Controlador de fluxo de massa MKS GM50A (MFC) controlado digitalmente, faixa de 10 a 500 sccm, subminiatura D de 15 pinos, 4 videocassetes macho.
Número da peça MKS: GM50A013502RMM020. O controlador de fluxo de massa MKS GM50A pode ser configurado para controlar uma ampla gama de gases de fonte de entrega segura (SDS). As conexões de entrada e saída são Swagelok® 4 VCR®. Ele tem uma faixa de fluxo em escala completa de 500 sccm e uma faixa de controle de 10 a 500 sccm, um conector subminiatura D de 15 pinos com aterramentos vinculados e um sinal de entrada/saída de fluxo de 0-5 VCC. A calibração digital produz 1% de precisão do ponto de ajuste no gás de calibração. Os tempos de resposta típicos são da ordem de 500 milissegundos.
Os recursos multifaixa podem ser configurados por meio de um aplicativo baseado em navegador da Web, acessado conectando o MFC a um roteador ou computador via cabo Ethernet. A aplicação E-diagnostics permite ao usuário monitorar o desempenho do MFC em tempo real, bem como plotar dados e selecionar variáveis.
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