Ideal Vacuum AnalyzaVAC 残余气体分析仪 (RGA)、1-300 AMU、法拉第杯检测器、AutoZ+ 基本软件。

此清单适用于销售理想真空分析器VAC 残余气体分析仪，具有以下组件：

• 理想真空分析VAC RGA
• 1-300 AMU 扫描范围。
• 法拉第杯探测器。
• 内置皮拉尼真空计，用于粗真空测量。
• 内置热阴极离子计，用于高真空测量。
• 扁平 (CF) 2.75” 安装法兰。

还包括：
• 24 VDC 通用电源（120/240 VAC 输入）和 6' 电缆。
• USB 转 DB-9 公头 RS-232 串行通信电缆，1 英尺长。
• DB-9 公对母 RS-232 串行延长电缆，25 英尺长。
• CF 2.75” 铜垫片和螺栓套件。
• 理想真空AutoZ ⁺基础版软件。

Ideal Vacuum AnalyzaVAC RGA 是一款紧凑型质谱仪，可帮助确定真空室内残留气体的身份和浓度。它可用于涂层和蚀刻应用中的泄漏检测、除气分析、原料气质量控制、工艺故障排除等。 AnalyzaVAC RGA 探头具有内置 Pirani 压力计和 Bayard Alpert 热阴极压力计，可防止其在不适当的高压下运行，从而降低系统复杂性并避免昂贵的维护。每个系统均配有四极杆探头、控制和通信单元 (CCU)、适用于 Microsoft Windows® 10 的 AutoZ ⁺ Basic 软件以及所有必要的电源和通信电缆。

AnalyzaVAC 的工作原理是使用双现场可更换钍铱丝以热电子方式发射的电子，电离探针尖端处的气体。使用变化的射频和施加到四极过滤器的直流电压的组合，根据质荷比分离产生的阳离子。带正电的离子沿着四极杆的中心传播，并由电子倍增器放大或由探针末端的法拉第杯检测器直接检测到。每种气体都会产生独特的光谱指纹，该指纹是其元素的天然同位素丰度和 RGA 高能电子电离引起的分子碎片的组合。

RGA 设计用于在低于 1×10 ^-6 Torr 的总压力下连续运行，最佳压力约为 2×10 ^-7 Torr。 RGA 在较高压力下运行会导致电离器、灯丝和四极杆的使用寿命显着缩短。内置压力表在内部和 AutoZ ⁺软件中使用，以防止对 RGA 造成致命损坏（在大多数情况下）。

虽然 RGA 探头可以直接安装到高真空室中，但最佳实践是使用一段管道和隔离阀将 RGA 与室隔离。这可以防止腔室通风或引入新样品或设备时发生污染或意外损坏。如果 RGA 用于测量粗真空室中的气体，则 RGA 应放置在一个小的独立室中，并通过泄漏阀将其自己的高真空抽气系统连接到主室。 Ideal Vacuum 提供带有所有必要设备的 RGA 套件，可安全测量压力高达 1000 托的气体。

所有 AnalyzaVAC 探头均配有法拉第杯检测器，可提供低至 1.5×10 ^-12 Torr ^*的可重复、定量、高度线性检测。可选的电子倍增器将定性测量的灵敏度提高到惊人的 6×10 ^-15 Torr ^* 。正确校准后，标准检测器和配备电子倍增器的检测器在 10% 峰高（或更好）时都具有 0.5 AMU 分辨率。

Ideal Vacuum 的永不过期的基本 AutoZ ⁺软件是 Windows 10 应用程序，可以从台式机或笔记本电脑控制任何 AnalyzaVAC RGA 系统。 AutoZ ⁺使操作员能够控制所有采集参数。 AutoZ ⁺提供实时数据流，并允许用户以模拟频谱、质量直方图和随时间变化的趋势的形式查看收集的数据。为了消除不需要的峰值和光谱贡献，用户可以使用之前收集的光谱作为基线数据。

Ideal Vacuum 的可选高级 AutoZ ⁺软件升级包括基本软件的所有功能，并添加了高级数据记录、平均、光谱拟合，可访问 Ideal Vacuum 的物质库，以及向库添加其他化合物的能力。 Premium AutoZ ⁺使用强大的最小二乘算法来计算常见残留气体的分压，识别它们对当前显示光谱的贡献，并隔离未知峰值。高级软件必须每年更新，否则将恢复为基本版本。

一些 RGA 应用：
• 泄漏测试
• 过程监控
• 抽气和烘烤监控
• 真空诊断
• 原料气质量控制
• 气体和污染物识别

AnalyzaVAC 探头是一种精密仪器，从原包装中取出后不提供保修。

*使用氮气、5 秒停留时间、1 amu 全峰宽、10% 高度、70 eV 电子能量、6 eV 离子能量和 2 mA 电子发射进行测量，并计算与基线噪声的三个标准偏差。