Leybold TURBOVAC 90i 터보 진공 펌프(ISO-K 63 흡입구, 90l/s 펌핑 속도, 공냉식 또는 수냉식). Leybold 부품 번호: 810031V1000. Leybold TURBOVAC 90i 터보분자 고진공 펌프는 ISO-K 63 흡입 플랜지와 ISO KF-16 배기 포어라인 플랜지를 사용하여 초당 최대 90리터(l/s)의 펌핑 속도를 제공합니다. 이러한 i-시리즈 터보 펌프는 최대 240W의 24VDC 입력 전력이 필요하며 통합 컨트롤러가 있습니다. 모든 TURBOVAC i-시리즈 터보 펌프에는 RS485, USB 및 3개의 상태 LED가 있는 디지털 I/O 인터페이스가 있는 소형 표준 인터페이스와 하나의 액세서리(공기 냉각기, 밸브, 릴레이 박스...)를 제어할 수 있는 가능성이 포함되어 있습니다. 필요한 것은 전원 공급 장치와 시작/중지 로직뿐입니다. 전원 공급 장치, 강제 공랭식 또는 수냉식 키트, 원격 사용자 인터페이스(옵션)를 사용할 수 있습니다. 이 90i 터보 펌프의 Leybold 부품 번호는 810031V1000입니다.
Leybold TURBOVAC 90i 사양:- 부품 번호: 810031V1000
- 입구 플랜지: ISO-K 63
- 기본 압력: 8 x 10 -8 mbar(6 x 10 -8 Torr)
- 작동 속도: 72000RPM
- 작동 위치: 모두
- 펌핑 속도: 90l/s
- 냉각: 강제 공기 또는 물
- 배기 플랜지: KF-16
- 작동 전압: 24VDC
- 최대 전력: 240와트
- RS485, USB 및 디지털 I/O를 갖춘 컴팩트한 표준 인터페이스
- 액세서리 포트 1개
- 권장 러핑 펌프: TriVac D4B 또는 ScrollVac SC7
CF 플랜지가 있는 TURBOVAC 90i 펌프는 최종 압력이 10
-10 Torr 범위에 이르는 진정한 초고진공(UHV) 펌프입니다(전체 금속 흡입 씰 개스킷을 사용하고 진공 챔버를 완전히 청소하고 베이킹한 경우). ISO-K 플랜지가 장착된 Leybold TURBOVAC 90i 터보 펌프는 (고무/탄성중합체 O-링 씰의 침투 및 가스 방출로 인해) 최종 압력이 10
-8 Torr 범위로 제한됩니다. 이 펌프의 흡입 플랜지(CF 플랜지만 해당)는 터보가 수냉식일 때 최대 100°C까지 구워질 수 있습니다.
장비의 보조 전원에서 펌프에 전원을 공급하도록 선택하거나 Leybold TURBO.Control i 또는 TURBO.POWER integra를 구입할 수 있습니다. TURBO.Control i는 RS-485를 통해 Leybold TURBOVAC i 시리즈 펌프와 통신하고 터보 펌프를 완벽하게 모니터링하고 제어할 수 있는 벤치탑 또는 랙 장착형 원격 사용자 인터페이스/전원입니다. TURBO.Control i는 실험실 및 연구 분야에서 가장 널리 사용되는 옵션입니다. TURBO.POWER integra는 로컬 전원 공급 장치로만 사용되며 일반적으로 터보 펌프 하단에 장착됩니다. 펌프 아래에 TURBO.POWER integra 전원 공급 장치가 장착된 Leybold TURBOVAC i-시리즈 펌프는 전자 현미경(SEM, TEM)을 포함한 다양한 분석 장비 응용 분야에 종종 통합되는 소형 저가형 고진공 펌핑 솔루션입니다. 및 집중 이온빔 시스템(FIB).
최대 성능을 제공하도록 설계된 Leybold TURBOVAC i-시리즈 터보분자 진공 펌프는 특히 경질 가스에 대해 비교할 수 없는 속도를 제공하는 최첨단 로터 및 드래그 스테이지 설계를 특징으로 합니다. 다양한 인터페이스 옵션, 하우징, 플랜지 구성, 액세서리 등이 이 제품 라인을 완성합니다. 유지 관리가 필요 없는 볼 베어링을 갖춘 독특한 오일 프리 하이브리드 베어링 시스템은 생산성을 높이고 소유 비용을 줄여줍니다. 현재 기준 제품보다 최대 60% 더 높은 경질 가스 펌핑 속도와 이전 세대 제품보다 약 100배 더 높은 압축 값을 갖춘 이 제품은 소형 배압 펌프를 사용한 작동에 특히 적합합니다. 이점: 훨씬 더 작은 진공 시스템, 더 작은 설치 공간과 함께 더 낮은 초기 및 운영 비용.
성능:- 업계 최고의 경질가스 펌핑 속도(기존 제품보다 최대 60% 향상)
- 최대 펌핑 성능을 제공하기 위해 최적화된 로터 직경
유연성:- 진공 포트 설계 유연성
- 회전 가능한 전진공 포트
- 온보드 터보 컨트롤러
- 시작/중지 로직과 함께 전원만 필요
- TURBO.Control i 원격 사용자 인터페이스(옵션)
- TURBO.POWER 통합 옵션을 갖춘 컴팩트한 디자인
설치, 작동 및 제어:- 값비싼 케이블 연결을 피하기 위한 통합 24/48V DC 드라이브 전자 장치
- 가장 광범위한 통신 인터페이스: 표준 옵션으로 USB, RS485 및 원격 15핀 디지털 I/O
- 고효율 모터
- 베어링 냉각 최적화 및 펌프 수명 향상을 위한 단열 설계
- 혁신적인 샤프트 지지 시스템으로 진동 감소
- 유지 관리가 필요 없는 상부 패시브 자기 베어링
- 오일 프리, 평생 윤활 처리, 하부 기계식 세라믹 볼 베어링은 현장 교체 가능
Leybold TURBOVAC i-시리즈 터보 펌프는 플러그 앤 플레이 방식입니다. 유연한 제품 설계, 통합 전자 장치 및 광범위한 통신 인터페이스 덕분에 설치, 작동 및 제어가 간단하고 쉽습니다. 혁신적인 펌프 설계와 오늘날 시장에 나와 있는 유지 관리가 필요 없는 볼 베어링을 갖춘 독특한 오일 프리 하이브리드 베어링 개념으로 인해 탁월한 신뢰성을 제공합니다. 혁신적인 샤프트 지지 시스템은 진동, 소음, 기계적 응력을 줄이고 진동에 민감한 응용 분야에 대한 잠재적인 부정적인 영향을 완화합니다. 베어링의 최적화된 냉각은 단열 및 고효율 모터를 통해 보장됩니다. 펌프에는 중요한 가스 및 입자로부터 베어링을 보호하기 위한 퍼지 포트도 장착되어 있습니다. 결과적으로 펌프의 가동 시간과 수명은 물론 생산성도 크게 향상됩니다. 낮은 소유 비용과 함께 귀하의 진공 시스템은 그 어느 때보다 효율적이 될 것입니다.
일반적인 터보 펌프 응용 분야는 다음과 같습니다.- 일반 클린 펌핑 애플리케이션
- 주사전자현미경 - SEM
- 빔 라인과 고에너지 물리학
- 질량 분석
- 전자현미경
- 샘플 준비
- 연구 및 개발
- 고에너지 물리학
- 산업용
- 반도체
- 코팅
- 표면 과학 기기
사용 설명서 매뉴얼과 Leybold i-시리즈 TURBOVAC 제품 브로셔를 다운로드하여 이용할 수 있습니다.
