MKS Instruments 901P Plus MicroPirani™ Piezo Loadlock 진공 압력 변환기 1/8" NPT, RS-232,0 Rely, 디스플레이.
MKS 부품 번호: 901P-31024. MKS HPS® 시리즈 901P 플러스 트랜스듀서는 펌프 다운 사이클 모니터링을 위해 1,000~ 1x10-5Torr 의 압력 범위를 측정하는 통합 센서 출력을 제공합니다. 이 독창적인 특허 트랜스듀서는 로드락 환경에 맞춰 특별히 설계되었으며, 하나의 소형 패키지로 최대 3개의 센서를 대체할 수 있습니다. 901P는 MicroPirani™ 및 피에조 센서 기술을 통합하여 압력 측정 및 대기압 스위칭 기능을 모두 제공합니다. 차동 센서는 다양한 기압 조건에서 정확한 대기압 감지를 보장하여 최적의 로드락 성능을 보장합니다. 전원 공급 장치와 디스플레이가 모두 필요한 고객은 이 웹사이트에서 판매하는 PDR900 시리즈 컨트롤러와 함께 901P를 사용할 수 있습니다. 전체 사양 및 작동 정보는 아래 다운로드 자료를 참조하십시오.
사양 및 가격은 예고 없이 변경될 수 있습니다. HPS® 및 MicroPirani™는 MKS Instruments, Inc.의 등록 상표입니다. MKS HPS® 시리즈 901P Plus MicroPirani™ 피에조 로드록 진공 트랜스듀서
옵션, 부품 번호(PN): ISO-KF NW 16, RS-232 PN 901P-11030
ISO-KF NW 16, RS-485 PN 901P-12030
ISO-KF NW 25, RS-232 PN 901P-21030
ISO-KF NW 25, RS-485 PN 901P-22030
4 VCR-F, RS-232 PN 901P-41030
4 VCR-F, RS-485 PN 901P-42030
8 VCR-F, RS-232 PN 901P-51030
8 VCR-F, RS-485 PN 901P-52030
ISO-KF NW 16 외부, RS-232 PN 901P-81030
ISO-KF NW 16 외부, RS-485 PN 901P-82030
