Kit de analisador de gás residual (RGA) Ideal Vacuum AnalyzaVAC para operação de alta pressão, 1-100 AMU, detector de copo Faraday, válvula de vazamento manual variável, estação de bombeamento Agilent TPS Mini Turbo, software básico AutoZ+ incluído.

O Ideal Vacuum AnalyzaVAC RGA é um espectrômetro de massa compacto que pode auxiliar na determinação da identidade e concentração de gases residuais dentro de uma câmara de vácuo. Ele pode ser usado para detecção de vazamentos, análise de liberação de gases, controle de qualidade do gás de alimentação em aplicações de revestimento e gravação, solução de problemas de processos e muito mais.

Conectado diretamente a uma câmara, o RGA foi projetado para operação contínua em pressões totais abaixo de 1×10 ^-6 Torr e, idealmente, em torno de 2×10 ^-7 Torr. A operação do RGA em pressões mais altas leva a uma redução drástica da vida útil do ionizador, do filamento e do quadrupolo. Os manômetros integrados do AnalyzaVAC são usados internamente e no software AutoZ ⁺ incluído para evitar danos fatais ao RGA (na maioria dos casos).

Para medir gases em uma câmara de médio vácuo até pressão atmosférica, o RGA deve ser colocado em uma pequena câmara separada com seu próprio sistema de bombeamento de alto vácuo. O sistema de vácuo RGA é então conectado à câmara através de uma válvula de vazamento que permite ao RGA coletar amostras de gases na câmara principal enquanto mantém alto vácuo ao redor da delicada sonda quadrapolar.

Este kit contém tudo que você precisa para usar um RGA para medir gases em pressões mais altas.

Componentes e recursos:

• Analisador de Vácuo IdealzaVAC RGA.
• Faixa de varredura de 1-100 AMU.
• Detector de copo de Faraday.
• O medidor Pirani integrado evita a ativação do RGA em altas pressões.
• Medidor de íons de cátodo quente integrado para medição rápida de pressão de alto vácuo.
• Estação de bombeamento turbomolecular Agilent Varian TPS-Mini TwisTorr 74 FS com operação de alto vácuo com um interruptor.
• A válvula manual de vazamento variável Agilent permite amostragem RGA de câmaras de 1.000 Torr a alto vácuo.
• Coletor soldado com vedações totalmente metálicas para contaminação mínima de medição de outras fontes de gás.
• Ideal Vacuum AutoZ ⁺ software de versão básica.

A combinação da estação de bombeamento Agilent Varian TPS-mini com a válvula manual de vazamento variável Agilent permite amostragem precisa de gases de câmaras abrangendo pelo menos 9 ordens de magnitude de pressão. No entanto, um único ponto de fissuração da válvula de isolamento não é adequado para todas as pressões dentro da faixa. Para melhores resultados, a válvula deve ser reiniciada manualmente sempre que a pressão da câmara for alterada. Se a pressão da câmara subir mais de 1 ordem de grandeza em comparação com a pressão operacional atual (ou seja, durante uma ventilação da câmara), a válvula de vazamento deverá ser fechada primeiro para evitar danos ao RGA e ao sistema de bombeamento. Após a câmara atingir uma pressão estável, o ionizador RGA deve ser desligado e a válvula reaberta até que a pressão desejada dentro do subsistema RGA seja atingida. O ionizador RGA pode então ser ligado novamente e a medição reiniciada.

Para manter a válvula de vazamento em um determinado ponto de trinca durante os ciclos de pressão, o RGA pode ser isolado da câmara usando uma válvula de fole manual CF adicional de 1,33 pol.

Sobre o Vácuo Ideal AnalyzaVac RGA:

O AnalyzaVAC opera ionizando os gases presentes na ponta da sonda usando elétrons emitidos termionicamente por filamentos duplos de irídio toriado substituíveis em campo. Os cátions resultantes são separados pela razão massa-carga usando uma combinação de diversas frequências de rádio e tensões CC aplicadas ao filtro quadrupolo. Os íons carregados positivamente viajam pelo centro do quadrupolo e são amplificados por um multiplicador de elétrons ou detectados diretamente pelo detector de copo de Faraday no final da sonda. Cada gás produz uma impressão digital espectral única que é uma combinação da abundância isotópica natural de seus elementos e da fragmentação molecular causada pela ionização de elétrons de alta energia do RGA.

Todas as sondas AnalyzaVAC vêm com um detector de copo Faraday que fornece detecção repetível, quantitativa e altamente linear de até 1,5×10 ^-12 Torr ^* . O multiplicador de elétrons opcional aumenta a sensibilidade para impressionantes 6×10 ^-15 Torr ^* para medições qualitativas. Os detectores padrão e equipados com multiplicador de elétrons têm resolução de 0,5 AMU a 10% da altura do pico (ou melhor) quando devidamente calibrados.

O software AutoZ ⁺ básico e não expirado da Ideal Vacuum é um aplicativo do Windows 10 que pode controlar qualquer sistema AnalyzaVAC RGA a partir de um computador desktop ou laptop. AutoZ ⁺ dá ao operador o poder de controlar todos os parâmetros de aquisição. AutoZ ⁺ fornece streaming de dados em tempo real e permite aos usuários visualizar os dados coletados como um espectro analógico, um histograma de massa e tendências ao longo do tempo. Para remover picos indesejados e contribuições espectrais, um usuário pode usar espectros coletados anteriormente para basear dados.

A atualização opcional do software AutoZ ⁺ premium do Ideal Vacuum inclui todos os recursos do software básico e adiciona registro de dados avançado, média, ajuste espectral com acesso à biblioteca de substâncias do Ideal Vacuum e a capacidade de adicionar compostos adicionais à biblioteca. Premium AutoZ ⁺ usa um poderoso algoritmo de mínimos quadrados para calcular as pressões parciais de gases residuais comuns, identifica sua contribuição para o espectro exibido atualmente e isola picos desconhecidos. O software premium deve ser renovado anualmente ou reverterá para a versão básica.

Algumas aplicações RGA:

• Teste de vazamento
• Monitoramento de processos
• Monitoramento de bombeamento e cozimento
• Diagnóstico de vácuo
• Controle de qualidade do gás de alimentação
• Identificação de gases e contaminantes

* A sonda AnalyzaVAC é um instrumento delicado. O uso inadequado, o manuseio incorreto da sonda ou a operação em pressões elevadas por longos períodos de tempo podem contaminá-la e danificá-la. Portanto, a sonda. não oferece garantia após a remoção da embalagem original.
O Agilent TPS Mini Turbo tem garantia total do fabricante. A garantia de qualquer outro componente é contra defeito do produto.

A pressão operacional total ideal do RGA é 2×10 ^-7 Torr para a maioria dos gases. A pressão externa pode ser muito maior, desde que seja reduzida dentro do sistema RGA usando a válvula de vazamento variável e o sistema de turbobomba. A operação em pressões mais altas do sistema RGA por longos períodos de tempo resultará em envelhecimento prematuro da sonda, perda de ganho, desvio espectral e queima do filamento e do ionizador. O RGA pode ser usado nas seguintes regiões de pressão durante os períodos de tempo correspondentes:
10 ^-4 Torr, várias horas
10 ^-5 Torr, vários dias
10 ^-6 Torr, vários meses
10 ^-7 Torr, vários anos
10 ^-8 Torr, indefinidamente
Os vapores orgânicos devem ser mantidos a uma pressão 2x menor que os gases atmosféricos para evitar a contaminação do filamento e do ionizador por fuligem. Os vapores de silicone devem ser mantidos em pressões pelo menos 10x menores que os gases atmosféricos para evitar o acúmulo de vidro no filamento e no ionizador. Os vapores corrosivos também são mais prejudiciais ao RGA do que os gases normais. Ao gerenciar adequadamente a pressão, o RGA pode ser usado para medir esses gases sem incorrer em reparos dispendiosos.

* Medido com gás nitrogênio, tempo de permanência de 5 segundos, largura de pico total de 1 amu, altura de 10%, energia de elétrons de 70 eV, energia de íons de 6 eV e emissão de elétrons de 2 mA e cálculo de três desvios padrão do ruído de linha de base.