MKS Granville Phillips 공정 제어 모듈 MKS Granville Phillips 307 진공 게이지 컨트롤러용 PCB 2 세트 포인트
MKS 그랜빌 필립스 부품 번호: 307018 이것은 MKS Granville Phillips 공정 제어 모듈이며 307 진공 게이지 컨트롤러에 (2개의 디지털 설정점) 또는 내장된 수동 오버라이드 스위치로 제어할 수 있는 단극, 쌍투 릴레이를 제공합니다. 이 프로세스 제어 모듈에는 사용자가 선택할 수 있는 채널이 2개 있습니다. 이 2개 채널은 이온 게이지에 할당됩니다. 채널 1을 IG1, IG2 또는 둘 다에 할당하기 위한 스위치가 제공됩니다. 채널 2의 경우에도 마찬가지입니다. 두 채널 모두 설정점 위 또는 아래에서 활성화할 수 있는 극성을 선택할 수 있습니다. 공정 제어 카드(모듈) 설치 절차는 사용 설명서.pdf의 16~27페이지를 참조하세요. 사양 및 사용방법은 사용설명서 5장을 참조하세요. 이것은 프로세스 제어 모듈(2 세트 포인트) 전용입니다. MKS Granville Phillips 307 컨트롤러, 케이블 및 액세서리는 이 웹사이트에서 별도로 판매됩니다. MKS Granville Phillips 307 진공 게이지 컨트롤러 지침 매뉴얼.pdf는 아래 다운로드에서 다운로드할 수 있습니다.