱气，从而缩短了对压力变化的响应时间。如果需要烘烤，可以拆下磁铁和传感器连接器，并将传感器烘烤至 400°C。这是一款全新的冷阴极传感器，仅该装置的 MKS 信号电缆和 MKS 943 控制器在本网站上单独出售。完整的规格手册和操作手册可在下面以 PDF 格式下载。

MKS 真空计电缆将 946 控制器连接到 423 I-Mag® 冷阴极传感器，长 10 英尺 (3m)。 MKS 零件号：100016295。MKS 压力计电缆将 946 控制器连接到 423 I-Mag® 冷阴极传感器。这只是电缆。 937B 系列数字组合真空计控制器可同时操作多达六个真空压力传感器。这种高度灵活的真空计控制器支持多种传感器技术，包括冷阴极、热阴极、标准皮拉尼、对流皮拉尼、Baratron® 电容压力计和绝对压电传感器，测量范围从超高真空到高于大气压。背光 LCD 显示屏、直观的菜单和简单的按钮前面板使 937B 的设置变得更加容易。 937B 允许在每个传感器卡插槽中使用任何传感器卡。 937B 最多可配置三个热阴极或冷阴极型仪表，或三个双传感器卡，最多可连接六个仪表。

MKS 真空计电缆将 946 控制器连接到 423 I-Mag 冷阴极传感器，长 25 英尺 (7.5m)。 MKS 零件号：100016296。MKS 压力计电缆将 946 控制器连接到 423 I-Mag 冷阴极传感器。这仅是电缆。 937B 系列数字组合真空计控制器可同时操作多达六个真空压力传感器。这种高度灵活的真空计控制器支持多种传感器技术，包括冷阴极、热阴极、标准皮拉尼、对流皮拉尼、Baratron® 电容压力计和绝对压电传感器，测量范围从超高真空到高于大气压。背光 LCD 显示屏、直观的菜单和简单的按钮前面板使 937B 的设置变得更加容易。 937B 允许在每个传感器卡插槽中使用任何传感器卡。 937B 最多可配置三个热阴极或冷阴极型仪表，或三个双传感器卡，最多可连接六个仪表。

MKS 431 冷阴极真空传感器，1x10-11 至 1x10-2 Torr，CF-2.75 英寸法兰接头。 MKS 零件号：104310002。MKS 431 冷阴极真空传感器具有 1x10-11 至 1x10-2 Torr 真空测量范围、高工作温度和 2.75 英寸尺寸的 CF 法兰接头。它基于气体的电离概率，电离是电子高压放电的结果。这些冷阴极压力真空传感器基于倒置磁控管设计，可扩大测量范围。用于离子收集的双馈通是一个独特的功能，使压力读数比其他冷阴极真空和压力传感器更准确。该网站上提供了该冷阴极真空传感器的信号电缆。

MKS 压力计电缆将 937B 或 946 控制器连接到 431 I-Mag® 冷阴极传感器，长 10 英尺 (3m)。 MKS 零件号：100016217。MKS 压力计电缆将 937B 或 946 控制器连接到 431 I-Mag® 冷阴极传感器。这仅是电缆。 937B 系列数字组合真空计控制器可同时操作多达六个真空压力传感器。这种高度灵活的真空计控制器支持多种传感器技术，包括冷阴极、热阴极、标准皮拉尼、对流皮拉尼、Baratron® 电容压力计和绝对压电传感器，测量范围从超高真空到高于大气压。背光 LCD 显示屏、直观的菜单和简单的按钮前面板使 937B 的设置变得更加容易。 937B 允许在每个传感器卡插槽中使用任何传感器卡。 937B 最多可配置三个热阴极或冷阴极型仪表，或三个双传感器卡，最多可连接六个仪表。

MKS 压力计电缆将 937B 或 946 控制器连接到 431 I-Mag® 冷阴极传感器，长 25 英尺 (7.5m)。 MKS 零件号：100016218。MKS 压力计电缆将 937B 或 946 控制器连接到 431 I-Mag® 冷阴极传感器。这仅是电缆。 937B 系列数字组合真空计控制器可同时操作多达六个真空压力传感器。这种高度灵活的真空计控制器支持多种传感器技术，包括冷阴极、热阴极、标准皮拉尼、对流皮拉尼、Baratron® 电容压力计和绝对压电传感器，测量范围从超高真空到高于大气压。背光 LCD 显示屏、直观的菜单和简单的按钮前面板使 937B 的设置变得更加容易。 937B 允许在每个传感器卡插槽中使用任何传感器卡。 937B 最多可配置三个热阴极或冷阴极型仪表，或三个双传感器卡，最多可连接六个仪表。

MKS 真空传感器卡热阴极，适用于 937B 和 946 系列控制器。 MKS 零件号：100015641。MKS 真空传感器卡冷阴极与 937B 和 946 真空系统控制器配合使用。这些卡用于设计用于控制和显示任何流量传感器的控制器。流量设定点可以通过前面板控制装置或通过后面板模拟接口远程调节。 946 和 937B 真空系统控制器可同时读取和控制多达 6 个传感器和仪表。

MKS 热阴极真空传感器裸管，铱丝，适用于 1x10-2 至 1x10-11 Torr，CF-2.75 法兰接头。 MKS 零件号：100006842。MKS 裸管真空传感器具有适用于 1x10-2 至 1x10-11 Torr 真空测量范围的氧化钇涂层铱丝和 2.75 英寸 CF 法兰接头。这种 Bayard-Alpert 型电离真空传感器使用位于网格中心的细线收集器。由于其面积较小，很少有 X 射线照射到收集器上，并且真空计可以测量非常低的压力。由于管的传感部分位于真空系统内并承受系统真实压力，因此裸管可提供代表性的压力测量，并且比玻璃外壳传感器对压力变化的响应更快。该网站上提供了该冷阴极真空传感器的信号电缆。

MKS 热阴极真空传感器裸管，钨丝，适用于 1x10-2 至 1x10-11 Torr，CF-2.75 法兰接头。 MKS 零件号：100005980。MKS 裸管真空传感器具有适用于 1x10-2 至 1x10-11 Torr 真空测量范围的钨丝和 2.75 英寸 CF 法兰接头。这种 Bayard-Alpert 型电离真空传感器使用位于网格中心的细线收集器。由于其面积较小，很少有 X 射线照射到收集器上，并且真空计可以测量非常低的压力。由于管的传感部分位于真空系统内并承受系统真实压力，因此裸管可提供代表性的压力测量，并且比玻璃外壳传感器对压力变化的响应更快。该网站上提供了该冷阴极真空传感器的信号电缆。

MKS 真空计电缆将 937B 或 946 连接到热阴极低功率裸线，长 10 英尺 (3m)。 MKS 零件号：100010909。MKS 压力计电缆将 937B 或 946 连接到热阴极低功率裸机。这仅是电缆。 937B 系列数字组合真空计控制器可同时操作多达六个真空压力传感器。这种高度灵活的真空计控制器支持多种传感器技术，包括冷阴极、热阴极、标准皮拉尼、对流皮拉尼、Baratron® 电容压力计和绝对压电传感器，测量范围从超高真空到高于大气压。背光 LCD 显示屏、直观的菜单和简单的按钮前面板使 937B 的设置变得更加容易。 937B 允许在每个传感器卡插槽中使用任何传感器卡。 937B 最多可配置三个热阴极或冷阴极型仪表，或三个双传感器卡，最多可连接六个仪表。

MKS 真空计电缆将 937B 或 946 连接到热阴极低功率裸线，长 25 英尺 (7.5m)。 MKS 零件号：100010910。MKS 压力计电缆将 937B 或 946 连接到热阴极低功率裸机。这仅是电缆。 937B 系列数字组合真空计控制器可同时操作多达六个真空压力传感器。这种高度灵活的真空计控制器支持多种传感器技术，包括冷阴极、热阴极、标准皮拉尼、对流皮拉尼、Baratron® 电容压力计和绝对压电传感器，测量范围从超高真空到高于大气压。背光 LCD 显示屏、直观的菜单和简单的按钮前面板使 937B 的设置变得更加容易。 937B 允许在每个传感器卡插槽中使用任何传感器卡。 937B 最多可配置三个热阴极或冷阴极型仪表，或三个双传感器卡，最多可连接六个仪表。

MKS T2BA 蝶形排气节流阀，KF40，“F 型密封”（挡板上的 Viton O 形圈），低功率电机（8 英寸磅），105°C，RS232，带 +/-15VDC 传感器电源（适用于 Baratron） ）。 MKS 零件号：T2BA01K320003V210025。 MKS T2BA 排气节流阀专为需要简单而先进的压力控制系统的应用而设计。 T2BA 将所有控制、通信和驱动电路集成在节流阀组件内，从而无需安装单独的压力控制电子模块。独特的基于模型的控制算法和高速运行驱动系统以最小的超调快速达到设定点，并确保可重复的工艺配方，无需操作员参与。产品特点：紧凑的压力控制系统 - 带有集成板载控制器电子设备的阀门 - 易于集成，无需额外的电缆或机架空间 提供高速配置（<250 毫秒。打开到关闭） - 更快的设定点和流量恢复和压力扰动 - 实现高工具吞吐量 可选的高扭矩驱动器 - 延长恶劣过程条件下的正常运行时间 带量程自动切换功能的双通道 Baratron® 传感器输入 - 支持宽动态压力控制范围 - 实现高压力控制精度 基于先进模型的压力控制算法- 最大限度地缩短达到设定点的时间 - 确保可重复的工艺配方，无需操作员参与 提供低电导软密封版本 - 即使在低流量下也支持高压工艺（Epi、RTP、SACVD 等） - 适用于“室内排气”或大气应用 为连接的 Baratron 电容压力计（某些型号可选）提供电源 T2BA 排气节流阀可以在两种主要模式下运行：挡板定位或压力控制，其中任何一种模式都可以由用户通过 I/O 接口激活。所有可调节的设置参数、运行时操作和诊断信息均可通过通信接口获得。 EtherCAT T2BA 与 EtherCAT 压力计完全兼容。模拟压力计需要网关。下游压力控制技术提供宽动态范围，适用于所有类型的泵，提供快速响应，并且能够耐受大多数废气。 “智能仪器”概念可以节省宝贵的系统空间，提高抗噪能力，并轻松访问时间关键的过程和校准信息以及板载诊断功能。 T2BA 采用直接驱动高速步进电机。阀门驱动器提供高分辨率压力控制。可选的高扭矩直驱电机可延长正常运行时间并延长预防性维护周期，这在要求严苛的流程中具有巨大优势，因为仅一小时的停机时间就可能导致数千美元的损失。 T2BA 还提供齿轮版本，可提供最大扭矩并能够在恶劣环境下长期运行。T2BA 阀门可选择使用 MKS 外部加热器加热至 200°C（需要正确选择密封材料）。 T2BA 提供独特的 MKS 低电导版本，可在大气应用中实现高速压力控制，包括排气压力控制、CVD 和 RTP，而无需依赖基于 O 形圈的设计来最大限度地减少阀门电导。提供基于编码器的位置反馈系统用于诊断目的。该阀门采用耐腐蚀 316 不锈钢制成，与大多数工艺气体兼容，并提供标准 ISO 法兰样式，孔径为 1" 至 4"（可根据定制提供其他尺寸）。提供的标准密封件是 Viton®，可以指定替代材料，以与各种工艺化学和/或加热应用兼容。

MKS T2BA 蝶形排气节流阀，ISO100，非密封（无 O 形圈；0.003 英寸径向间隙），低功率电机（8 英寸磅），105°C，氟橡胶（阀体密封），RS232，带 +/- 15VDC 传感器电源（用于 Baratron）。MKS 零件号：T2BA04N220303V210025。MKS T2BA 排气节流阀专为需要简单而先进的压力控制系统的应用而设计。T2BA 集成了所有控制、通信和驱动电路在节流阀组件内，从而无需安装单独的压力控制电子模块。独特的基于模型的控制算法和高速运行驱动系统以最小的超调快速设定点，并确保可重复的工艺配方，无需操作员参与产品特点：紧凑的压力控制系统 - 带有集成板载控制器电子设备的阀门 - 易于集成，无需额外的电缆或机架空间 提供高速配置（<250 毫秒。打开到关闭） - 更快的设定点和恢复流量和压力扰动 - 实现高工具吞吐量 可选的高扭矩驱动器 - 延长恶劣过程条件下的正常运行时间 带量程自动切换功能的双通道 Baratron® 传感器输入 - 支持宽动态压力控制范围 - 实现高压力控制精度 基于先进模型的压力控制算法 - 最大限度地缩短达到设定点的时间 - 确保可重复的工艺配方，无需操作员参与 提供低电导软密封版本 - 即使在低流量下也支持高压工艺（Epi、RTP、SACVD 等） - 适用于“室内排气”或大气应用 为连接的 Baratron 电容压力计（某些型号可选）提供电源 T2BA 排气节流阀可以在两种主要模式下运行：挡板定位或压力控制，其中任何一种模式都可以由用户通过 I/O 接口激活。所有可调节的设置参数、运行时操作和诊断信息均可通过通信接口获得。 EtherCAT T2BA 与 EtherCAT 压力计完全兼容。模拟压力计需要网关。下游压力控制技术提供宽动态范围，适用于所有类型的泵，提供快速响应，并且能够耐受大多数废气。 “智能仪器”概念可以节省宝贵的系统空间，提高抗噪能力，并轻松访问时间关键的过程和校准信息以及板载诊断功能。 T2BA 采用直接驱动高速步进电机。阀门驱动器提供高分辨率压力控制。可选的高扭矩直驱电机可延长正常运行时间并延长预防性维护周期，这在要求严苛的流程中具有巨大优势，因为仅一小时的停机时间就可能导致数千美元的损失。 T2BA 还提供齿轮版本，可提供最大扭矩并能够在恶劣环境下长期运行。T2BA 阀门可选择使用 MKS 外部加热器加热至 200°C（需要正确选择密封材料）。 T2BA 提供独特的 MKS 低电导版本，可在大气应用中实现高速压力控制，包括排气压力控制、CVD 和 RTP，而无需依赖基于 O 形圈的设计来最大限度地减少阀门电导。提供基于编码器的位置反馈系统用于诊断目的。该阀门采用耐腐蚀 316 不锈钢制成，与大多数工艺气体兼容，并提供标准 ISO 法兰样式，孔径为 1" 至 4"（可根据定制提供其他尺寸）。提供的标准密封件是 Viton®，可以指定替代材料，以与各种工艺化学和/或加热应用兼容。

MKS 248D 通用流量控制阀，2000 sccm，1/4 英寸世伟洛克卡套管接头，Viton 密封件。 MKS 零件号：0248D-02000SV 当提供控制电流时，这种通用改良电磁阀将调节气体流量。当与 MKS 控制器和适当的流量传感器一起使用时，248D 阀门可调节气体流量，同时保持准确和精确的压力或流量。应用包括流量控制、上游或下游压力控制。该型号 0248D-02000SV 阀门具有 2000 标准立方厘米/分钟 (sccm) 的全量程氮气、Swagelok® 1/4 英寸管接头和 Viton 密封件。通过关闭阀门的泄漏电导<1x10-5 scc/sec He.Swagelok-TM Swagelok Company

MKS 248D 通用流量控制阀，5000 sccm，1/4 英寸世伟洛克卡套管接头，Viton 密封件。 MKS 零件号：0248D-05000RV。当提供控制电流时，这种通用改进电磁阀将调节气体流量。当与 MKS 控制器和适当的流量传感器一起使用时，248D 阀门可调节气体流量，同时保持准确和精确的压力或流量。应用包括流量控制、上游或下游压力控制。该型号 0248D-05000RV 阀门具有 5,000 标准立方厘米/分钟 (sccm) 的全量程氮气、Swagelok® 1/4 英寸管接头和 Viton 密封件。通过关闭阀门的泄漏电导<1x10-5 scc/sec He.Swagelok-TM Swagelok Company

MKS 248D 通用流量控制阀，10000 sccm，1/4 英寸 Swagelok 卡套管接头，Viton 密封件。 MKS 零件号：0248D-10000SV。当提供控制电流时，这种通用改良电磁阀将调节气体流量。当与 MKS 控制器和适当的流量传感器一起使用时，248D 阀门可调节气体流量，同时保持准确和精确的压力或流量。应用包括流量控制、上游或下游压力控制。该型号 0248D-10000SV 阀门具有 10000 标准立方厘米/分钟 (sccm) 的全量程氮气、Swagelok® 1/4 英寸管接头和 Viton 密封件。通过关闭阀门的泄漏电导<1x10-5 scc/sec He.Swagelok-TM Swagelok Company

MKS 质量流量控制器电缆将 946 控制器连接到 248D 流量控制阀，长 10 英尺 (3m)。 MKS 零件号：100018192。MKS 质量流量控制器电缆将 946 控制器连接到 248D 流量控制阀。这仅是电缆。 MKS 946 是一款多功能半机架真空计测量和控制系统，它为多达六个不同的真空计和/或质量流量控制器提供电源和同步读数，并提供压力控制选项。电源/读数器设计用于控制和显示任何流量传感器。流量设定点可以通过前面板控制装置或通过后面板模拟接口远程调节。 946 真空系统控制器是一个六通道/顺序可选的单读数器。与质量流量控制器和质量流量读数器兼容。本网站提供 MKS 946 的信号电缆。

MKS 质量流量控制器电缆将 946 控制器连接到 248D 流量控制阀，长 25 英尺 (7.5m)。 MKS 零件号：100018192-25。 MKS 质量流量控制器电缆将 946 控制器连接到 248D 流量控制阀。这仅是电缆。 MKS 946 是一款多功能半机架真空计测量和控制系统，它为多达六个不同的真空计和/或质量流量控制器提供电源和同步读数，并提供压力控制选项。电源/读数器设计用于控制和显示任何流量传感器。流量设定点可以通过前面板控制装置或通过后面板模拟接口远程调节。 946 真空系统控制器是一个六通道/顺序可选的单读数器。与质量流量控制器和质量流量读数器兼容。本网站提供 MKS 946 的信号电缆。

适用于 937B 和 946 系列真空计控制器的 MKS 半机架安装套件。 MKS 零件号：RM-13。 MKS 半机架安装套件与 937B 和 946 系列真空计控制器兼容。这只是硬件。 MKS 946 是一款多功能半机架真空计测量和控制系统，它为多达六个不同的真空计和/或质量流量控制器提供电源和同步读数，并提供压力控制选项。电源/读数器设计用于控制和显示任何流量传感器。流量设定点可以通过前面板控制装置或通过后面板模拟接口远程调节。 946 真空系统控制器是一个六通道/顺序可选的单读数器。与质量流量控制器和质量流量读数器兼容。本网站提供 MKS 946 的信号电缆。