Controlador de fluxo de massa (MFC) MKS GM50A controlado digitalmente, faixa de 1 a 50 sccm, protocolo de comunicação serial RS - 485, 4 VCR macho.
Número da peça MKS: GM50A015501R5M020. O controlador de fluxo de massa MKS GM50A é configurado para controlar O 2 ou equivalente, tendo uma faixa de fluxo de escala completa de 50 sccm e uma faixa de controle de 1 a 50 sccm. Ele tem uma porta de comunicação serial RS - 485, um sinal de entrada/saída de fluxo de 0-5 VCC ou 4 a 20 mA e conexões de entrada e saída macho Swagelok® 4 VCR®. Os tempos de resposta típicos são da ordem de 500 milissegundos. A calibração digital produz 1% de precisão do ponto de ajuste no gás de calibração.
Os recursos multi-range podem ser configurados por meio de um aplicativo baseado em navegador da web acessado conectando o MFC a um roteador ou computador via cabo Ethernet. O aplicativo E-diagnostics permite que um usuário monitore o desempenho do MFC em tempo real, bem como plote dados e selecione variáveis.
Swagelok, VCR-TM Empresa Swagelok