고압 작동을 위한 이상적인 진공 AnalyzaVAC 잔류 가스 분석기(RGA) 키트, 1-300 AMU, 패러데이 컵 검출기, 수동 가변 누출 밸브, Agilent TPS 미니 터보 펌핑 스테이션, AutoZ+ 기본 소프트웨어가 포함되어 있습니다.

Ideal Vacuum AnalyzaVAC RGA는 진공 챔버 내부 잔류 가스의 정체와 농도를 확인하는 데 도움을 줄 수 있는 소형 질량 분석기입니다. 누출 감지, 가스 방출 분석, 코팅 및 에칭 응용 분야의 공급 가스 품질 관리, 공정 문제 해결 등에 사용할 수 있습니다.

챔버에 직접 연결된 RGA는 총 압력이 1×10 ^-6 Torr 미만, 최적으로는 약 2×10 ^-7 Torr에서 연속 작동하도록 설계되었습니다. 더 높은 압력에서 RGA를 작동하면 이온화 장치, 필라멘트 및 사중극자 수명이 크게 감소합니다. AnalyzaVAC의 내장 압력 게이지는 RGA(대부분의 경우)에 대한 치명적인 손상을 방지하기 위해 내부적으로 그리고 포함된 AutoZ ⁺ 소프트웨어에서 모두 사용됩니다.

중간 진공에서 대기압까지의 챔버에서 가스를 측정하려면 RGA를 자체 고진공 펌핑 시스템을 갖춘 별도의 작은 챔버에 배치해야 합니다. 그런 다음 RGA 진공 시스템은 누출 밸브를 통해 챔버에 연결됩니다. 이를 통해 RGA는 섬세한 사중극자 프로브 주위에 높은 진공을 유지하면서 메인 챔버의 가스를 샘플링할 수 있습니다.

이 키트에는 RGA를 사용하여 더 높은 압력에서 가스를 측정하는 데 필요한 모든 것이 포함되어 있습니다.

구성요소 및 특징:

• 이상적인 진공 분석기VAC RGA.
• 1-300 AMU 스캔 범위.
• 패러데이 컵 감지기.
• 내장된 피라니 게이지는 고압에서 RGA가 켜지는 것을 방지합니다.
• 신속한 고진공 압력 측정을 위한 내장형 열음극 이온 게이지.
• 원스위치 고진공 작동 기능을 갖춘 Agilent Varian TPS-Mini TwisTorr 74 FS 터보 분자 펌핑 스테이션.
• 수동 애질런트 가변 누출 밸브를 사용하면 1000Torr부터 고진공까지 챔버의 RGA 샘플링이 가능합니다.
• 다른 가스 소스로 인한 측정 오염을 최소화하기 위해 전체 금속 씰이 포함된 용접 매니폴드.
• Ideal Vacuum AutoZ ⁺ 기본 버전 소프트웨어.

Agilent Varian TPS-mini 펌핑 스테이션과 수동 Agilent 가변 누출 밸브를 결합하면 최소 9차수 규모의 압력에 걸쳐 챔버의 정확한 가스 샘플링이 가능합니다. 그러나 단일 격리 밸브 균열 지점은 해당 범위 내의 모든 압력에 적합하지 않습니다. 최상의 결과를 얻으려면 챔버 압력이 변경될 때마다 밸브를 수동으로 재설정해야 합니다. 챔버 압력이 현재 작동 압력에 비해 10배 이상 상승할 경우(예: 챔버 환기 중) RGA 및 펌핑 시스템의 손상을 방지하기 위해 먼저 누출 밸브를 닫아야 합니다. 챔버가 안정적인 압력에 도달한 후 RGA 이온화 장치를 꺼야 하며 RGA 하위 시스템 내부의 원하는 압력에 도달할 때까지 밸브를 다시 열어야 합니다. 그런 다음 RGA 이온화 장치를 다시 켜고 측정을 재개할 수 있습니다.

압력 사이클을 통해 누출 밸브를 특정 균열 지점에 유지하기 위해 추가 수동 벨로우즈 밸브를 사용하여 RGA를 챔버에서 격리할 수 있습니다.

이상적인 진공 AnalyzaVac RGA 정보:

AnalyzaVAC은 현장 교체 가능한 이중 토륨화 이리듐 필라멘트에 의해 열전자 방출된 전자를 사용하여 프로브 팁에 존재하는 가스를 이온화함으로써 작동합니다. 생성된 양이온은 다양한 무선 주파수와 사중극자 필터에 적용되는 DC 전압의 조합을 사용하여 질량 대 전하 비율로 분리됩니다. 양으로 하전된 이온은 사중극자의 중심을 따라 이동하며 전자 증배기에 의해 증폭되거나 프로브 끝에 있는 패러데이 컵 검출기에 의해 직접 감지됩니다. 각 가스는 해당 원소의 천연 동위원소 풍부도와 RGA의 고에너지 전자 이온화로 인한 분자 단편화가 결합된 고유한 스펙트럼 지문을 생성합니다.

모든 AnalyzaVAC 프로브에는 1.5×10 ^-12 Torr ^* 까지 반복 가능하고 정량적이며 선형성이 높은 감지 기능을 제공하는 패러데이 컵 감지기가 함께 제공됩니다. 선택적 전자 증배기는 정성적 측정을 위해 감도를 6×10 ^-15 Torr ^* 로 증가시킵니다. 표준 및 전자 증배기가 장착된 감지기 모두 적절하게 교정되면 10% 피크 높이(또는 그 이상)에서 0.5 AMU 분해능을 갖습니다.

Ideal Vacuum의 만료되지 않는 기본 AutoZ ⁺ 소프트웨어는 데스크톱 또는 노트북 컴퓨터에서 모든 AnalyzaVAC RGA 시스템을 제어할 수 있는 Windows 10 애플리케이션입니다. AutoZ ^+는 운영자에게 모든 획득 매개변수를 제어할 수 있는 기능을 제공합니다. AutoZ ^+는 실시간 데이터 스트리밍을 제공하며 사용자는 수집된 데이터를 아날로그 스펙트럼, 질량 히스토그램 및 시간 경과에 따른 추세로 볼 수 있습니다. 원치 않는 피크와 스펙트럼 기여도를 제거하기 위해 사용자는 이전에 수집된 스펙트럼을 기준 데이터에 사용할 수 있습니다.

Ideal Vacuum의 프리미엄 AutoZ ⁺ 소프트웨어 업그레이드 옵션에는 기본 소프트웨어의 모든 기능이 포함되어 있으며 고급 데이터 로깅, 평균화, Ideal Vacuum의 물질 라이브러리에 대한 액세스를 통한 스펙트럼 피팅, 라이브러리에 추가 화합물을 추가하는 기능이 추가되어 있습니다. Premium AutoZ ⁺ 는 강력한 최소 제곱 알고리즘을 사용하여 일반적인 잔류 가스의 부분 압력을 계산하고, 현재 표시된 스펙트럼에 대한 기여도를 식별하고, 알려지지 않은 피크를 분리합니다. 프리미엄 소프트웨어는 매년 갱신해야 하며, 그렇지 않으면 기본 버전으로 되돌아갑니다.

일부 RGA 애플리케이션:

• 누출 테스트
• 공정 모니터링
• 펌프다운 및 베이크아웃 모니터링
• 진공진단
• 공급 가스 품질 관리
• 가스 및 오염물질 식별

* AnalyzaVAC 프로브는 섬세한 기기입니다. 부적절한 사용, 프로브의 잘못된 취급 또는 장시간 동안 높은 압력에서 작동하면 프로브가 오염되거나 손상될 수 있습니다. 그러므로 프로브. 원래 포장에서 꺼낸 후에는 보증이 적용되지 않습니다.
Agilent TPS Mini Turbo에는 제조업체의 전체 보증이 적용됩니다. 다른 구성 요소의 보증은 제품 결함에 대해 적용됩니다.

RGA의 최적 전체 작동 압력은 대부분의 가스에 대해 2×10 ^-7 Torr입니다. 가변 누출 밸브와 터보 펌프 시스템을 사용하여 RGA 시스템 내부에서 압력을 낮추면 외부 압력이 훨씬 높아질 수 있습니다. 장기간 동안 더 높은 RGA 시스템 압력에서 작동하면 프로브의 조기 노화, 이득 손실, 스펙트럼 드리프트, 충진재 및 이온화 장치 소진이 발생합니다. RGA는 해당 시간 동안 다음 압력 영역에서 사용할 수 있습니다.
10 ^-4 Torr, 몇 시간
10 ^-5 Torr, 며칠
10 ^-6 Torr, 수개월
10 ^-7 Torr, 수년
10 ^-8 Torr, 무기한
충진재와 이온화 장치의 그을음 오염을 방지하려면 유기 증기를 대기 가스보다 2배 낮은 압력으로 유지해야 합니다. 충진재와 이온화 장치에 유리가 쌓이는 것을 방지하려면 실리콘 증기를 대기 가스보다 최소 10배 낮은 압력으로 유지해야 합니다. 부식성 증기는 일반 가스보다 RGA에 더 큰 피해를 줍니다. 압력을 적절하게 관리하면 RGA를 사용하여 값비싼 수리 비용을 들이지 않고도 이러한 가스를 측정할 수 있습니다.

* 질소 가스, 체류 시간 5초, 전체 피크 폭 1amu, 높이 10%, 전자 에너지 70eV, 이온 에너지 6eV, 전자 방출 2mA로 측정하고 기준 잡음으로부터 3개의 표준 편차를 계산합니다.