에바라 ESR20N 다단 건식 진공 펌프, 펌핑 속도 45~70 CFM(1300~2000 l/m), 청정~중간 부하 공정, 수냉식, 3상, 200~220V, 60Hz. 에바라 부품 번호: 202093. 에바라 ESR 시리즈(에너지 절약형 Roots)는 청정~중간 부하 공정에 적합하도록 설계된 다단 건식 진공 펌프입니다. 에바라 ESR 시리즈는 45~706 CFM의 넓은 펌핑 속도와 최저 1.5 mTorr의 낮은 도달 압력을 지원합니다. 이 매물은 Ebara ESR20N 다단 건식 진공 펌프(120cfm, 2000l/m, 청정 및 중부하 공정용, 수냉식, 200-220V/3상, 제품번호: 202093) 판매를 위한 것입니다. 적용 분야: 스퍼터링, PVD, 로드락 앤 트랜스퍼, 애싱, 이온 주입, 에칭, 가스 및 공정. Ebara ESR 시리즈 건식 로터리 로브 펌프의 장점과 특징. 오일 프리, 낮은 소유 비용(전력, 질소, 용수, 설치 공간, 부피, 무게) 청정 적용 분야에서 ESR20N은 질소 퍼지가 필요하지 않습니다. 적용 분야 요구 사항에 맞는 가변 펌핑 속도 고성능 브러시리스 DC 모터 최첨단 제어 및 모니터링 장치 유휴 모드를 사용하여 유틸리티 비용 절감 가능 SEMI S2 인증, NRTL 인증, CE 마크 획득

Ebara ESR20N S2 다단계 건식 진공 펌프, 펌핑 속도 45 ~ 70 CFM(1300 ~ 2000 l/m), KF-40, 청정 ~ 중부하 공정, 수냉식, 3상, 200 ~ 220V, 60Hz. Ebara 부품 번호: 202093. Ebara ESR 시리즈(에너지 절약 루트)는 청정 공정에서 중간 작업 공정에 이르는 응용 분야에 맞게 설계된 다단계 건식 진공 펌프입니다. Ebara ESR 시리즈는 1.5mTorr의 낮은 최종 압력으로 45~706CFM의 넓은 펌핑 속도 범위를 포괄합니다. 이 목록은 Ebara ESR20N S2 다단계 건식 진공 펌프, 세척에서 중간 부하 공정, 수냉식, 200-220V/3Ph, Ebara 부품 번호: 202093의 판매용입니다. 응용 분야 스퍼터링 PVD 로드 잠금 및 이송 애싱 이온 주입기 에칭 청정 가스 및 Ebara EV-A 시리즈 건식 로터리 로브 펌프의 공정 이점 및 특징. 낮은 소유 비용 [전력, S2, 물, 설치 공간, 부피, 무게] 청정 응용 분야에서 ESR20N에 질소 퍼지가 필요하지 않음 응용 분야 요구 사항에 맞는 가변 펌핑 속도 고성능 브러시리스 DC 모터 최첨단 제어 및 모니터링 장치 유휴 유틸리티 절감 증대를 위해 모드를 채택할 수 있음 SEMI S2 평가, NRTL 등록, CE 마크 획득

에바라 ESR20N-HT 다단 건식 진공 펌프, 펌핑 속도 45~70 CFM(1300~2000 l/m), 가열식 소음기 포함, 청정~중간 부하 공정, 수냉식, 3상, 200~220V, 60Hz. 에바라 부품 번호: 203537. 에바라 ESR 시리즈(에너지 절약형 Roots)는 청정~중간 부하 공정에 적합하도록 설계된 다단 건식 진공 펌프입니다. 에바라 ESR 시리즈는 35~1,625 CFM의 넓은 펌핑 속도 범위를 지원하며, 도달 압력은 최저 1mTorr입니다. 이 매물은 Ebara ESR20N-HT 다단 건식 진공 펌프(120cfm, 2000l/m, 가열식 소음기 포함, 청정 및 중부하 공정, 수냉식, 200-220V/3상, 제품 번호: 203537) 판매를 위한 것입니다. 적용 분야: 스퍼터링, PVD, 로드락 앤 트랜스퍼, 애싱, 이온 주입, 에칭, 가스 및 공정. Ebara ESR 시리즈 건식 로터리 로브 펌프의 장점과 특징. 오일 프리, 낮은 소유 비용(전력, 질소, 용수, 설치 공간, 부피, 무게) 청정 적용 분야에서 ESR20N은 질소 퍼지가 필요하지 않습니다. 적용 분야 요구 사항에 맞는 가변 펌핑 속도. 고성능 브러시리스 DC 모터. 최첨단 제어 및 모니터링 장치. 공과금 절감을 위해 유휴 모드 사용 가능. SEMI S2 인증, NRTL 인증, CE 마크 획득.