MKS 1179C 질량 유량 전자식 절대 압력 컨트롤러, 10,000 sccm N2 상당, 15핀, 1/4" Swagelok® 커넥터, Viton® O-링.
MKS Instruments 부품 번호: 1179C01314CS1BV. MKS 1179C는 다양한 응용 분야에서 가스 유량을 측정하도록 설계된 전금속 질량 유량 컨트롤러입니다. 입력 및 출력 연결부는 Viton® O-링이 있는 1/4" Swagelok® 커넥터를 사용합니다. MKS 1179C 질량 유량 컨트롤러는 10 sccm에서 20 slm까지의 전체 스케일을 지원하며, 0.1 sccm까지 빠르고 반복 가능한 유량 측정을 제공합니다. 1179C는 현재 시판되는 가장 일반적인 질량 유량계를 형태, 크기, 기능 면에서 완벽하게 대체할 수 있습니다. 표준 3인치 크기로 기존 가스 배관을 변경하지 않고도 동일한 공간에 설치할 수 있습니다. 전기 커넥터는 업계 표준 제품과 동일한 Type "D" 커넥터를 사용하며, 핀 배열, 신호 및 기능이 유사합니다. 1179C는 MKS 또는 다른 제조업체의 질량 유량 컨트롤러 전원 공급 장치 및 디스플레이 전자 장치와 호환됩니다.
스와겔록, VCR-TM 스와겔록 회사