理想真空立方体 6 x 6 真空立方体 XYZ 平台板,配有三丰定位千分尺。这些 6 x 6 真空立方体 XYZ 平台板可在真空立方体内动态精细调整测试件的位置。这些平台允许 X 轴和 Y 轴各 0.50 英寸(13 毫米)的行程,Z 轴各 0.25 英寸的行程,并通过硬化钢直线轴承实现精准运动和长使用寿命。
平台板本身在三个轴上均采用弹簧张紧,消除了反向移动时的间隙。高品质三丰测微头通过高性能氟橡胶轴密封,使测微头每旋转一圈,目标物水平移动0.025英寸,重复定位精度达0.001英寸。如有需要,测微头可与高精度电机驱动器兼容(详情请致电垂询)。
真空侧的吸盘板和移动块采用 6061-T6 铝合金加工而成,并配有带通风孔的 304 或 316 不锈钢紧固件,有效消除了虚拟泄漏。空气侧的金属表面采用蓝色粉末涂层。虽然自紧系统允许吸盘板以任何方向安装,但最佳负载方向是麦克风通过重力支撑负载。平放安装时的负载限制为 4 磅,垂直安装时为 2 磅。