适用于 900 系列传感器的 MKS PDR900 真空计控制器 MKS PDR900 电源和读数装置是一款独立的单通道控制器，可与 900 系列数字真空传感器一起使用。该仪器为真空计控制器设定了新标准，可用作独立电源读出单元，或用作 OEM 应用中系统集成传感器的配置、校准和诊断工具。 PDR900 控制器是真空测量、数字传感器配置和高级系统诊断的理想解决方案。该控制器具有易于使用的菜单驱动用户界面，可指导用户设置和配置远程传感器参数。读出单元与传感器进行数字通信，消除了通过传感器电缆的模拟测量噪声耦合。该装置自动检测 900 系列传感器类型，并可与 RS232 和 RS485 传感器一起使用（与 909/909A 或 903 模拟传感器不兼容）。有关完整的规格和操作信息，请参阅下面的可用下载。

MKS HPS® 系列 901P Plus MicroPirani™ 压电负载锁真空传感器 ISO-KF NW 25、RS-232 PN 901P-21030MKS HPS® 系列 901P Plus 传感器具有组合传感器输出，可测量 1x10-5 至 1,000 Torr，用于监测泵 -下降周期。这一独特的专利传感器专为装载室环境而设计，901 Plus (901P) 可在一个紧凑的封装中取代多达三个传感器。 901P 通过集成 MicroPirani™ 和压电传感器技术，提供压力测量和大气切换功能。差动传感器可确保在变化的气压条件下准确感应大气压力，从而实现最佳的负载锁性能。同时需要电源和显示器的客户可以将 901P 与本网站上出售的 PDR900 系列控制器一起使用。有关完整的规格和操作信息，请参阅下面的可用下载。规格和价格如有变更，恕不另行通知。 HPS® 和 MicroPirani™ 是 MKS Instruments, Inc. 的注册商标。MKS HPS® 系列 901P Plus MicroPirani™ 压电负载锁真空传感器选项，部件号 (PN)：ISO-KF NW 16、RS-232PN 901P-11030ISO-KF NW 16、RS-485PN 901P-12030ISO-KF 西北 25、RS-232PN 901P-21030ISO-KF 西北 25、RS-485PN 901P-220304 VCR-F、RS-232PN 901P-410304 VCR-F、RS-485PN 901P-420308 VCR-F、RS-232PN 901P-510308 VCR-F、RS-485PN 901P-52030ISO-KF NW 16 外部、RS-232PN 901P-81030ISO-KF NW 16 外部、RS-485PN 901P-82030

MKS HPS 902 绝对压电传感器 KF16 RS-232，0.1 至 1,000 Torr PN 902B-11010 HPS® 系列 902 绝对压电传感器将基于 MEMS 的压电传感器的压力测量技术与集成电子器件相结合。 902 提供经济、绝对的测量，且与气体类型无关。该传感器的测量范围为 0.1 至 1,000 Torr 满量程，非常适合半导体制造、薄膜涂层、冷冻干燥、灯具和灯泡生产、医疗设备、汽车和航空航天等应用。需要电源和显示器的客户可以使用本网站上出售的带有 PDR900 系列控制器的 902。有关完整的规格和操作信息，请参阅下面的可用下载。规格和价格如有更改，恕不另行通知。 HPS® 和 MicroPirani™ 是注册商标 MKS Instruments, Inc.Options, (PN) 部件号和定价：MKS HPS® 系列 902 绝对压电传感器红色 LED 传感器显示屏，PN 902001，2009 价格 202 美元ISO-KF NW 16，RS- 485，PN 902-1112 2009 价格 576 美元ISO-KF NW 16，RS-232，PN 902-1113，2009 价格 563 美元ISO-KF NW 16，模拟 0-10V，PN 902-1105，2009 价格 5004 美元 VCR-F， RS-485，PN 902-1212 2009 年价格 $5764 VCR-F，RS-232，PN 902-1213 2009 年价格 $5764 VCR-F，模拟 0-10V，PN 902-1205，2009 年价格 $5128 VCR-F，RS-485 ，PN 902-1312 2009 价格 $5828 VCR-F，RS-232，PN 902-1313 2009 价格 $5828 VCR-F，模拟 0-10V，PN 902-1305 2009 价格 $519 所有价格如有变更，恕不另行通知。

MKS HPS® 系列 909AR 数字和模拟热阴极传感器，KF-40，RS-232 PN 909AR-51 HPS® 热阴极传感器为 Bayard-Alpert 型，采用位于网格中心的细线收集器。由于其面积较小，很少有 X 射线照射到收集器上；因此，该压力表可以测量非常低的压力。 909AR 传感器包括两根氧化钇涂层铱丝，可减少停机时间。氧化钇涂层铱可以抵抗高氧分压和暴露于大气中造成的损坏。管传感器在较低温度下运行，化学反应速率较低，并最大限度地减少热干扰。该传感器包括一个屏幕，可保护其免受大颗粒的影响。 909AR 系列包括 RS232 或 RS485 数字通信作为标准功能。数字通信允许通过主机实时进行所有调整和监控。为了进行额外的过程控制，909AR 具有继电器设定点。设定点压力、迟滞和方向均可通过数字端口进行调整和监控。 909AR 系列还具有模拟控制和模拟输出，具有 0 至 10 伏半对数输出，每十倍频 1 伏，以简化系统集成。同时需要电源和显示器的客户可以将 909AR 与本网站上出售的 PDR900 系列控制器一起使用。有关完整的规格和操作信息，请参阅下面的可用下载。规格和价格如有更改，恕不另行通知。 HPS® 和 MicroPirani™ 是 MKS Instruments, Inc. 的注册商标。选项，(PN) 部件号和定价：MKS HPS® 系列 909AR 数字和模拟热阴极传感器CF 1.33，RS-232，PN 909AR-11，2009 年价格 $1221CF 1.33，RS-485，PN 909AR-12，2009 价格 $1221CF 2.75，RS-232，PN 909AR-21，2009 价格 $1234CF 2.75，RS-485，PN 909AR-22，2009 价格 $1234KF 16，RS-232 ，PN 909AR-31，2009 价格 1202KF 16 美元，RS-485，PN 909AR-32，2009 价格 1202KF 25 美元，RS-232，PN 909AR-41，2009 价格 1214KF 25，RS-485，PN 909AR-42 ，2009 年价格 $1214KF 40，RS-232，PN 909AR-51，2009 年价格 $1221KF 40，RS-485，PN 909AR-52，2009 年价格 $1221 所有价格如有更改，恕不另行通知。

MKS HPS® 系列 910 DualTrans™ Micropirani™ 绝对压电传感器，KF16，RS485，PN 910-12030 910-12030 DualTrans™ MicroPirani™/Absolute 压电真空传感器专为宽范围压力测量应用而设计，尺寸为 NW16 ISO- KF 法兰接头。与传统热导率计相比，组合输出可提供显着更高的精度、稳定性、可重复性和更快的响应时间。 910 结合了两种压力测量技术，提供卓越的性能和功能。 910 提供 11 至 1500 Torr 范围内的独立于气体的绝对压力测量，其精度比热导率传感器更高。与传统的皮拉尼真空计不同，MicroPirani 中的传感器元件由一毫米见方的硅芯片制成，允许在非常小的体积内进行测量。由于采用了 MicroPirani 技术，910 可以读取低至 10-5 Torr 的压力，比标准 Pirani 传感器低二十个百分点。传感器设计最大限度地减少了对流的影响，因此 910 可以以任何方向安装，而不会影响精度。 Piezo 是一款绝对压力传感器，可提供直接压力读数，从而实现独立于气体的测量。压电传感器的测量范围为小于 1 Torr 至 1500 Torr。 910 具有 RS485 数字通信接口，用于设置传感器参数并提供实时压力测量。 910 还具有 1VDC/十倍频的模拟压力输出，可连接到外部模拟设备以进行压力读数或控制。其他模拟输出和曲线可以通过数字用户界面选择。 910 具有三个可用于过程控制的机械继电器，例如联锁隔离阀和真空泵。每个设定点均可分配给压电测量或组合的绝对 MicroPirani/压电测量。 910 紧凑的设计显着减少了真空计占用的空间。这对于系统设计者来说特别有吸引力，并且可以实现更紧凑的真空系统。

MKS HPS® 系列 910 DualTrans™ Micropirani 绝对压电传感器，KF16，RS232，PN 910-11 HPS® 系列 910 是一款双传感器传感器，将 Pirani 和 Piezo 的压力测量技术与集成电子控制电路相结合。传感器测量范围为 10-5 至 1,500 Torr。 Piezo 是一款直读式绝对压力传感器，可实现独立于气体的测量。该传感器具有独特的温度补偿功能，可在较宽的测量范围内实现高精度。 Piezo 的测量范围为 10-1 至 1,500 Torr。当压力低于 10-2 Torr 时，MicroPirani 会对 Piezo 执行自动调零功能。与传统的皮拉尼真空计不同，MicroPirani™ 中的元件由一毫米见方的硅芯片制成，允许在非常小的体积内进行测量。传统的皮拉尼传感器的测量范围为 10-3 至约 100 Torr，超过 10 Torr 时灵敏度会迅速下降。由于 MicroPirani™ 传感部分的尺寸非常小，因此其范围低至 10-5 Torr。该设计最大限度地减少了对流的影响，因此可以在任何位置进行操作，而不会影响精度，从而简化了安装。该传感器包括一个按钮调零控制，可在压力低于 10-5 Torr 时使用。 910 系列数字通信允许通过主机实时进行所有调整和监控。 910 包括 RS485 或 RS232 通信作为标准功能。 910 系列在公 15 针高密度 D-sub 连接器上提供 1 至 9 伏直流模拟输出信号。传感器输出在两个传感器之间进行平滑处理，并在 5 至 15 Torr 范围内从两个传感器读取数据。对于过程控制，910 具有三个独立的继电器设定点。设定点的特性可以通过数字端口进行设置、调整和监控。与所有热导率传感器一样，MicroPiraniTM 对气体类型敏感。压电测量与气体类型无关。 910 提供数字泄漏检测输出，可测量 Piezo 和 MicroPirani™ 之间的差异读数。这使其成为定位真空系统中的中度到细微泄漏的简单解决方案。需要电源和显示器的客户可以使用本网站上出售的带有 PDR900 系列控制器的 910 DualTrans。有关完整的规格和操作信息，请参阅下面的可用下载。规格和价格如有更改，恕不另行通知。 HPS® 和 MicroPirani™ 是注册商标 MKS Instruments, Inc.Options, (PN) 部件号和定价：全新 MKS HPS® 系列 910 DualTrans™ Micropirani 绝对压电传感器 PN 910-11ISO-KF NW 16、RS-232、PN 910-11, 2009 价格 $635ISO-KF NW 16, RS-485, PN 910-12, 2009 价格 $6354 VCR-F, RS-232, PN 910-41, 2009 价格 $6654 VCR-F, RS-485, PN 910-42, 2009 价格 $6658 VCR-F, RS-232, PN 910-51, 2009 价格 $6708 VCR-F, RS-485, PN 910-52, 2009 价格 $670 所有价格如有变更，恕不另行通知。

全新 MKS HPS® 系列 910 DualTrans™ Micropirani™ 绝对压电传感器，KF25，RS485，显示，无继电器，PN 910-21024 MKS 910-21024 DualTrans™ MicroPirani™/Absolute 压电真空传感器专为宽范围压力测量应用而设计并配有尺寸为 NW25 ISO-KF 的法兰接头。与传统热导率计相比，组合输出可提供显着更高的精度、稳定性、可重复性和更快的响应时间。 910 结合了两种压力测量技术，提供卓越的性能和功能。 910 提供 11 至 1500 Torr 范围内的独立于气体的绝对压力测量，其精度比热导率传感器更高。与传统的皮拉尼真空计不同，MicroPirani 中的传感器元件由一毫米见方的硅芯片制成，允许在非常小的体积内进行测量。由于采用了 MicroPirani 技术，910 可以读取低至 10-5 Torr 的压力，比标准 Pirani 传感器低二十个百分点。传感器设计最大限度地减少了对流的影响，因此 910 可以以任何方向安装，而不会影响精度。 Piezo 是一款绝对压力传感器，可提供直接压力读数，从而实现独立于气体的测量。压电传感器的测量范围为小于 1 Torr 至 1500 Torr。 910 具有 RS232 数字通信接口，用于设置传感器参数并提供实时压力测量。 910 还具有 1VDC/十倍频的模拟压力输出，可连接到外部模拟设备以进行压力读数或控制。其他模拟输出和曲线可以通过数字用户界面选择。 910 具有三个可用于过程控制的机械继电器，例如联锁隔离阀和真空泵。每个设定点均可分配给压电测量或组合的绝对 MicroPirani/压电测量。 910 紧凑的设计显着减少了真空计占用的空间。这对于系统设计者来说特别有吸引力，并且可以实现更紧凑的真空系统。注意：有关完整规格，请参阅下载旁边的 .pdf。

MKS HPS 925 MicroPirani 传感器 NW/KF 16、RS-232、10-5 至大气，带显示屏。 PN：925-11034 MKS 925 的压力测量范围更大，从 1x10-5 Torr 到大气压，比标准皮拉尼传感器低二十个百分点。 925 系列 MicroPirani™ 传感器是一款热导率计，在紧凑的封装中采用了 MEMS MicroPirani™ 传感器技术。 925 具有三个可选设定点继电器。凭借其扩展的范围，925 在某些应用中可以取代多个传感器。它具有 KF16 法兰 RS232/模拟、0-9VDC 1V/十进制、15 针 sub-D 公头和 3 个继电器。集成的触摸屏显示器可供用户配置；用户可以更改压力单位、方向，并可以访问设定点参数以及气体类型。显示屏还指示可用设定点继电器的状态。在高对比度显示屏上，距离 >5 米即可看到显示的读数。有关完整的规格和操作信息，请参阅下面的可用下载。有关完整的规格和操作信息，请参阅下面的可用下载。规格和价格如有变更，恕不另行通知。 HPS® 和 MicroPirani™ 是 MKS Instruments 的注册商标。选项和 (PN) 部件号：全新 MKS HPS® 系列 925 MicroPirani™ 传感器 KF16，RS232/模拟，0-9VDC 1V/十进制，9 针 sub-D 公头，1 个继电器设定点（925C 兼容）PN 925-11010 , 2009 KF16, RS232/模拟, 0-9VDC 1V/十位, 15 针 sub-D 公头, 无继电器 PN 925-11020, 2009 KF16, RS232/模拟, 0-9VDC 1V/十位, 15 针 sub-D 公头, 3 个继电器 PN 925-11030、2009 KF16、RS485/模拟、0-9VDC 1V/十位、15 针 sub-D 公头、无继电器 PN 925-12020、2009 KF16、RS485/模拟、0-9VDC 1V/十位、15针 sub-D 公头，3 个继电器 PN 925-12030，2009 KF25，RS232/模拟，0-9VDC 1V/十进制，15 针 sub-D 公头，无继电器 PN 925-21020，2009 KF25，RS232/模拟，0- 9VDC 1V/十位，15 针 sub-D 公头，3 个继电器 PN 925-21030，2009 KF25，RS485/模拟，0-9VDC 1V/十位，15 针 sub-D 公头，无继电器 PN 925-22020，2009 KF25， RS485/模拟，0-9VDC 1V/十进制，15 针 sub-D 公头，3 个继电器 PN 925-22030，2009 1/8 英寸 NPT，RS232/模拟，0-9VDC 1V/十进制，9 针 sub-D 公头， 1 个继电器设定点（925C 兼容） PN 925-31010，2009 1/8 英寸 NPT，RS232/模拟，0-9VDC 1V/十进制，15 针 sub-D 公头，无继电器 PN 925-31020，2009 1/8 英寸NPT，RS232/模拟，0-9VDC 1V/十位，15 针 sub-D 公头，3 个继电器 PN 925-31030，2009 1/8 英寸 NPT，RS485/模拟，0-9VDC 1V/十位，15 针 sub-D公头，无继电器 PN 925-32020，2009 1/8 英寸 NPT，RS485/模拟，0-9VDC 1V/十进制，15 针 sub-D 公头，无继电器 PN 925-32030，2009 VCR4，RS232/模拟，0- 9VDC 1V/十进制，9 针 sub-D 公头，1 个继电器设定点 (925C) 兼容 PN 925-41010，2009 VCR4，RS232/模拟，0-9VDC 1V/十进制，15 针 sub-D 公头，无继电器 PN 925 -41020、2009 VCR4、RS232/模拟、0-9VDC 1V/十进制、15 针 sub-D 公头、3 个继电器 PN 925-41030、2009 VCR4、RS485/模拟、0-9VDC 1V/十进制、15 针 sub-D公头，无继电器 PN 925-42020, 2009 VCR4，RS485/模拟，0-9VDC 1V/十进制，15 针 sub-D 公头，3 个继电器 PN 925-42030, 2009 VCR8，RS232/模拟，0-9VDC 1V/十进制, 15 针 sub-D 公头, 无继电器 PN 925-51020, 2009 VCR8 ,RS232/模拟, 0-9VDC 1V/十进制, 15 针 sub-D 公头, 3 个继电器 PN 925-51030, 2009 VCR8 ,RS485/模拟, 0-9VDC 1V/十进制，15 针 sub-D 公头，无继电器 PN 925-52020, 2009 VCR8，RS485/模拟，0-9VDC 1V/十进制，15 针 sub-D 公头，3 个继电器 PN 925-52030, 2009

MKS HPS 925 MicroPirani 传感器 NW/KF 25、RS-232、10-5 至大气，带显示屏。 PN：925-21034 MKS 925 的压力测量范围更大，从 1x10-5 Torr 到大气压，比标准皮拉尼传感器低二十个百分点。 925 系列 MicroPirani™ 传感器是一款热导计，在紧凑的封装中采用了 MEMS MicroPirani™ 传感器技术。 925 具有三个可选设定点继电器。凭借其扩展的范围，925 在某些应用中可以取代多个传感器。它具有 KF25 法兰 RS232/模拟、0-9VDC 1V/十进制、15 针 sub-D 公头和 3 个继电器。集成的触摸屏显示器可供用户配置；用户可以更改压力单位、方向，并可以访问设定点参数以及气体类型。显示屏还指示可用设定点继电器的状态。在高对比度显示屏上，距离 >5 米即可看到显示的读数。有关完整的规格和操作信息，请参阅侧面的可用下载。有关完整的规格和操作信息，请参阅侧面的可用下载。规格和价格如有变更，恕不另行通知。 HPS® 和 MicroPirani™ 是 MKS Instruments 的注册商标。选项和 (PN) 部件号：全新 MKS HPS® 系列 925 MicroPirani™ 传感器 KF16，RS232/模拟，0-9VDC 1V/十进制，9 针 sub-D 公头，1 个继电器设定点（925C 兼容）PN 925-11010 , 2009 KF16, RS232/模拟, 0-9VDC 1V/十位, 15 针 sub-D 公头, 无继电器 PN 925-11020, 2009 KF16, RS232/模拟, 0-9VDC 1V/十位, 15 针 sub-D 公头, 3 个继电器 PN 925-11030、2009 KF16、RS485/模拟、0-9VDC 1V/十位、15 针 sub-D 公头、无继电器 PN 925-12020、2009 KF16、RS485/模拟、0-9VDC 1V/十位、15针 sub-D 公头，3 个继电器 PN 925-12030，2009 KF25，RS232/模拟，0-9VDC 1V/十进制，15 针 sub-D 公头，无继电器 PN 925-21020，2009 KF25，RS232/模拟，0- 9VDC 1V/十位，15 针 sub-D 公头，3 个继电器 PN 925-21030，2009 KF25，RS485/模拟，0-9VDC 1V/十位，15 针 sub-D 公头，无继电器 PN 925-22020，2009 KF25， RS485/模拟，0-9VDC 1V/十进制，15 针 sub-D 公头，3 个继电器 PN 925-22030，2009 1/8 英寸 NPT，RS232/模拟，0-9VDC 1V/十进制，9 针 sub-D 公头， 1 个继电器设定点（925C 兼容） PN 925-31010，2009 1/8 英寸 NPT，RS232/模拟，0-9VDC 1V/十进制，15 针 sub-D 公头，无继电器 PN 925-31020，2009 1/8 英寸NPT，RS232/模拟，0-9VDC 1V/十进制，15 针 sub-D 公头，3 个继电器 PN 925-31030，2009 1/8 英寸 NPT，RS485/模拟，0-9VDC 1V/十进制，15 针 sub-D公头，无继电器 PN 925-32020，2009 1/8 英寸 NPT，RS485/模拟，0-9VDC 1V/十进制，15 针 sub-D 公头，无继电器 PN 925-32030，2009 VCR4，RS232/模拟，0- 9VDC 1V/十进制，9 针 sub-D 公头，1 个继电器设定点 (925C) 兼容 PN 925-41010，2009 VCR4，RS232/模拟，0-9VDC 1V/十进制，15 针 sub-D 公头，无继电器 PN 925 -41020、2009 VCR4、RS232/模拟、0-9VDC 1V/十进制、15 针 sub-D 公头、3 个继电器 PN 925-41030、2009 VCR4、RS485/模拟、0-9VDC 1V/十进制、15 针 sub-D公头，无继电器 PN 925-42020, 2009 VCR4，RS485/模拟，0-9VDC 1V/十进制，15 针 sub-D 公头，3 个继电器 PN 925-42030, 2009 VCR8，RS232/模拟，0-9VDC 1V/十进制, 15 针 sub-D 公头, 无继电器 PN 925-51020, 2009 VCR8 ,RS232/模拟, 0-9VDC 1V/十进制, 15 针 sub-D 公头, 3 个继电器 PN 925-51030, 2009 VCR8 ,RS485/模拟, 0-9VDC 1V/十进制，15 针 sub-D 公头，无继电器 PN 925-52020, 2009 VCR8，RS485/模拟，0-9VDC 1V/十进制，15 针 sub-D 公头，3 个继电器 PN 925-52030, 2009

适用于 MKS 910 和 925 MicroPirani 传感器的理想真空交流电源适配器，将 120 VAC 转换为 12 VDC，15 针连接，6 英尺 (1.8 m) 电缆长度。这些理想真空交流通用电源壁式变压器适用于 MKS Granville-Phillips® 275 Mini-Convectron® 模块化真空压力传感器或带内置显示屏的 MKS Granville-Phillips 900 系列传感器。这些电缆将 50-60 Hz、120-240 VAC 转换为 12 VDC，并通过 15 针连接进行连接。电缆长度为 6 英尺 (1.8 m)。

MKS HPS® 系列 925 MicroPirani™ 传感器 PN 925-22020MKS 925 的压力测量范围更大，从 1x10-5 Torr 到大气压，比标准皮拉尼传感器低二十个百分点。 925 系列 MicroPirani™ 传感器是一款热导计，在紧凑的封装中采用了 MEMS MicroPirani™ 传感器技术。 925 具有三个可选设定点继电器。凭借其扩展的范围，925 在某些应用中可以取代多个传感器。它具有 KF25 法兰 RS485/模拟、0-9VDC 1V/十进制、15 针 sub-D 公头和常开继电器。有关完整的规格和操作信息，请参阅下面的可用下载。规格和价格可能会发生变化；请致电 (505)872-0037 联系我们以获取最新的定价信息。 HPS® 和 MicroPirani™ 是 MKS Instruments 的注册商标。有关完整规格和操作信息，请参阅下面的可用下载。选项、(PN) 部件号和定价：全新 MKS HPS® 系列 925 MicroPirani™ 传感器 KF16、RS232/模拟、0- 9VDC 1V/十位，9 针 sub-D 公头，1 个继电器设定点（925C 兼容）PN 925-11010，2009 价格 $505KF16，RS232/模拟，0-9VDC 1V/十位，15 针 sub-D 公头，无继电器PN 925-11020, 2009 价格 $505KF16，RS232/模拟，0-9VDC 1V/十进制，15 针 Sub-D 公头，3 个继电器PN 925-11030, 2009 价格 $540KF16，RS485/模拟，0-9VDC 1V/十进制，15引脚 sub-D 公头，无继电器PN 925-12020，2009 价格 $540KF16，RS485/模拟，0-9VDC 1V/十年，15 引脚 sub-D 公头，3 个继电器PN 925-12030，2009 价格 $540KF25，RS232/模拟， 0-9VDC 1V/十进制，15 针 sub-D 公头，无继电器PN 925-21020, 2009 价格 $540KF25，RS232/模拟，0-9VDC 1V/十进制，15 针 sub-D 公头，3 个继电器PN 925-21030, 2009价格 $560KF25，RS485/模拟，0-9VDC 1V/十进制，15 针 sub-D 公头，无继电器PN 925-22020，2009 价格 $540KF25，RS485/模拟，0-9VDC 1V/十进制，15 针 sub-D 公头，3 个继电器PN 925-22030，2009 价格 $5801/8 英寸 NPT，RS232/模拟，0-9VDC 1V/十年，9 针 Sub-D 公头，1 个继电器设定点（兼容 925C）PN 925-31010，2009 年价格 $5651/ 8 英寸 NPT，RS232/模拟，0-9VDC 1V/十进制，15 针 sub-D 公头，无继电器PN 925-31020，2009 价格 $5451/8 英寸 NPT，RS232/模拟，0-9VDC 1V/十进制，15 针 sub -D 公头，3 个继电器PN 925-31030, 2009 价格 $5851/8 英寸 NPT，RS485/模拟，0-9VDC 1V/十进制，15 针 sub-D 公头，无继电器PN 925-32020, 2009 价格 $5451/8 英寸 NPT， RS485/模拟，0-9VDC 1V/十进制，15 针 sub-D 公头，无继电器PN 925-32030, 2009 价格 $585VCR4 ,RS232/模拟，0-9VDC 1V/十进制，9 针 sub-D 公头，1 个继电器组点 (925C) 兼容PN 925-41010, 2009 价格 $580VCR4，RS232/模拟，0-9VDC 1V/十年，15 针 sub-D 公头，无继电器PN 925-41020, 2009 价格 $560VCR4，RS232/模拟，0-9VDC 1V/十位，15 针 sub-D 公头，3 个继电器PN 925-41030, 2009 价格 $600VCR4 ,RS485/模拟，0-9VDC 1V/十位，15 针 sub-D 公头，无继电器PN 925-42020, 2009 价格 $560VCR4 ,RS485/模拟, 0-9VDC 1V/十进制, 15 针 sub-D 公头, 3 个继电器PN 925-42030, 2009 价格 $600VCR8 ,RS232/模拟, 0-9VDC 1V/十进制, 15 针 sub-D 公头, 无继电器PN 925-51020, 2009 价格 $565VCR8，RS232/模拟，0-9VDC 1V/十进制，15 针 sub-D 公头，3 个继电器PN 925-51030, 2009 价格 $605VCR8，RS485/模拟，0-9VDC 1V/十进制，15针 sub-D 公头，无继电器PN 925-52020, 2009 价格 $565VCR8，RS485/模拟，0-9VDC 1V/十年，15 针 sub-D 公头，3 个继电器PN 925-52030, 2009 价格 $605 价格可能会有变动；请致电 (505)872-0037 联系我们以获取最新的定价信息。

MKS HPS® 系列 925 MicroPirani™ 传感器 PN 925-21030MKS 925 的压力测量范围更大，从 1x10-5 Torr 到大气压，比标准皮拉尼传感器低二十个百分点。 925 系列 MicroPirani™ 传感器是一款热导率计，在紧凑的封装中采用了 MEMS MicroPirani™ 传感器技术。 925 具有三个可选设定点继电器。凭借其扩展的范围，925 在某些应用中可以取代多个传感器。它具有 KF25 法兰 RS232/模拟、0-9VDC 1V/十进制、15 针 sub-D 公头和 3 个继电器。有关完整的规格和操作信息，请参阅下面的可用下载。规格和价格如有更改，恕不另行通知。 HPS® 和 MicroPirani™ 是 MKS Instruments 的注册商标。有关完整规格和操作信息，请参阅下面的可用下载。规格和价格如有更改，恕不另行通知。 HPS® 和 MicroPirani™ 是 MKS Instruments 的注册商标。选项、(PN) 部件号和定价：全新 MKS HPS® 系列 925 MicroPirani™ 传感器 KF16，RS232/模拟，0-9VDC 1V/十进制，9 针 sub-D 公头, 1 个继电器设定点（925C 兼容）PN 925-11010, 2009 价格 $505KF16，RS232/模拟，0-9VDC 1V/十进制，15 针 sub-D 公头，无继电器PN 925-11020, 2009 价格 $505KF16，RS232/模拟，0-9VDC 1V/十进制，15 针 sub-D 公头，3 个继电器PN 925-11030，2009 价格 $540KF16，RS485/模拟，0-9VDC 1V/十进制，15 针 sub-D 公头，无继电器PN 925-12020 , 2009 价格 $540KF16, RS485/模拟, 0-9VDC 1V/十进制, 15 针 sub-D 公头, 3 个继电器PN 925-12030, 2009 价格 $540KF25, RS232/模拟, 0-9VDC 1V/十进制, 15 针 sub- D 公头，无继电器PN 925-21020, 2009 价格 $540KF25，RS232/模拟，0-9VDC 1V/十年，15 针 sub-D 公头，3 个继电器PN 925-21030, 2009 价格 $560KF25，RS485/模拟，0-9VDC 1V/十位，15 针 sub-D 公头，无继电器PN 925-22020，2009 价格 $540KF25，RS485/模拟，0-9VDC 1V/十位，15 针 sub-D 公头，3 个继电器PN 925-22030，2009 价格 $5801/ 8 英寸 NPT，RS232/模拟，0-9VDC 1V/十年，9 针 sub-D 公头，1 个继电器设定点（925C 兼容）PN 925-31010，2009 价格 $5651/8 英寸 NPT，RS232/模拟，0-9VDC 1V/十位，15 针 sub-D 公头，无继电器PN 925-31020, 2009 价格 $5451/8 英寸 NPT，RS232/模拟，0-9VDC 1V/十位，15 针 sub-D 公头，3 个继电器PN 925-31030, 2009价格 $5851/8 英寸 NPT，RS485/模拟，0-9VDC 1V/十进制，15 针 Sub-D 公头，无继电器PN 925-32020, 2009 价格 $5451/8 英寸 NPT，RS485/模拟，0-9VDC 1V/十进制， 15 针 sub-D 公头，无继电器PN 925-32030, 2009 价格 $585VCR4，RS232/模拟，0-9VDC 1V/十进制，9 针 sub-D 公头，1 个继电器设定点 (925C) 兼容PN 925-41010, 2009 价格$580VCR4，RS232/模拟，0-9VDC 1V/十进制，15 针 sub-D 公头，无继电器PN 925-41020，2009 价格 $560VCR4，RS232/模拟，0-9VDC 1V/十进制，15 针 sub-D 公头， 3 个继电器PN 925-41030, 2009 价格 $600VCR4，RS485/模拟，0-9VDC 1V/十进制，15 针 Sub-D 公头，无继电器PN 925-42020, 2009 价格 $560VCR4，RS485/模拟，0-9VDC 1V/十进制, 15 针 sub-D 公头, 3 个继电器PN 925-42030, 2009 价格 $600VCR8 ,RS232/模拟, 0-9VDC 1V/十倍, 15 针 sub-D 公头, 无继电器PN 925-51020, 2009 价格 $565VCR8 ,RS232/模拟，0-9VDC 1V/十进制，15 针 sub-D 公头，3 个继电器PN 925-51030，2009 价格 $605VCR8，RS485/模拟，0-9VDC 1V/十进制，15 针 sub-D 公头，无继电器PN 925-52020 ，2009 年价格 $565VCR8，RS485/模拟，0-9VDC 1V/十年，15 针 Sub-D 公头，3 个继电器PN 925-52030，2009 年价格 $605 所有价格如有更改，恕不另行通知。

MKS HPS 971 UniMag 传感器 NW25、RS232、KF 25、10-3 至 10-8 Torr SubD 公头无继电器，PN 971B-21030971 UniMag 传感器提供从 1x10-8Torr 到 5x10-3Torr 的测量范围，基于冷阴极倒置磁控管传感器技术。 971 是一种经济高效的基础压力测量和控制解决方案。 971 系列 UniMag 具有 RS232 或 RS485 数字通信接口，用于设置传感器参数并提供实时压力测量。 971 UniMag 传感器还具有 0.5VDC/十进制的模拟压力输出，可连接到外部模拟设备以进行压力读数或控制。其他模拟输出和曲线可以通过数字用户界面进行选择。971 UniMag 系列最多具有三个机械继电器，可用于过程控制，例如联锁阀门或泵。 971 UniMag 传感器具有用户可更换的冷阴极阳极模块，无需拆卸传感器电子设备即可轻松维护。需要电源和显示器的客户可以使用本网站上出售的带有 PDR900 系列控制器的 971 UniMag。有关完整的规格和操作信息，请参阅下面的可用下载。规格和价格如有更改，恕不另行通知。 HPS® 和 MicroPirani™ 是注册商标 MKS Instruments, Inc. 选项、(PN) 部件号和定价：全新 MKS HPS® 系列 971 UniMagTransducerNW25 KF、RS-232、SUBD 15pinHD 公头无继电器PN 971-21020，2009 年价格 7102 美元3/4" CF, RS-232, SUBD 15pinHD 公头-无继电器PN 971-71020, 2009 价格 $815NW40 KF, RS-232, SUBD 15pinHD 公头-无继电器PN 971-91020, 2009 价格 $755NW25 KF, RS-485, SUBD 15pinHD 公头无继电器PN 971-22020, 2009 Price $7452 3/4" CF, RS-485, SUBD 15pinHD 公头无继电器PN 971-72020, 2009 Price $815NW40 KF, RS-485, SUBD 15pinHD 公头无继电器PN 971 -92020, 2009 价格 $755NW25 KF, RS-232, SUBD 15pinHD 公头 3 继电器PN 971-21030, 2009 价格 $7852 3/4" CF, RS-232, SUBD 15pinHD 公头 3 继电器PN 971-71030, 2009 价格 $855NW40 KF, RS-232, SUBD 15pinHD 公头 3 继电器PN 971-91030, 2009 价格 $795NW25 KF, RS-485, SUBD 15pinHD 公头 3 继电器PN 971-22030, 2009 价格 $7952 3/4" CF, RS-485, SUBD 15pinHD 公头 3 继电器PN 971-72030, 2009 价格 $855NW40 KF, RS-485, SUBD 15pinHD 公头 3 继电器PN 971-92030, 2009 价格 $895 所有价格如有更改，恕不另行通知。

MKS HPS® 系列 974 QuadMag MicroPirani™ 压电冷阴极传感器，KF-40，RS-232。 MKS 部件号：974-91020 974 QuadMag 提供 1x10-8 至 1500 Torr 的测量范围，并结合了冷阴极倒置磁控管、MicroPirani™ 和压电差分传感器技术。 974 专为真空真空进样室内的压力测量而设计。它具有从大气到 10-8Torr 的绝对压力测量以及大气切换功能，能够取代负载锁上的多个压力测量设备。随后，OEM 可以通过简化的负载锁设计来降低成本。 974 可用于装载室或任何需要绝对压力测量和大气切换功能的真空室。 974 系列 QuadMag 具有 RS232 或 RS485 数字通信接口，用于设置传感器参数并提供实时压力测量。 974 QuadMag 传感器还具有 0.5VDC/十进制的模拟压力输出，可连接到外部模拟设备以进行压力读数或控制。其他模拟输出和曲线可以通过数字用户界面进行选择。974 系列 QuadMag 具有多达三个机械继电器，可用于过程控制，例如联锁阀门或泵。 974 QuadMag 传感器具有用户可更换的冷阴极阳极模块，无需拆卸传感器电子设备即可轻松维护。需要电源和显示器的客户可以使用本网站上出售的带有 PDR900 系列控制器的 974 QuadMag。有关完整的规格和操作信息，请参阅下面的可用下载。规格和价格如有更改，恕不另行通知。 HPS® 是注册商标，MicroPirani™ 是 ©2009 MKS Instruments, Inc. 的注册商标。保留所有权利。选项、(PN) 部件号和定价：全新 MKS HPS® 系列 974 QuadMag MicroPirani™ 压电冷阴极传感器NW25 KF， RS-232, SUBD 15pinHD 公头-无继电器PN 974-21020, 2009 Price $12952 3/4 CF, RS-232, SUBD 15pinHD 公头-无继电器PN 974-71020, 2009 Price $1365NW40 KF, RS-232, SUBD 15pinHD 公头-无继电器PN 974-91020, 2009 价格 $1325NW25 KF, RS-485, SUBD 15pinHD 公头-无继电器PN 974-22020, 2009 价格 $12952 3/4 CF, RS-485, SUBD 15pinHD 公头-无继电器PN 974-72020, 2009 价格$1335NW40 KF, RS-485, SUBD 15pinHD 公头-无继电器PN 974-92020, 2009 价格 $1275NW25 KF, RS-232, SUBD 15pinHD 公头-3 继电器PN 974-21030, 2009 价格 $13052 3/4 CF, RS-232, SUBD 15pinHD 公头 3 继电器PN 974-71030, 2009 价格 $1375NW40 KF, RS-232, SUBD 15pinHD 公头 3 继电器PN 974-91030, 2009 价格 $1315NW25 KF, RS-485, SUBD 15pinHD 公头 3 继电器PN 974-22030, 2009 价格 $13052 3/4 CF, RS-485, SUBD 15pinHDmale-3 继电器PN 974-72030, 2009 价格 $1395NW40 KF, RS-485, SUBD 15pinHDmale-3 继电器PN 974-92030, 2009 价格 $1315？所有价格均以更改恕不另行通知？

MKS 974B QuadMag 冷阴极传感器 KF-25，1 x 10-8 至 1500 Torr。 RS232，绝对过程测量。 MKS 部件号：974B-21020 MKS 974B QuadMag 冷阴极传感器属于 MKS 970 系列，这是一个紧凑、低成本、通用传感器系列，采用一到四个传感器 - 冷阴极、MicroPirani™ 和压电技术。结合这些传感技术可实现从大气到 10-8 Torr 的宽测量范围。除了尺寸小、范围广和成本较低之外，970 系列还可以通过数字通信或作为自主模拟单元进行操作。传感器测量范围为 10-5 至 1,500 Torr。 Piezo 是一款直读式绝对压力传感器，可实现独立于气体的测量。该传感器具有独特的温度补偿功能，可在较宽的测量范围内实现高精度。 Piezo 的测量范围为 10-1 至 1,500 Torr。当压力低于 10-2 Torr 时，MicroPirani 会对 Piezo 执行自动调零功能。与传统的皮拉尼真空计不同，MicroPirani™ 中的元件由一毫米见方的硅芯片制成，允许在非常小的体积内进行测量。传统的皮拉尼传感器的测量范围为 10-3 至约 100 Torr，超过 10 Torr 时灵敏度会迅速下降。由于 MicroPirani™ 传感部分的尺寸非常小，因此其范围低至 10-5 Torr。该设计最大限度地减少了对流的影响，因此可以在任何位置进行操作，而不会影响精度，从而简化了安装。该传感器包括一个按钮调零控制，可在压力低于 10-5 Torr 时使用。 MKS 974B QuadMag 冷阴极传感器具有数字通信功能，可通过主机实时进行所有调整和监控。 MKS 974B 传感器支持 RS485 或 RS232 通信作为标准功能。这款 974B QuadMag 冷阴极传感器在 15 针高密度 D-sub 公头连接器上提供 1 至 9 伏直流模拟输出信号。传感器输出在两个传感器之间进行平滑处理，并在 5 至 15 Torr 范围内从两个传感器读取数据。对于过程控制，974B 具有三个独立的继电器设定点。设定点的特性可以通过数字端口进行设置、调整和监控。与所有热导率传感器一样，MicroPiraniTM 对气体类型敏感。压电测量与气体类型无关。 974B 提供数字泄漏检测输出，可测量 Piezo 和 MicroPirani™ 之间的差异读数。这使其成为定位真空系统中的中度到细微泄漏的简单解决方案。需要电源和显示器的客户可以使用本网站上出售的 974B DualTrans 和 PDR900 系列控制器。有关完整的规格和操作信息，请参阅下面的可用下载。

MKS 974B QuadMag 冷阴极传感器 KF-40，1 x 10-8 至 1500 Torr。 MKS 零件号：974B-92020 MKS 974B QuadMag 冷阴极传感器属于 MKS 970 系列，这是一个紧凑、低成本、通用传感器系列，采用一到四个传感器 - 冷阴极、MicroPirani™ 和压电技术。结合这些传感技术可实现从大气到 10-8 Torr 的宽测量范围。除了尺寸小、范围广和成本较低之外，970 系列还可以通过数字通信或作为自主模拟单元进行操作。传感器测量范围为 10-5 至 1,500 Torr。 Piezo 是一款直读式绝对压力传感器，可实现独立于气体的测量。该传感器具有独特的温度补偿功能，可在较宽的测量范围内实现高精度。 Piezo 的测量范围为 10-1 至 1,500 Torr。当压力低于 10-2 Torr 时，MicroPirani 会对 Piezo 执行自动归零功能。与传统的皮拉尼真空计不同，MicroPirani™ 中的元件由一毫米见方的硅芯片制成，允许在非常小的体积内进行测量。传统的皮拉尼传感器的测量范围为 10-3 至约 100 Torr，超过 10 Torr 时灵敏度会迅速下降。由于 MicroPirani™ 传感部分的尺寸非常小，因此其范围低至 10-5 Torr。该设计最大限度地减少了对流的影响，因此可以在任何位置进行操作，而不会影响精度，从而简化了安装。该传感器包括一个按钮调零控制，可在压力低于 10-5 Torr 时使用。 MKS 974B QuadMag 冷阴极传感器具有数字通信功能，可通过主机实时进行所有调整和监控。 MKS 974B 传感器支持 RS485 或 RS232 通信作为标准功能。这款 974B QuadMag 冷阴极传感器在 15 针高密度 D-sub 公头连接器上提供 1 至 9 伏直流模拟输出信号。传感器输出在两个传感器之间进行平滑处理，并在 5 至 15 Torr 范围内从两个传感器读取数据。对于过程控制，974B 具有三个独立的继电器设定点。设定点的特性可以通过数字端口进行设置、调整和监控。与所有热导率传感器一样，MicroPiraniTM 对气体类型敏感。压电测量与气体类型无关。 974B 提供数字泄漏检测输出，可测量 Piezo 和 MicroPirani™ 之间的差异读数。这使其成为定位真空系统中的中度到细微泄漏的简单解决方案。需要电源和显示器的客户可以使用本网站上出售的 974B DualTrans 和 PDR900 系列控制器。有关完整的规格和操作信息，请参阅下面的可用下载。

MKS HPS 系列 979B 大气真空 MicroPirani，KF-16。 MKS 零件号：979B-31 MKS HPS® 系列 979B 大气真空 (ATV) 传感器是一款通用真空传感器，可提供从 10-10 托 (UHV) 到大气压的宽测量范围。 979B 将基于 MEMS 的 MicroPirani™ 和微型热阴极传感器组合在一个外壳中，以简化仪表集成。 979B 可以通过数字通信（RS232 或 RS485）进行操作，也可以作为独立的模拟单元进行操作。脱气和灯丝选择可以通过数字通信、顶部面板的按钮控制或模拟连接进行控制。同时需要电源和显示器的客户可以将 979B 与本网站上出售的 PDR900 系列控制器 PN P102879 一起使用。有关完整规格和操作信息，请参阅下载部分。特点和优点。组合真空传感器和宽测量范围消除了复杂的歧管、接线和控制要求。 MicroPirani™ 在抽空循环期间自动归零，以提高精度。获得专利的脱气功能易于控制，3 个用户可配置继电器用于过程控制。

MKS HPS® 系列 999 Quattro™ 多传感器热阴极传感器，KF-40，RS232。 MKS 零件号 999-51 MKS HPS® 系列 999 Quattro™ 是终极传感器解决方案，可提供从 10-10 Torr 到大气的压力测量，并具有大气切换功能。 Quattro 将 HPS 的三项关键技术整合到一个集成仪表解决方案中，并在一个紧凑的封装中具有四个传感器的功能。 Quattro 包括微型热阴极电离传感器、基于 MEMS 的 MicroPirani™ 传感器和独特的压电传感器，提供差分和绝对传感器功能。需要电源和显示器的客户可以使用本网站上出售的带有 PDR900 系列控制器的 999。有关完整规格和操作信息，请参阅下载部分。

适用于 MKS MGPD-E 控制器至单个 902 或 902B 压电传感器的理想真空电缆，DB9 公对母，10 英尺，RS232 RS485。该理想真空电缆将 MKS MGPD-E 数字电源和读数装置连接到单个 902 或 902B 绝对压电真空压力传感器。 DB 公头至 DB9 母头连接器，用于 RS232 或 RS485 串行通信。 10 英尺（3 米）长。

MKS 电缆将 PDR900 连接至系列 902、925 和 925C、RS232、9 针至 15 针、10 英尺。部件号 100013613。此 MKS 电缆将 PDR900 连接到系列 902、925 和 925C - 9 针、15 针传感器，长 10 英尺 (3m)，RS232。有关所有 MKS 900 系列真空传感器的选择指南，请参阅下面的可用下载。规格和价格如有更改，恕不另行通知。 HPS® 是 MKS Instruments, Inc. 的注册商标。

MKS 15 针至 15 针真空计控制器电缆，将 PRR900 连接到传感器，RS232，10 英尺（3 米）长，MKS 零件号：100013620。此 MKS 真空计电缆将 PDR900 控制器连接到大多数 MKS 900 系列真空压力传感器。它是 15 针公头到母头电缆，长 10 英尺（3 米），MKS 部件号 100013620，可与以下传感器型号配合使用： MKS 901P MKS 909AR MKS 910 MKS 925 MKS 979B MKS 971 MKS 972 MKS 973 MKS 974 MKS 999 有关 MKS 900 系列真空压力传感器的更多信息和参考，请参阅下面下载部分中的选型指南。 HPS 是 MKS Instruments, Inc. 的注册商标。规格和价格如有变更，恕不另行通知。 HPS® 是 MKS Instruments, Inc. 的注册商标。