改造 Agilent Varian TwisTorr 704 FS 涡轮分子高真空泵,ISO 160 K 入口
安捷伦瓦里安部件号 X3511-64000这款改造后的 Agilent Varian TwisTorr 704 FS 涡轮分子高真空泵的入口法兰符合 ISO 160 K 标准,排气装置为 KF 25,极限压力为 1x10 -10 Torr,Agilent Varian 部件号为 X3511-64002。 TwisTorr 704 涡轮分子泵以最低的成本最大限度地提高性能,氮气 (N2) 的抽速为 660 升/秒。 TwisTorr 704 采用 TwisTorr 拖动级,可为氢气和氦气等轻质气体产生高压缩比,以提供高吞吐量和高耐受前级压力,从而允许使用更小、更经济的前级泵。我们建议使用小至 8 CFM 的主泵(例如 Agilent Varian TriScroll 300 和 IDP-15 干式涡旋真空泵或 DS302 旋片真空泵),该泵可用于在所有泵送配置中操作 TwisTorr 704 FS。带有 ISO 和 Conflat 入口法兰的 TwisTorr 704 涡轮泵可烘烤,入口法兰处的最高烘烤温度为 80°C(ISO) 和 120°C(Conflat)。该装置不是水冷的,但可以单独购买风冷套件。
Agilent Varian TwisTorr 704 涡轮分子高真空泵集成到许多分析仪器应用中,包括电子显微镜 (SEM、TEM)、聚焦离子束系统 (FIB) 和表面分析 现代聚焦束系统,例如 SEM、TEM 和 FIB 使用色谱柱将电子或离子投射到微观样品上进行详细分析。最终用户分析从有机化合物到半导体晶圆的所有类型的物质。特别是在半导体行业,他们需要更高的灵敏度以获得更好的样品分辨率。另一个关键要求是高样品通量,以降低这些仪器的拥有成本。 Agilent Varian TwisTorr 704 涡轮分子高真空泵也是现代聚焦光束系统的关键组件,因为它们可为大型样品室提供快速、无油的空气排空(无油操作是许多现代分析应用的关键要求,例如半导体制造)。
所有可选配件、控制器和不同配置均可在 Ideal Vacuum Products 处购买。您可以在我们的下载部分下载 PDF 格式的用户手册和数据表。如果您有涡轮泵的所有需求,请致电 (505) 872-0037 联系我们。