Agilent Varian Turbo-V 1001 터보분자 진공 펌프, ISO-200K 흡입 플랜지, 펌핑 속도 950 L/S. 냉각 키트 필요, Agilent Varian 부품 번호 9698931. 이 Agilent Varian Turbo-V 1001 터보분자 고진공 펌프에는 ISO-200K 흡입 플랜지가 있으며 최종 압력은 1x10-8 Torr(고무 O-링의 가스 방출로 제한됨)입니다. 흡기 ISO 센터링 링에 밀봉됨), Agilent Varian 부품 번호 9698931이 있습니다. 모든 금속 밀봉된 흡기 개스킷이 포함된 ConFlat 버전은 최대 1x10-10 Torr의 최종 압력을 갖는 진정한 초고진공 펌프입니다. 올바르게 사용되었습니다. Turbo-V 1001 터보 펌프는 950 l/s의 질소(N2) 펌핑 속도로 최소 비용과 크기로 최대 성능을 제공합니다. 모든 펌핑 프로필에서 Turbo V 1001을 작동하는 데 사용할 수 있는 14 CFM만큼 작은 기본 펌프 크기(예: IDP-15 건식 스크롤 또는 DS402 회전 날개 진공 펌프)를 권장합니다. Turbo-V 1001은 경질 가스에 대한 높은 압축비를 달성하고 펌프의 처리량을 최대화하기 위해 MacroTorr 드래그 스테이지 기술을 포함하는 복합 펌프입니다. 정의에 따르면 Turbo-V 1001의 Navigator 버전에는 터보 펌프 컨트롤러가 터보 펌프 아래에 로컬로 장착되어 있으며 Navigator 컨트롤러 부품 번호는 9698978입니다. 그러나 Turbo-V 1001이 대신 랙 장착 컨트롤러에 의해 전원이 공급되는 경우, 네비게이터라고 부르지 않고 간단히 터보 V 1001 터보 펌프라고 부릅니다. 랙 장착형 컨트롤러의 애질런트 부품 번호는 X3501-64003입니다. Agilent Varian Turbo-V 1001 Navigator(아래 펌프 장착 컨트롤러 포함)는 전자현미경(SEM, TEM), 집속 이온빔 시스템(FIB) 및 표면 분석을 포함한 다양한 분석 계측 응용 분야에 통합되는 경우가 많습니다. SEM, TEM 및 FIB는 상세한 분석을 위해 미세한 샘플에 전자 또는 이온을 투사하는 컬럼을 사용합니다. Agilent Varian Turbo-V 1001 Navigator 터보 펌프는 대형 시료 챔버에서 오일 없이 빠르게 공기를 배출할 수 있기 때문에 현대식 집속 빔 시스템의 핵심 구성 요소입니다. 오일 없는 작동은 다음과 같은 많은 최신 분석 응용 분야의 핵심 요구 사항입니다. 반도체 제조). Agilent Varian Turbo-V 1001 특징: 가벼운 가스에 대한 높은 압축비로 낮은 기본 압력에서 작동 가능 깨끗한 진공 시스템을 위한 탄화수소 없음 원격 컨트롤러로 100m 거리에서 작동 가능 어느 위치에나 설치 가능하므로 통합이 용이함 운영 비용이 전혀 들지 않는 유지 보수가 필요 없는 베어링 지원 이동 중 펌프 작동을 위해 Vacuum Link 앱을 통한 무선 제어 방사선 및 자기장 방지 설계 전자 장치가 내장되어 있지 않아 까다로운 자기장 및 방사선 환경에서 작동 가능 낮은 전자기 방출로 도포 과정에 간섭 없음 보장 낮은 진동 및 소음 수준으로 제품에 영향 없음 시스템 Agilent Varian Turbo-V 1001 사양: 주변 작동 온도: +5 ~ +35 °C 주변 보관 온도: -20 ~ +70 °C 기본 압력: 1x10-8 Torr(ISO O-링 씰로 제한됨) 압축비 H2: 1 x 10^6 플랜지 유형: Conflat CF 10인치 포어라인 플랜지 크기: KF 40 NW 최대 가스 처리량 - Ar, 수냉식: 7.5mbar L/s; 444sccm 최대 가스 처리량 - N2, 수냉식: 10mbar L/s; 592 sccm 소음 수준: 45 dB(A) 공칭 회전 속도: 38 KRPM 작동 위치: 모든 펌핑 속도 - H2: 900 L/s(ISO-200 입구 플랜지) 펌핑 속도 - He: 870 L/s(ISO-200 입구 플랜지) 펌핑 속도 - N2: 950 L/s (ISO-200 흡입 플랜지) 권장 포어펌프 용량: 15 m³/h 시동 시간: < 4 min 무게: 21.2 kg

Agilent Varian Turbo-V 1001 터보분자 진공 펌프, Conflat CF 10인치 흡입 플랜지, 펌핑 속도 950 L/S. 냉각 키트 필요, Agilent Varian 부품 번호 9698932. 이 Agilent Varian Turbo-V 1001 터보분자 고진공 펌프에는 ConFlat 10인치 흡입 플랜지, 1x10-10 Torr의 최종 압력 및 Agilent Varian 부품 번호 9698932가 있습니다. Turbo-V 1001 터보 펌프는 질소(N2) 펌핑 속도가 950l/s로 최소 비용과 크기로 성능을 극대화합니다. 모든 펌핑 프로필에서 Turbo V 1001을 작동하는 데 사용할 수 있는 14 CFM만큼 작은 기본 펌프 크기(예: IDP-15 건식 스크롤 또는 DS402 회전 날개 진공 펌프)를 권장합니다. Turbo-V 1001은 경질 가스에 대한 높은 압축비를 달성하고 펌프의 처리량을 최대화하기 위해 MacroTorr 드래그 스테이지 기술을 포함하는 복합 펌프입니다. Agilent Varian Turbo-V 1001 터보 펌프(conflat 흡입구 포함)는 올바르게 사용할 경우 최종 압력이 1x10-10 Torr만큼 낮은 진정한 초고진공(UHV) 펌프입니다. 예를 들어, 이러한 펌프의 Conflat 버전은 다음을 허용합니다. 흡입 플랜지는 섭씨 120도까지 구워집니다. 정의에 따르면 Turbo-V 1001의 Navigator 버전에는 터보 펌프 컨트롤러가 터보 펌프 아래에 로컬로 장착되어 있으며 Navigator 컨트롤러 부품 번호는 9698978입니다. 그러나 Turbo-V 1001이 대신 랙 장착 컨트롤러에 의해 전원이 공급되는 경우, 네비게이터라고 부르지 않고 간단히 터보 V 1001 터보 펌프라고 부릅니다. 랙 장착형 컨트롤러의 애질런트 부품 번호는 X3501-64003입니다. Agilent Varian Turbo-V 1001 Navigator(아래 펌프 장착 컨트롤러 포함)는 전자현미경(SEM, TEM), 집속 이온빔 시스템(FIB) 및 표면 분석을 포함한 다양한 분석 계측 응용 분야에 통합되는 경우가 많습니다. SEM, TEM 및 FIB는 상세한 분석을 위해 미세한 샘플에 전자 또는 이온을 투사하는 컬럼을 사용합니다. Agilent Varian Turbo-V 1001 Navigator 터보 펌프는 대형 시료 챔버에서 오일 없이 빠르게 공기를 배출할 수 있기 때문에 현대식 집속 빔 시스템의 핵심 구성 요소입니다. 오일 없는 작동은 다음과 같은 많은 최신 분석 응용 분야의 핵심 요구 사항입니다. 반도체 제조). Agilent Varian Turbo-V 1001 특징: 가벼운 가스에 대한 높은 압축비로 낮은 기본 압력에서 작동 가능 깨끗한 진공 시스템을 위한 탄화수소 없음 원격 컨트롤러로 100m 거리에서 작동 가능 어느 위치에나 설치 가능하므로 통합이 용이함 운영 비용이 전혀 들지 않는 유지 보수가 필요 없는 베어링 지원 이동 중 펌프 작동을 위해 Vacuum Link 앱을 통한 무선 제어 방사선 및 자기장 방지 설계 전자 장치가 내장되어 있지 않아 까다로운 자기장 및 방사선 환경에서 작동 가능 낮은 전자기 방출로 적용 공정에 방해가 없음 보장 충격이 전혀 없는 낮은 진동 및 소음 수준 시스템 Agilent Varian Turbo-V 1001 사양: 주변 작동 온도: +5 ~ +35 °C 주변 보관 온도: -20 ~ +70 °C 기본 압력: <1 x 10-10 Torr 압축비 H2: 1 x 10 ^6 플랜지 유형: Conflat 10인치 포어라인 플랜지 크기: KF 40 NW 최대 가스 처리량 - Ar, 수냉식: 7.5mbar L/s; 444sccm 최대 가스 처리량 - N2, 수냉식: 10mbar L/s; 592 sccm 소음 수준: 45 dB(A) 공칭 회전 속도: 38 KRPM 작동 위치: 모든 펌핑 속도 - H2: 900 L/s(CF 10 인치 플랜지) 펌핑 속도 - He: 870 L/s(CF 10 인치 플랜지) 펌핑 속도 - N2: 950L/s(CF 10인치 플랜지) 권장 포어펌프 용량: 15m³/h 시동 시간: < 4분 무게: 21.2kg

Agilent Varian Turbo-V 1001 Turbo-V 1001 터보 펌프용 랙 장착형 컨트롤러. Agilent Varian 부품 번호 PN: X3501-64003. Agilent Varian Turbo-V 1001 랙 장착 컨트롤러는 Turbo-V 1001 터보 분자 펌프, 냉각 팬 및 환기 밸브에 전원을 공급할 수 있습니다. 이러한 Agilent Varian TV1001 랙 장착형 터보 펌프 컨트롤러는 100, 120, 220 또는 240V AC 입력 전원에서 작동할 수 있습니다. 수동으로 작동되는 입력 전압 선택기는 랙 마운트 컨트롤러 전원 공급 장치 입력에 통합되어 있습니다(아래 사진 참조). 일자 드라이버를 사용하여 전압 선택기 상자를 튀어나오고 전압 선택기를 원하는 입력 전압으로 회전시킨 다음 다시 삽입할 수 있습니다. Agilent Varian TV1001 랙 장착형 터보 펌프 컨트롤러에는 냉각 팬 및 환기 밸브 장치에 전원을 공급하기 위한 보조 전원 커넥터(최대 1Amp 출력)도 통합되어 있습니다. 이러한 보조 커넥터는 컨트롤러 뒷면의 오른쪽 상단 모서리에 있습니다(아래 그림 참조). 경고: 이러한 보조 전원 커넥터는 러핑 펌프에 전원을 공급하는 데 사용되어서는 안 됩니다. 최대 출력은 1A입니다! 터보 펌프-컨트롤러 케이블은 Turbo-V 1001 랙 마운트 컨트롤러에 통합되어 있으며 표준 길이는 10피트입니다. 랙 마운트 컨트롤러 뒷면에 있는 P1 커넥터는 다른 로직의 인터록을 처리합니다(아래 사진 참조). P1 인터록 점프 커넥터는 각각의 새로운 Turbo-V 1001 랙 마운트 컨트롤러와 함께 제공되며 이 커넥터는 인터록을 우회하고 설치 후 펌프가 시작될 수 있도록 제자리에 있어야 합니다. 모든 옵션 액세서리, 펌프, 컨트롤러 및 Ideal Vacuum에서는 다양한 구성을 제공합니다. 사용자 설명서와 Agilent Varian Turbo-V 1001 랙 마운트 컨트롤러 카탈로그 브로셔 섹션은 아래에서 PDF 형식으로 다운로드할 수 있습니다.

Turbo-V 1001 터보 펌프용 Agilent Varian TV 1001 Navigator 온보드 컨트롤러. Agilent Varian 부품 번호 9698978. Agilent Varian TV 1001 Navigator 컨트롤러는 아래 또는 측면에 장착되도록 설계되었으며 Turbo-V 1001 터보 분자 펌프, 냉각 팬 및 환기 밸브에 전원을 공급합니다. 이러한 Agilent Varian TV 1001 Navigator 컨트롤러는 100~240VAC 사이의 모든 입력 전압에서 자동으로 작동하도록 제작되었습니다. Agilent Varian TV 1001 Navigator 터보 펌프 컨트롤러에는 각각 포트 P4 및 P3을 통해 냉각 팬 및 환기 밸브 장치에 전원을 공급하기 위한 보조 24VDC 전원 커넥터도 통합되어 있습니다(사진 참조). 터보 펌프-컨트롤러 케이블은 TV 1001 Navigator 컨트롤러에 연결되어 있으며 길이는 1피트입니다. Navigator 컨트롤러 측면의 J1 커넥터는 인터록 및 기타 로직을 처리합니다. 결합 J1 인터록 점프 커넥터는 각각의 새로운 TV 1001 Navigator 컨트롤러와 함께 제공되며 이 결합 커넥터는 인터록 회로를 닫고 설치 후 펌프가 시작될 수 있도록 제자리에 있어야 합니다. Turbo V 1001 Navigator 컨트롤러의 J2 직렬 포트는 Agilent Varian A-Plus 소프트웨어를 사용하여 터보 시스템과 통신하는 데 사용할 수 있습니다(아래 옵션 액세서리 참조). 모든 옵션 액세서리, 펌프, 컨트롤러 및 다양한 구성은 Ideal Vacuum에서 구입할 수 있습니다. . 사용자 설명서와 브로셔는 다운로드할 수 있습니다.

Varian Agilent AC 주 전원 케이블 NEMA 플러그, 터보 펌프 컨트롤러용, 3미터. Agilent Varian 부품 번호 PN: 9699958. 이 Agilent 터보분자 진공 펌프 AC 주 전원 케이블에는 NEMA 5-15 플러그 벽면 콘센트 연결이 있으며 대부분의 Agilent 터보 펌프 컨트롤러와 함께 작동합니다. 길이는 3m이고 Agilent Varian 부품 번호는 9699958이며 다음 터보 펌프 모델과 함께 작동합니다. TwisTorr 74 FS TwisTorr 84 FS TwisTorr 305 FS TwisTorr 404 FS TwisTorr 704 FS TwisTorr 804 FS Turbo-V 1001

Agilent Varian 터보 펌프 흡입구 스크린, ISO-200 또는 Conflat CF 10인치 흡입구 플랜지가 있는 대형 TwisTorr 및 Turbo-V 펌프용. Agilent Varian 부품 번호 PN: 969-9316. 이러한 Agilent Varian 주입구 스크린은 ISO-200 또는 CF 10인치 흡입 플랜지가 있는 대형 TwisTorr FS 및 Turbo-V 터보 분자 진공 펌프를 보호하도록 설계되었습니다. 흡입구 스크린(스플린터 가드)은 종종 간과되는 작은 액세서리이지만 진공 시스템의 매우 중요한 부분입니다. 로터에 떨어지거나 흡입될 수 있는 작은 물체나 파편으로부터 터보를 보호하는 데 사용됩니다. 이러한 터보 흡기 스플린터 실드는 펌프를 이물질로부터 보호하는 데 도움이 되며 Agilent Varian 부품 번호는 9699316입니다. Agilent TwisTorr 및 Turbo-V 터보 펌프 모델과 함께 작동: TwisTorr 804 FS Turbo-V 1001

로컬 내비게이터 컨트롤러가 포함된 대형 TwisTorr 및 Turbo-V 터보분자 펌프용 Agilent Varian 팬 공기 냉각 키트. Agilent Varian 부품 번호 PN: 9699297. 이러한 Agilent Varian TwistTorr 및 Turbo-V 공기 냉각 팬 키트는 로컬 Navigator(하단 또는 측면 펌프 장착) 컨트롤러와 함께 작동하도록 설계되었으며 Agilent Varian 부품 번호 9699297을 갖습니다. 이 키트에는 공기 냉각 장치가 포함되어 있습니다. 팬, P4 커넥터를 통해 냉각 팬을 Navigator 컨트롤러의 24VDC 공급 장치에 연결하는 전원 케이블, 펌프 장착 스타일 브라켓의 하단. 이는 주문 시 매우 중요합니다. Agilent Varian 대형 TwistTorr 및 Turbo-V 터보 분자 펌프에는 두 가지 공기 냉각 팬 키트가 있습니다. 하나는 냉각 팬이 115VAC에서 작동하는 원격 랙 마운트 컨트롤러와 함께 작동하도록 설계되었습니다. 여기에서 판매되는 다른 하나는 24VDC에서 작동하는 하단 또는 측면 장착 로컬 Naviagator 컨트롤러와 함께 작동하도록 설계되었습니다(측면 중간 그래픽 참조). Agilent TwisTorr Navigator 컨트롤러로 구동되는 터보 펌프 모델과 함께 작동: TwisTorr 404 FS TwisTorr 704 FS TwisTorr 804 FS Turbo-V 1001

원격 랙 마운트 컨트롤러, X3501-68016, X3501-64003을 갖춘 Agilent 대형 TwisTorr 및 Turbo-V 터보 분자 펌프용 팬 공기 냉각 키트. 이는 Agilent TwisTorr FS 404, 704, 804 및 Turbo-V 1001 터보분자 진공 펌프용 공기 팬 냉각 키트입니다. 이는 펌프 베이스에 장착되어 펌프에 방사형 냉각을 제공합니다. 이는 X3501-68016 또는 X3501-64003 터보 펌프 컨트롤러가 장착된 랙 뒷면의 원형 J3 FAN 커넥터에 연결됩니다. 이 팬 공기 냉각 키트에는 20피트 길이의 케이블이 부착되어 있으며 필요한 모든 장착 하드웨어가 포함되어 있습니다. 이는 Agilent X3501-68001 팬 공기 냉각 키트를 직접 대체합니다. 다음 Agilent 터보 분자 펌프 모델과 호환 가능: TwisTorr 404 FS TwisTorr 704 FS TwisTorr 804 FS Turbo-V 1001 다음 랙 마운트형 Agilent 터보 분자 펌프 컨트롤러 모델과 호환 가능: X3501-68016 X3501-64003 이 팬 키트는 Agilent Onboard Navigator 터보 펌프와 호환되지 않습니다. 컨트롤러. 우리는 온보드 컨트롤러용 팬 냉각 키트뿐만 아니라 다른 목록에 있는 Agilent Turbo 펌프 및 액세서리의 전체 라인도 제공합니다. 펌프 및 컨트롤러에 대한 자세한 내용은 다운로드를 참조하십시오.

V1000 HT 랙 마운트 컨트롤러 120VAC, PN 9699315용 Agilent Varian Turbo-V 1001 터보 펌프 공기 냉각 키트는 V 1001 랙 컨트롤러가 아닌 컨트롤러 V 1000HT 랙 컨트롤러 110VAC PN 9699554에만 연결됩니다. 이러한 Agilent Varian 공기 냉각 팬 키트는 V 1000HT 랙 장착 컨트롤러와 함께 작동하도록 설계되었습니다. 이 키트에는 공기 냉각 팬, V1000HT 랙 장착 컨트롤러 뒷면에 있는 보조 전원 J6 커넥터(최대 1Amp 출력)의 120VAC 공급 장치에 냉각 팬을 연결하는 전원 케이블, 펌프 장착 스타일 브라켓의 하단이 포함됩니다. 주문시 매우 중요한 사항입니다! Agilent Varian Turbo-V 1001 터보 분자 펌프에는 두 가지 공기 냉각 팬 키트가 있습니다. 이 장치는 냉각 팬이 120VAC에서 작동하는 여기에서 판매되는 Rack-Mount V1000 HT 컨트롤러와 함께 작동하도록 설계되었습니다. 다른 하나는 Agilent Varian 부품 번호 9699297을 사용하여 냉각 팬이 24VDC에서 작동하는 하단 또는 측면 장착형 Navigator V1001 컨트롤러와 함께 작동하도록 설계되었습니다. 이들은 서로 다른 제품이므로 개별 구성 요소로 시스템을 주문할 때 주의를 기울여야 합니다.

금속 호스 바브가 포함된 Agilent Varian 터보 수냉식 키트는 6x8mm 튜브 크기로 설계된 대부분의 Agilent 터보 분자 펌프에 적합합니다. Agilent Varian 부품 번호 PN: 9699337 이러한 금속 수냉식 키트는 Agilent Varian TwisTorr 305 FS, 750의 수냉식을 제공하도록 설계되었습니다. FS 및 850 FS 터보분자 진공 펌프. 6mm ID x 8mm OD 플라스틱 호스(예: 고품질 폴리우레탄(PUR))에 쉽게 연결할 수 있도록 설계되었으며 Agilent Varian 부품 번호 PN 9699337이 있습니다. TwisTorr 305 FS TwisTorr 모델을 포함한 대부분의 Agilent Varian 터보 펌프에 적합합니다. 305 IC TwisTorr 404 FS TwisTorr 704 FS TwisTorr 804 FS Tubro-V 1001

플라스틱 호스 피팅이 포함된 Agilent Varian 터보 수냉식 키트는 대부분의 Agilent 터보 분자 펌프에 적합합니다. 4mm ID x 6mm OD 플라스틱 호스의 경우 Agilent Varian 부품 번호 PN: 9699347. 이 플라스틱 튜브 수냉식 키트는 Agilent Varian TwisTorr 305 FS, 750 FS 및 850 FS 터보분자 진공 펌프의 수냉식을 제공하도록 설계되었습니다. 4mm ID x 6mm OD 플라스틱 호스에 쉽게 연결할 수 있도록 설계되었으며 Agilent Varian 부품 번호 PN 9699347입니다. 다음 모델을 포함한 대부분의 Agilent Varian 터보 펌프에 적합합니다. TwisTorr 305 FS TwisTorr 305 IC TwisTorr 404 FS TwisTorr 704 FS TwisTorr 804 FS 터보-V 1001

Agilent A-Plus 소프트웨어 무료 다운로드 및 3m 길이의 직렬 케이블은 모든 Agilent Turbo 및 Turbo 시스템을 PC(이전 T-Plus)에 연결합니다. 애질런트 부품 번호: 9699883 애질런트 A-Plus 소프트웨어(이전의 T-Plus 터보 펌프 제어 소프트웨어)와 LabVIEW 드라이버 팩은 이제 Ideal Vacuum에서 무료로 다운로드할 수 있습니다(아래 무료 다운로드 링크 참조). 다운로드에는 32비트 버전과 64비트 버전이 모두 포함됩니다. 이 목록은 A-Plus 소프트웨어를 사용할 때 터보 또는 터보 시스템을 PC에 연결하는 데 필요한 Agilent OEM 3미터 길이, DB9, 수-암 직렬 케이블의 판매용입니다. Agilent Technologies A-Plus 소프트웨어는 Agilent Varian 터보 분자 펌프와 Agilent Windows 직렬 프로토콜을 사용하는 기타 모든 Agilent 제품을 위한 사용자 친화적인 통신, 제어 및 모니터링 애플리케이션입니다. A-Plus 소프트웨어는 RS232 또는 RS485 직렬 통신 포트를 통해 PC에 연결된 하나 이상의 터보 펌프를 동시에 제어하고 구동할 수 있습니다. PC에 직렬 포트가 없는 경우 직렬-USB 케이블을 사용할 수 있습니다(부품 번호 P104165). A-Plus 소프트웨어에는 연결된 펌프의 자동 인식 기능이 포함되어 있으며 연결된 각 펌프의 동작을 표시합니다. 각 명령에 대한 설명은 사용 편의성을 위해 항상 화면에 표시됩니다. A-Plus 소프트웨어에는 진공 장치를 신속하게 구성하고 언제든지 진공 시스템 상태를 확인할 수 있도록 데이터 로깅, 차트 표시 및 네트워크 구성과 같은 옵션이 포함되어 있습니다. 소프트웨어 패키지에는 철저한 온라인 도움말이 포함되어 있습니다. A-Plus 소프트웨어용 3미터 길이의 Agilent 케이블의 부품 번호는 9699883입니다. Agilent A-Plus 소프트웨어는 다음 펌프 모델(및 기타)과 작동합니다: TwisTorr 74 FS TwisTorr 84 FS TwisTorr 305 FS Varian TPS-Compact Varian TPS-MiniTask

컴퓨터에 직렬 포트가 없는 경우 Agilent Varian T-Plus 소프트웨어용 RS232 직렬-USB 어댑터 케이블. 3피트 이 3피트 길이의 RS232-USB 어댑터 케이블을 사용하면 USB 포트는 있지만 직렬 포트는 없는 원격 컴퓨터에서 Agilent Varian T-plus 터보 펌프를 제어할 수 있습니다. T-Plus 소프트웨어에는 직렬 연결이 필요합니다. RS232 또는 RS485 직렬 통신 포트는 없고 USB 2 연결 포트만 있는 PC의 경우 이 케이블을 사용하면 T-plus 터보 펌프를 USB 2 포트에 연결하고 동일한 T-Plus 소프트웨어 기능을 가질 수 있습니다. 마치 PC에 직렬 통신 포트가 있는 것처럼 말이죠.

Agilent Varian 터보 벤트 플랜지 교체, M8x1.2 포함 KF-10 진공 플랜지, 대부분의 애질런트 터보분자 진공 펌프에 적합Agilent Varian 부품 번호 PN: 9699108 이러한 Agilent Varian 터보 펌프 벤트 플랜지는 대부분의 애질런트 터보 분자 진공 펌프와 작동하도록 설계되었습니다. M8 x 1.2 나사산이 있는 KF-10 진공 플랜지와 Agilent Varian 부품 번호 PN: 969-9108이 있습니다. 다음 Agilent Varian 터보 펌프와 함께 작동합니다. TwisTorr 404 FS TwisTorr 704 FS TwisTorr 804 FS Turbo-V 1001

Agilent Varian 터보 벤트 밸브, 평상시 열림(NO), 1.2mm 오리피스, TwisTorr 또는 Turbo-V(통합 컨트롤러 또는 온보드 네비게이터) 터보 펌프용. Agilent Varian 부품 번호 PN: 9699834. 이 Agilent Varian 배기 밸브는 TwisTorr FS 및 Turbo-V(통합 컨트롤러 또는 온보드 Navigator 포함) 터보 펌프용으로 설계되었습니다. 환기 밸브가 통합 컨트롤러로부터 전원과 논리를 얻을 수 있도록 어댑터도 필요하며, 필요한 어댑터에는 Agilent Varian 부품 번호 X3514-68001이 있습니다(가운데 사진 참조). 이러한 Agilent Varian 터보 펌프 배기 밸브 키트에는 1.2mm 오리피스가 있고 상시 열림(NO)이며 터보 컨트롤러의 전원을 켜면 닫힙니다. 전력이 손실되는 경우 이 벤트 밸브가 열리고 터보가 안전하게 정지할 수 있는 속도로 공기가 유입되기 시작합니다. 이는 펌프 베어링에 부담을 주는 공진 주파수를 통과하는 동안 소요되는 시간을 제한하여 터보의 수명을 연장하는 데 도움이 됩니다(이러한 공진을 통과할 때 펌프가 실제로 더 커지는 소리를 들을 수 있습니다). 정전 후 배기는 배킹 펌프의 역류를 방지하는 데에도 중요합니다. 정전 후 터보에 진공이 남아 있으면 배킹 펌프의 오일이나 잔해물이 터보 펌프로 다시 흡입될 수 있습니다. 정전 시 터보를 보호하기 위해 벤트 밸브 및/또는 러핑 라인 NC(상시 폐쇄형) 차단 밸브를 권장합니다. 이 키트에는 Agilent Varian 터보 펌프 측면에 장착하는 데 필요한 하드웨어가 포함되어 있습니다. 또한 이러한 305-IC 벤트 밸브용 벤트 밸브 연장 케이블(Agilent Varian 부품 번호 9699949)을 판매합니다. 이 케이블은 로컬 도구 또는 실험실 장비의 로직을 통해 벤트를 제어하는 데 사용됩니다. 아래 PDF 다운로드 섹션에서 사용 가능한 사용 설명서를 참조하십시오. 다음 Agilent Varian 터보 펌프와 함께 작동합니다. TwisTorr 305-IC TwisTorr 404 FS Onboard Navigator TwisTorr 704 FS Onboard Navigator TwisTorr 804 FS Onboard Navigator Turbo-V 1001 Onboard Navigator

Agilent Varian 터보 펌프 배기 밸브 키트, 지연 배기, 평상시 열림(NO), 1.2mm 오리피스, TwisTorr 및 Turbo-V 랙 마운트 컨트롤러용. Agilent Varian 부품 번호 PN: X3501-68002. 이러한 Agilent Varian 터보 펌프 배기 밸브 키트에는 1.2mm 오리피스, M8 x 1.2mm 나사산, 케이블 길이 5m, 상시 열림(NO) 및 터보 컨트롤러 전원이 켜질 때 닫힙니다. 전력이 손실되는 경우 이 벤트 밸브가 열리고 터보가 안전하게 정지할 수 있는 속도로 공기가 유입되기 시작합니다. 이는 펌프의 베어링에 부담을 주는 공진 주파수를 통과하는 동안 소요되는 시간을 제한하여 터보의 수명을 연장하는 데 도움이 됩니다(이 공진을 통과할 때 펌프가 실제로 더 크게 들리는 것을 들을 수 있습니다). 정전 후 배기는 배킹 펌프의 역류를 방지하는 데에도 중요합니다. 정전 후 터보에 진공이 남아 있으면 배킹 펌프의 오일이나 잔해물이 터보 펌프로 다시 흡입될 수 있습니다. 정전 시 터보를 보호하기 위해 벤트 밸브 및/또는 러핑 라인 NC(상시 폐쇄형) 차단 밸브를 권장합니다. 이 키트에는 Agilent Varian 터보 펌프 측면에 장착하는 데 필요한 하드웨어가 포함되어 있습니다. 이는 Agilent Varian 랙 장착형 터보 펌프 컨트롤러의 뒷면에 연결하도록 설계되었습니다. 중앙 사진의 J4 PURGE VENT를 참조하세요. Agilent Varian 부품 번호는 X3501-68002입니다. 아래 PDF 다운로드 섹션에서 사용 가능한 사용 설명서를 참조하세요. 다음 Agilent Varian 터보 펌프와 함께 작동합니다. TwisTorr 404 FS TwisTorr 704 FS TwisTorr 804 FS Turbo-V 1001

Agilent Varian 터보 퍼지 밸브, 10 SCCM KF-16 x M12, 대부분의 중형 애질런트 터보분자 진공 펌프에 적합합니다. Agilent Varian 부품 번호 PN: 969-9239. 이러한 Agilent Varian 터보 퍼지 밸브는 고정된 10 SCCM 유량, KF-16 플랜지형 가스 공급 장치를 갖추고 있으며 M12 배출 포트 나사산이 있는 대부분의 중간 크기 터보분자 진공 펌프와 함께 작동하도록 설계되었습니다. 환기 포트의 두 번째 및 세 번째 사진과 설치를 보여주는 만화를 참조하십시오. 지침은 247페이지의 TwisTorr 305 FS 매뉴얼에도 나와 있습니다. 가스 퍼지 밸브는 펌프 베어링을 미립자 및 부식성 가스로부터 보호하는 보호 장치입니다. 펌프로 이동합니다. 모든 밸브는 정확하고 작은 누출률을 제공하기 위해 카트리지에 장착된 얇은 교정 사파이어 오리피스로 만들어졌으며 각 튜브 측면에 두 개의 특수 PTFE 멤브레인이 있습니다. 이는 미립자, 분말 및 액체가 얇은 구멍으로 들어와 막히는 것을 방지하기 위한 것입니다. 밸브의 각 버전은 특정 응용 분야에 적합합니다. - 부식성 가스의 부분 압력이 최대 10-5mbar일 때 약한 부식성 작동을 위한 작은 누출(1000mbar에서 ~ 10sccm)(분석 기기, 이온 주입기) - 부식성 가스의 부분 압력이 >10-5mbar일 때 심한 부식 작업(에칭, CVD)에 대한 대규모 누출(1000mbar에서 ~ 20sccm). 다른 유량을 사용하려면 공급 압력을 변경할 수 있습니다. 주어진 공급 압력에 대해 가스 퍼지 밸브는 고정된 유량 값을 제공할 수 있습니다. 유량은 밸브의 진공측 압력에 의존하지 않으므로 주의해 주십시오. 이러한 터보 퍼지 밸브에는 Agilent Varian 부품 번호 PN 969-9239가 있습니다. 다음 Agilent Varian 터보 펌프와 함께 작동합니다.TwisTorr 74 FS TwisTorr 84 FS TwisTorr 305 FS TwisTorr 305-IC TwisTorr 404 FS TwisTorr 704 FS TwisTorr 804 FS Turbo-V 1001

Agilent Varian 터보 퍼지 밸브, 10 SCCM 1/4 Swagelok x M12, 대부분의 중간 크기 애질런트 터보분자 진공 펌프에 적합합니다. Agilent Varian 부품 번호 PN: 9699240. 이 Agilent Varian 터보 퍼지 밸브는 고정된 10 SCCM 유속, 1/4 Swagelok 가스 공급 피팅을 가지며 M12 배출 포트 나사산이 있는 대부분의 중간 크기 터보 분자 진공 펌프와 함께 작동하도록 설계되었습니다. . 환기 포트의 두 번째 및 세 번째 사진과 설치를 보여주는 만화를 참조하십시오. 지침은 247페이지의 TwisTorr 305 FS 매뉴얼에도 나와 있습니다. 가스 퍼지 밸브는 펌프 베어링을 미립자 및 부식성 가스로부터 보호하는 보호 장치입니다. 펌프로 이동합니다. 모든 밸브는 정확하고 작은 누출률을 제공하기 위해 카트리지에 장착된 얇은 교정 사파이어 오리피스로 만들어졌으며 각 튜브 측면에 두 개의 특수 PTFE 멤브레인이 있습니다. 이는 미립자, 분말 및 액체가 얇은 구멍으로 들어와 막히는 것을 방지하기 위한 것입니다. 밸브의 각 버전은 특정 응용 분야에 적합합니다. - 부식성 가스의 부분 압력이 최대 10-5mbar일 때 약한 부식성 작동을 위한 작은 누출(1000mbar에서 ~ 10sccm)(분석 기기, 이온 주입기) - 부식성 가스의 부분 압력이 >10-5mbar일 때 심한 부식 작업(에칭, CVD)에 대한 대규모 누출(1000mbar에서 ~ 20sccm). 다른 유량을 사용하려면 공급 압력을 변경할 수 있습니다. 주어진 공급 압력에 대해 가스 퍼지 밸브는 고정된 유량 값을 제공할 수 있습니다. 유량은 밸브의 진공측 압력에 의존하지 않으므로 주의해 주십시오. 이러한 터보 퍼지 밸브에는 Agilent Varian 부품 번호 PN 969-9240이 있습니다. 다음 Agilent Varian 터보 펌프와 함께 작동합니다.TwisTorr 74 FS TwisTorr 84 FS TwisTorr 305 FS TwisTorr 305-IC TwisTorr 404 FS TwisTorr 704 FS TwisTorr 804 FS Turbo-V 1001

Agilent Varian 터보 퍼지 밸브, 20 SCCM KF-16 x M12, 대부분의 중형 애질런트 터보분자 진공 펌프에 적합합니다. Agilent Varian 부품 번호 PN: 9699241. 이 Agilent Varian 터보 퍼지 밸브는 고정된 20 SCCM 유량과 KF-16 가스 공급 장치를 갖추고 있으며 M12 배출 포트 나사산이 있는 대부분의 중간 크기 터보분자 진공 펌프와 함께 작동하도록 설계되었습니다. 환기 포트의 두 번째 및 세 번째 사진과 설치를 보여주는 만화를 참조하십시오. 지침은 247페이지의 TwisTorr 305 FS 매뉴얼에도 나와 있습니다. 가스 퍼지 밸브는 펌프 베어링을 미립자 및 부식성 가스로부터 보호하는 보호 장치입니다. 펌프로 이동합니다. 모든 밸브는 정확하고 작은 누출률을 제공하기 위해 카트리지에 장착된 얇은 교정 사파이어 오리피스로 만들어졌으며 각 튜브 측면에 두 개의 특수 PTFE 멤브레인이 있습니다. 이는 미립자, 분말 및 액체가 얇은 구멍으로 들어와 막히는 것을 방지하기 위한 것입니다. 밸브의 각 버전은 특정 응용 분야에 적합합니다. - 부식성 가스의 부분 압력이 최대 10-5mbar일 때 약한 부식성 작동을 위한 작은 누출(1000mbar에서 ~ 10sccm)(분석 기기, 이온 주입기) - 부식성 가스의 부분 압력이 >10-5mbar일 때 심한 부식 작업(에칭, CVD)에 대한 대규모 누출(1000mbar에서 ~ 20sccm). 다른 유량을 사용하려면 공급 압력을 변경할 수 있습니다. 주어진 공급 압력에 대해 가스 퍼지 밸브는 고정된 유량 값을 제공할 수 있습니다. 유량은 밸브의 진공측 압력에 의존하지 않으므로 주의해 주십시오. 이러한 터보 퍼지 밸브에는 Agilent Varian 부품 번호 PN 969-9241이 있습니다. 다음 Agilent Varian 터보 펌프와 함께 작동합니다.TwisTorr 74 FS TwisTorr 84 FS TwisTorr 305 FS TwisTorr 305-IC TwisTorr 404 FS TwisTorr 704 FS TwisTorr 804 FS Turbo-V 1001

Agilent Varian 터보 퍼지 밸브, 20 SCCM 1/4 Swagelok x M12, 대부분의 중형 애질런트 터보분자 진공 펌프에 적합합니다. Agilent Varian 부품 번호 PN: 9699242. 이 Agilent Varian 터보 퍼지 밸브는 고정된 20 SCCM 유속, 1/4 Swagelok 가스 공급 피팅을 가지며 M12 배출 포트 나사산이 있는 대부분의 중간 크기 터보 분자 진공 펌프와 함께 작동하도록 설계되었습니다. . 환기 포트의 두 번째 및 세 번째 사진과 설치를 보여주는 만화를 참조하십시오. 지침은 247페이지의 TwisTorr 305 FS 매뉴얼에도 나와 있습니다. 가스 퍼지 밸브는 펌프 베어링을 미립자 및 부식성 가스로부터 보호하는 보호 장치입니다. 펌프로 이동합니다. 모든 밸브는 정확하고 작은 누출률을 제공하기 위해 카트리지에 장착된 얇은 교정 사파이어 오리피스로 만들어졌으며 각 튜브 측면에 두 개의 특수 PTFE 멤브레인이 있습니다. 이는 미립자, 분말 및 액체가 얇은 구멍으로 들어와 막히는 것을 방지하기 위한 것입니다. 밸브의 각 버전은 특정 응용 분야에 적합합니다. - 부식성 가스의 부분 압력이 최대 10-5mbar일 때 약한 부식성 작동을 위한 작은 누출(1000mbar에서 ~ 10sccm)(분석 기기, 이온 주입기) - 부식성 가스의 부분 압력이 >10-5mbar일 때 심한 부식 작업(에칭, CVD)에 대한 대규모 누출(1000mbar에서 ~ 20sccm). 다른 유량을 사용하려면 공급 압력을 변경할 수 있습니다. 주어진 공급 압력에 대해 가스 퍼지 밸브는 고정된 유량 값을 제공할 수 있습니다. 유량은 밸브의 진공측 압력에 의존하지 않으므로 주의해 주십시오. 이러한 터보 퍼지 밸브에는 Agilent Varian 부품 번호 PN 969-9242가 있습니다. 다음 Agilent Varian 터보 펌프와 함께 작동합니다.TwisTorr 74 FS TwisTorr 84 FS TwisTorr 305 FS TwisTorr 305-IC TwisTorr 404 FS TwisTorr 704 FS TwisTorr 804 FS Turbo-V 1001

Agilent Varian 터보 퍼지 밸브, 10 SCCM에는 7/16 및 1/4 Swagelok 피팅이 있으며 대부분의 중형 애질런트 터보분자 진공 펌프에 맞습니다. Agilent Varian 부품 번호 PN: 9699232. 이 Agilent Varian 터보 퍼지 밸브는 고정된 10 SCCM 유속을 가지며 7/16 및 1/4 Swagelok 가스 공급 피팅을 갖추고 있으며 대부분의 중간 크기의 퍼지 가스 공급 라인에 삽입되도록 설계되었습니다. 터보분자 진공 펌프. 환기 포트의 두 번째 및 세 번째 사진과 설치를 보여주는 만화를 참조하십시오. 지침은 247페이지의 TwisTorr 305 FS 매뉴얼에도 나와 있습니다. 가스 퍼지 밸브는 펌프 베어링을 미립자 및 부식성 가스로부터 보호하는 보호 장치입니다. 펌프로 이동합니다. 모든 밸브는 정확하고 작은 누출률을 제공하기 위해 카트리지에 장착된 얇은 교정 사파이어 오리피스로 만들어졌으며 각 튜브 측면에 두 개의 특수 PTFE 멤브레인이 있습니다. 이는 미립자, 분말 및 액체가 얇은 구멍으로 들어와 막히는 것을 방지하기 위한 것입니다. 밸브의 각 버전은 특정 응용 분야에 적합합니다. - 부식성 가스의 부분 압력이 최대 10-5mbar일 때 약한 부식성 작동을 위한 작은 누출(1000mbar에서 ~ 10sccm)(분석 기기, 이온 주입기) - 부식성 가스의 부분 압력이 >10-5mbar일 때 심한 부식 작업(에칭, CVD)에 대한 대규모 누출(1000mbar에서 ~ 20sccm). 다른 유량을 사용하려면 공급 압력을 변경할 수 있습니다. 주어진 공급 압력에 대해 가스 퍼지 밸브는 고정된 유량 값을 제공할 수 있습니다. 유량은 밸브의 진공측 압력에 의존하지 않으므로 주의해 주십시오. 이러한 터보 퍼지 밸브에는 Agilent Varian 부품 번호 PN 969-9232가 있습니다. 다음 Agilent Varian 터보 펌프와 함께 작동합니다.TwisTorr 74 FS TwisTorr 84 FS TwisTorr 305 FS TwisTorr 305-IC TwisTorr 404 FS TwisTorr 704 FS TwisTorr 804 FS Turbo-V 1001

Agilent Varian 터보 퍼지 밸브, 20 SCCM에는 7/16 및 1/4 Swagelok 피팅이 있으며 대부분의 중형 애질런트 터보분자 진공 펌프에 맞습니다. Agilent Varian 부품 번호 PN: 9699236. 이 Agilent Varian 터보 퍼지 밸브는 고정된 20 SCCM 유속을 가지며 7/16 및 1/4 Swagelok 가스 공급 피팅을 갖추고 있으며 대부분의 중간 크기의 퍼지 가스 공급 라인에 삽입되도록 설계되었습니다. 터보분자 진공 펌프. 환기 포트의 두 번째 및 세 번째 사진과 설치를 보여주는 만화를 참조하십시오. 지침은 247페이지의 TwisTorr 305 FS 매뉴얼에도 나와 있습니다. 가스 퍼지 밸브는 펌프 베어링을 미립자 및 부식성 가스로부터 보호하는 보호 장치입니다. 펌프로 이동합니다. 모든 밸브는 정확하고 작은 누출률을 제공하기 위해 카트리지에 장착된 얇은 교정 사파이어 오리피스로 만들어졌으며 각 튜브 측면에 두 개의 특수 PTFE 멤브레인이 있습니다. 이는 미립자, 분말 및 액체가 얇은 구멍으로 들어와 막히는 것을 방지하기 위한 것입니다. 밸브의 각 버전은 특정 응용 분야에 적합합니다. - 부식성 가스의 부분 압력이 최대 10-5mbar일 때 약한 부식성 작동을 위한 작은 누출(1000mbar에서 ~ 10sccm)(분석 기기, 이온 주입기) - 부식성 가스의 부분 압력이 >10-5mbar일 때 심한 부식 작업(에칭, CVD)에 대한 대규모 누출(1000mbar에서 ~ 20sccm). 다른 유량을 사용하려면 공급 압력을 변경할 수 있습니다. 주어진 공급 압력에 대해 가스 퍼지 밸브는 고정된 유량 값을 제공할 수 있습니다. 유량은 밸브의 진공측 압력에 의존하지 않으므로 주의해 주십시오. 이러한 터보 퍼지 밸브에는 Agilent Varian 부품 번호 PN 969-9236이 있습니다. 다음 Agilent Varian 터보 펌프와 함께 작동합니다.TwisTorr 74 FS TwisTorr 84 FS TwisTorr 305 FS TwisTorr 305-IC TwisTorr 404 FS TwisTorr 704 FS TwisTorr 804 FS Turbo-V 1001