에바라 ESR20N-HT 다단 건식 진공 펌프, 펌핑 속도 45~70 CFM(1300~2000 l/m), 가열 소음기 포함, 청정~중간 부하 공정, 수냉식, 3상, 200~220V, 60Hz.
에바라 부품 번호: 203537. 에바라 ESR 시리즈(에너지 절약형 Roots)는 청정 공정부터 중간 부하 공정까지 다양한 용도에 맞게 설계된 다단 건식 진공 펌프입니다. 에바라 ESR 시리즈는 35~1,625 CFM의 넓은 펌핑 속도 범위와 최저 1mTorr의 도달 압력을 제공합니다. 본 판매 상품은 에바라 ESR20N-HT 다단 건식 진공 펌프(120cfm, 2000l/m, 가열식 소음기 포함, 청정 공정부터 중간 부하 공정까지, 수냉식, 200-220V/3상, 제품 번호: 203537)입니다.
응용 프로그램
- 스퍼터링
- PVD
- 로드 잠금 및 전송
- 애싱
- 이온 주입기
- 에칭
- 깨끗한 가스 및 프로세스
에바라 ESR 시리즈 건식 로터리 로브 펌프의 장점과 특징.
- 오일 프리
- 낮은 소유 비용[전력, N2, 물, 발자국, 부피, 무게]
- 깨끗한 응용 분야에서는 ESR20N에 질소 퍼지가 필요하지 않습니다.
- 적용 요구 사항에 맞게 가변 펌핑 속도
- 고성능 무브러시 DC 모터
- 최첨단 제어 및 모니터링 장치
- 유휴 모드는 유틸리티 비용 절감을 위해 사용될 수 있습니다.
- SEMI S2 평가, NRTL 등록, CE 마크 획득
