전기 열전대 및 전력 피드스루, K형, 5kV-30A, 직경 0.747인치. 용접형, 초고압(UHV) 등급, 열전대 1쌍 및 전력 1쌍 열전대 커넥터. K형(니켈-크롬/니켈-알루멜) 열전대는 정확성, 신뢰성 및 저렴한 가격으로 널리 사용됩니다. 이 견고한 5kV-30A 전력 피드스루는 초고진공(UHV) 등급이며 450°C까지 베이킹이 가능하고, 용접 가능한 직경 0.747인치 절연 서브 어셈블리를 갖추고 있습니다.
열전대(Thermocouple)는 온도 측정 시스템에 일반적으로 사용되는 전기 피드스루를 지칭하는 용어입니다. 열전대 피드스루 자체는 온도를 측정하지 않고, 진공 시스템 내부에서 외부 계측 장치로 열전대의 전압 신호를 전달하는 역할을 합니다. 이러한 피드스루는 세라믹-금속 밀봉 기술을 사용하여 열전대 어셈블리에 사용되는 다양한 금속을 고순도 알루미나 세라믹 절연체에 접합합니다. 열전대 피드스루는 초고진공 환경에 적합합니다. 용접식, KF형, CF형, 베이스플레이트형, NPT 어댑터형 등 다양한 장착 옵션을 사용할 수 있습니다.
주요 기능은 다음과 같습니다: 공통 치수: A = 5.75인치, B = 4.75인치, C = 0.747인치
관통 직경: 0.747인치
재질: 크롬멜, 알루멜, 구리, 커넥터 포함
진공 피드스루(또는 피드스루)는 진공 챔버 외부(공기 측)에서 진공 챔버 내부(진공 측)의 장비로 전류, 신호, 유체, 가스 또는 기계적 운동을 전달하는 데 사용되는 다양한 형태를 가지고 있습니다. 피드스루의 진입점은 적절한 관통 구멍을 통해 진공 밀봉되어야 합니다. 피드스루는 용접(용접식)하거나 CF, KF 또는 ISO 진공 플랜지를 사용하여 진공 챔버에 연결할 수 있습니다.
CF 콘플랫 플랜지는 일반적으로 10⁻¹² Torr까지의 초고진공 압력이 요구되는 공정에 사용되며, 너트와 볼트, 구리 개스킷을 사용하여 진공 밀봉됩니다. 외경은 1.33인치(미니 콘플랫), 2.75, 4.5, 6, 8, 10, 12, 13.25, 14 및 16.5인치 등 다양한 크기로 제공됩니다.
KF(퀵 플랜지)는 10⁻⁹ Torr까지의 고진공 압력에 사용되며 클램프와 엘라스토머 O링을 통해 진공 밀봉됩니다. KF10, KF16, KF25, KF40, KF50 등의 다양한 크기로 제공됩니다.
ISO 또는 대형 플랜지는 10⁻⁶ Torr까지의 고진공 압력에 사용되며, 볼트 구멍이 있는 플랜지는 너트와 볼트로, 볼트 구멍이 없는 매끄러운 플랜지는 클로 클램프로 진공 밀봉됩니다. 진공 밀봉에는 엘라스토머 O링이 사용됩니다. 크기는 63mm, 80mm, 100mm, 160mm, 200mm, 250mm, 320mm, 400mm, 500mm, 630mm 등 다양합니다. 모든 플랜지는 내식성 스테인리스강으로 제작됩니다.
수천 가지의 피드스루가 존재하기 때문에 특정 진공 공정에 적합한 피드스루를 선택하는 것은 매우 어려울 수 있습니다. 필요한 사항에 대해 궁금한 점이 있으시면 당사 엔지니어에게 문의하여 귀사의 진공 공정에 맞는 적절한 피드스루를 찾도록 도움을 받으십시오. 당사는 특수 맞춤형 피드스루, 진공 챔버 및 액세서리 전문 업체입니다. 505-872-0037로 전화 주십시오.
전력 피드스루는 대기(외부)에서 진공(내부)으로 전기를 전달하는 전기 피드스루의 한 종류입니다. 전력 피드스루는 하나 이상의 도체가 진공 장치 챔버 벽으로 들어가는 구조입니다. 도체는 진공 플랜지 또는 베이스 플레이트에 용접되거나 연결된 전기 절연체에 밀봉됩니다. 도체 재질은 와이어, 로드 또는 튜브 형태로 제공됩니다. 도체 재질은 전류, 내식성 및 자성을 기준으로 선택됩니다. 재질 선택 시 고려해야 할 사항은 작동 전압, 최대 전류, 기본 압력 및 작업 환경입니다. 전압이나 전류를 기준치보다 낮게 지정하면 아크 발생, 용융 또는 절연체 파손이 발생할 수 있습니다. 재질 선택에 어려움이 있는 경우 당사에 문의하십시오.
열전대: 열전대 피드스루는 다양한 온도 측정 공정에 사용되는 견고하고 비용 효율적인 온도 센서입니다. 서로 다른 금속으로 이루어진 두 전선을 양쪽 끝에서 접합하고 한쪽 끝을 가열하면 열전 회로에 지속적인 전류가 흐릅니다. 이 회로의 중앙을 차단하면 순 개방 회로 전압(제벡 전압)은 접합부 온도와 두 금속의 조성에 따라 달라집니다. 즉, 두 금속의 접합부를 가열하거나 냉각하면 온도와 상관관계가 있는 전압이 발생합니다. 적절하게 구성하면 열전대는 넓은 온도 범위에서 측정을 제공할 수 있습니다.
열전대 피드스루는 하나 이상의 전선 쌍을 포함할 수 있으며, 몰드 플러그, 푸시온, 분할 커넥터 등을 사용할 수 있고, 내부(진공) 또는 외부(대기)에 러그 또는 스크류 커넥터가 있을 수 있습니다. 고려해야 할 사항으로는 온도 범위, 온도 측정 지점 수, 외피 재질, 전선 직경, 금속 종류, 그리고 동일한 피드스루 내의 전력 도체 등이 있습니다. 다양한 금속 재질과 온도 범위를 가진 여러 종류의 열전대 피드스루가 있습니다. 선택에 어려움이 있으시면 저희에게 문의해 주십시오.
수단: 계측용 피드스루(멀티핀 피드스루라고도 함)는 진공 벽을 가로질러 전기 신호 및/또는 저전력 애플리케이션을 전송합니다. 전자 현미경, 표면 분석 및 반도체 공정 제어와 같은 계측 분야에 사용됩니다. 진공 벽의 양쪽(내부(진공) 또는 외부(대기))에 핀 또는 동축 전기 커넥터로 구성될 수 있습니다. 선택 전 고려해야 할 사항으로는 케이블-쉴드 간 최대 전압, 쉴드-접지 간 최대 전압, 신호 전압, 접지, 임피던스, 온도 범위, 연결 개수, 커넥터 유형 등이 있습니다. 주문 시 필요한 커넥터가 포함되어 있는지 여부를 반드시 확인해야 합니다. 다양한 유형의 계측용 연결 피드스루가 있으므로 궁금한 사항이 있으면 문의해 주십시오.
액체 또는 기체: 액체 또는 가스 피드스루는 진공 장착 장치 또는 챔버에 가스 또는 액체를 공급합니다. 이 가스 또는 액체는 진공 챔버 내부의 온도를 특정 온도로 유지하는 데 사용될 수 있습니다. 피드스루는 CF 또는 KF 플랜지 또는 베이스플레이트 포트에 장착되며, 하나 이상의 튜브가 관통 구멍에 용접되어 플랜지/베이스포트 양쪽으로 돌출되어 있습니다. 튜브는 다양한 직경으로 제공되며, 일반적으로 작은 플랜지 또는 가스 피팅으로 마감됩니다. 고려 사항으로는 장치 벽면의 사용하지 않는 플랜지와 일치하는 플랜지, 피드스루 개수, 튜브 직경, 피드스루 진입 포트 크기 및 양쪽 구성 요소에 맞는 마감 등이 있습니다. 궁금한 점이 있으면 언제든지 문의해 주십시오.
회전 운동: 회전 구동 피드스루는 공기 측 샤프트가 진공 측 샤프트를 회전시키는 장치입니다. 회전 구동 장치는 작동 메커니즘, 진공 밀봉, 호환 압력 범위 및 적용 분야에 따라 여러 유형으로 구분됩니다. 밀봉을 위해 이중 O링을 사용하는 엘라스토머 밀봉 방식과, 더 높은 회전 속도와 토크 용량을 위해 페로유체 O링 기술을 사용하는 페로 밀봉 방식이 있습니다. 피드스루는 반복적인 움직임이나 대략적인 위치 조정을 제공할 수 있으며, 회전 운동, 직선 운동 또는 이 둘의 조합을 구현할 수 있습니다. 작동 방식은 수동 회전식부터 공압식, 전기 모터식까지 다양합니다. 궁금한 점이 있으면 언제든지 문의해 주십시오.
부속품: 피드스루를 설치하려면 필요한 연결을 위해 추가 하드웨어가 필요할 수 있습니다. 당사는 진공 챔버 내부 및 외부에 필요한 케이블, 전기/동축 커넥터 및 핀을 보유하고 있습니다. 어떤 액세서리를 구매해야 할지 확실하지 않으시면 당사로 문의하십시오.
맞춤형 피드스루: 진공 공정에 적합한 피드스루를 선택하는 것은 매우 어려운 작업일 수 있습니다. 저희가 그 선택을 도와드리겠습니다. 또한, 고객의 특정 진공 공정에 맞는 맞춤형 피드스루를 설계 및 제작하는 데에도 전문성을 갖추고 있습니다. 피드스루 선택 지원부터 새로운 피드스루 제작까지, 저희 기술/엔지니어들이 풍부한 경험을 바탕으로 고객의 진공 공정 목표 달성을 신속하게 지원해 드립니다. 지금 바로 505-872-0037로 전화 주세요.
