Módulo de interface Edwards im reconstruído para bomba de vácuo de semicondutores iQDP, iH e iL. PN: A528-44-463
O Módulo de Interface permite que você use seu próprio equipamento de controle para controlar a operação e monitorar o status de um sistema de bombeamento seco iH, iL ou iQ.
O módulo de interface Edwards foi projetado para uso com os sistemas de bombeamento seco Edwards iQ, iH e iL e permite que você conecte o sistema de bombeamento a outro equipamento. Por exemplo, sua ferramenta de processo ou outro equipamento de controle. Este módulo possui 2 cartões de Interface, o Cartão de Interface de Ferramenta e o Cartão de Interface Auxiliar. Este é o modelo A528-44-463R. Para obter instruções de instalação, operação e manutenção, consulte o Manual de Instruções .pdf abaixo em DOWNLOADS DISPONÍVEIS.