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× 真空泵 普通真空室 不锈钢真空室 铝真空室 ExploraVAC 无限室 ExploraVAC TVAC 试验箱 配件和法兰 馈通 真空阀 重建套件、零件和电机 真空液体、油脂和润滑脂 涡轮泵和控制器 过滤器 陷阱 和 消音器 对流和真空预热 漏检和RGA 真空压力测量 循环冷却器和水浴
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Ebara ESR20N 多级干式真空泵,抽气速度 45 至 70 CFM(1300 - 2000 l/m),水冷,3 相,200-220V,60Hz。零件号:202093

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在 销售: NT$629,780.18

Ebara ESR20N 多级干式真空泵,抽气速度 45 至 70 CFM(1300 - 2000 l/m),水冷,3 相,200-220V,60Hz。零件号:202093 629780.18
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货币: New Taiwan Dollar (TWD)

描述

Ebara ESR20N 多级干式真空泵,抽气速度 45 至 70 CFM(1300 - 2000 l/m),清洁至中型工艺,水冷,3 相,200-220V,60Hz。
Ebara 零件编号:202093。

Ebara ESR 系列(节能罗茨)是多级干式真空泵,专为从清洁到中型工艺的应用而设计。Ebara ESR 系列的抽速范围很广,从 45 到 706 CFM,极限压力低至 1.5 mTorr。此列表用于销售 Ebara ESR20N 多级干式真空泵,120cfm 2000l/m,清洁到中型工艺,水冷,200-220V/3Ph,PN:202093。

    应用

  • 溅射
  • 物理气相沉积
  • 负载锁和传输
  • 灰化
  • 离子注入机
  • 蚀刻
  • 清洁气体和工艺

    Ebara EV-A 系列干式旋转叶片泵的优点和特点。

  • 低拥有成本(电力、氮气、水、占地面积、体积、重量)
  • 在清洁应用中,ESR20N 无需氮气吹扫
  • 可变抽速以满足应用要求
  • 高性能无刷直流电机
  • 最先进的控制和监测设备
  • 可以采用空闲模式来节省能源
  • 经 SEMI S2 评估、NRTL 认证、CE 标志



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5910 Midway Park Blvd NE
Albuquerque, 新墨西哥 87109-5805 USA

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传真: (505) 872-9001
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