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예어       부품 번호:      

× 진공펌프 모듈형 진공 챔버 스테인레스 스틸 진공 챔버 이상 용접 알루미늄 챔버 ExploraVAC 무제한 챔버 ExploraVAC 진공 챔버 피팅 및 플랜지 피드스루 진공 밸브 재구축 키트, 부품, 모터 진공 유체, 오일 및 그리스 터보 펌프 및 컨트롤러 필터 트랩 소음기 대류 및 진공 오븐 누출 감지 및 RGA 진공 압력 측정 재순환 냉각기 및 수조
Pfeiffer Adixen 중형 A3P 시리즈 반도체 건식 진공 펌프는 검증된 다단계 Roots 기술을 기반으로 합니다. 펌프 내부는 부식성 가스에 강합니다. 이러한 이유로 펌프는 중간 부하 공정에서 높은 신뢰성을 갖습니다. 시리즈에서 사용 가능한 세 가지 모델은 광범위한 펌핑 속도를 제공하므로 반도체 산업의 중형 진공 펌프에 대한 대부분의 요구 사항을 충족합니다. Pfeiffer Adixen A3P 시리즈는 클린룸에서의 작동에 적합하며 CE 및 Semi S2 표준을 준수합니다.

건식 펌프는 중간 작업 공정에 적용할 때 높은 신뢰성을 자랑합니다. 이 시리즈의 펌프에는 온도 센서와 불활성 가스 플러싱 기능이 있습니다. 낮은 소음 방출과 낮은 진동 수준은 Pfeiffer Adixen A3P 시리즈의 또 다른 특징입니다.

Pfeiffer Adixen ADH, A4H 및 A4X 가혹한 공정 시리즈 건식 반도체 진공 펌프는 예를 들어 반도체 및 코팅 산업에서 사용되는 화학 공정입니다. 주로 공격적이고 부식성인 매체가 진공 상태에서 사용되고 처리되기 때문에 이러한 공정은 가혹합니다. 이러한 매체는 프로세스 시스템의 설계 및 품질에 대한 가장 높은 요구 사항을 갖습니다. 일반적인 가혹한 공정에는 에칭, 화학 기상 증착(CVD), 원자층 증착(ALD) 및 금속 유기 화학 기상 증착(MOCVD)이 있습니다.

혹독한 작업 공정에서는 공격적이고 부식성이 있는 화학 물질이 사용되므로 진공 펌프와 구성품은 부식 방지 기능이 있어야 합니다. 반도체 및 코팅 산업의 응용 분야에서는 분말 발생이 자주 증가하여 진공 펌프에 축적될 수 있습니다. 따라서 사용 중인 프로세스 펌프가 이 정도의 분말 양에 적합한지 확인해야 합니다. 펌프 내부의 응축을 최대한 방지하기 위해 퍼지 가스는 정교한 온도 관리와 함께 사용됩니다.

이에 대한 추가 정보
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Pfeiffer Vacuum 펌프 1804X V2 SC CC C SH 1 7, Pfeiffer-Adixen 건식 다단계 루츠 진공 펌프, Pfeiffer Adixen 건식 다단계 루츠 진공 펌프,  PN  F4XD7CSH1713110
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Pfeiffer Vacuum 펌프 1804X V2 SC CC C SH 1 7, Pfeiffer-Adixen 건식 다단계 루츠 진공 펌프, Pfeiffer Adixen 건식 다단계 루츠 진공 펌프,  PN  F4XD7CSH1713110

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Pfeiffer Adixen ADH, A4H 및 A4X 가혹한 공정 시리즈 건식 반도체 진공 펌프는 예를 들어 반도체 및 코팅 산업에서 사용되는 화학 공정입니다. 주로 공격적이고 부식성인 매체가 진공 상태에서 사용되고 처리되기 때문에 이러한 공정은 가혹합니다. 이러한 매체는 프로세스 시스템의 설계 및 품질에 대한 가장 높은 요구 사항을 갖습니다. 일반적인 가혹한 공정에는 에칭, 화학 기상 증착(CVD), 원자층 증착(ALD) 및 금속 유기 화학 기상 증착(MOCVD)이 있습니다.

혹독한 작업 공정에서는 공격적이고 부식성이 있는 화학 물질이 사용되므로 진공 펌프와 구성품은 부식 방지 기능이 있어야 합니다. 반도체 및 코팅 산업의 응용 분야에서는 분말 발생이 자주 증가하여 진공 펌프에 축적될 수 있습니다. 따라서 사용 중인 프로세스 펌프가 이 정도의 분말 양에 적합한지 확인해야 합니다. 펌프 내부의 응축을 최대한 방지하기 위해 퍼지 가스는 정교한 온도 관리와 함께 사용됩니다.

이에 대한 추가 정보Pfeiffer Vacuum 펌프 1804X V2 SC CC C SH 1 7  아래 PDF 카탈로그와 문서를 다운로드하여 보실 수 있습니다. 간단히 PDF를 열어보세요 아래 카탈로그에서 PDF 검색(ctrl F)을 실행하여 검색하세요. F4XD7CSH1713110.

가격

제품: Pfeiffer Vacuum 펌프 1804X V2 SC CC C SH 1 7, Pfeiffer Adixen 건식 다단계 루츠 진공 펌프, Pfeiffer Adixen 건식 다단계 루츠 진공 펌프,  PN  F4XD7CSH1713110

상태: New
보증: Pfeiffer Vacuum 보증
부품 번호: F4XD7CSH1713110
판매 가격: ₩135,459,619.66

통화 South Korean Won (KRW)

QTY:   

매뉴얼



사용 가능한 다운로드:
  Pfeiffer A 100L 표준 버전, 저전압, RS232/RS485 인터페이스 데이터 시트.pdf (0.58 MB)
  Pfeiffer A 200L 다단계 루츠 펌프 건식 반도체 진공 펌프 Brochure.pdf (0.68 MB)
  Pfeiffer A103P, A603P, A1003P 건식 반도체 진공 펌프 브로셔.pdf (0.31 MB)
  Pfeiffer A4 시리즈 건식 다단계 루츠 반도체 진공 펌프 Brochure.pdf (1.37 MB)
  Pfeiffer ADH 시리즈 고성능 건식 반도체 진공 펌프 Brochure.pdf (1.33 MB)
  파이퍼 ACP 120G, ACG 600G 건식 반도체 진공 펌프 사용 설명서.pdf (6.74 MB)
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문의하기
Ideal Vacuum Products , LLC
5910 Midway Park Blvd NE
Albuquerque, 뉴 멕시코 87109-5805 USA

핸드폰: (505) 872-0037
팩스: (505) 872-9001
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